“曹光英”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种腔室漏率检测方法和一种集簇式半导体工艺设备-CN202110839855.3在审
发明人： 曹光英 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种腔室漏率检测方法和一种集簇式半导体工艺设备，该集簇式半导体工艺设备包括传输平台和位于所述传输平台周围的腔室，所述腔室通过阀门与所述传输平台连接，各个腔室之间相互独立，所述方法包括：从所述传输平台和所述腔室中确定一个主腔室和所述主腔室的从属腔室；检测由所述主腔室和所述从属腔室组成的真空腔体的漏率。根据本发明实施例，可以检测出半导体工艺设备的腔室与平台连接处是否有漏气。
一种腔室漏率检测方法集簇式半导体工艺设备

[发明专利]半导体沉积工艺补偿方法、补偿装置及半导体沉积设备-CN202010328092.1有效
发明人： 曹光英 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了半导体沉积工艺补偿方法、补偿装置及半导体沉积设备，其中，沉积工艺补偿方法包括：步骤1：在执行当前工艺步骤前，判断是否需要对当前工艺步骤的工艺参数值进行参数补偿，若是，则获取当前的靶材消耗值，并根据预置的多个靶材消耗值以及每个靶材消耗值对应的参数补偿值，计算出补偿后的工艺参数值；步骤2：根据补偿后的工艺参数值，执行当前工艺步骤；其中，参数补偿值包括以下至少之一：沉积时间补偿值、靶基距离补偿值、溅射功率补偿值。本发明的有益效果在于，用户可自由选择单独开启时间补偿、溅射功率补偿或靶基距离补偿，也可以同时开启其中任意两种，或三种方式共同开启，并在每个工艺配方的步骤中灵活配置。
半导体沉积工艺补偿方法装置设备

[实用新型]一种公路工程用路面整平机-CN202120888086.1有效
发明人：申存雷;柳世杰;贡日斌;侯丽娟;郭辉;曹光英 -专利权人：河南联润建筑工程有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： E01C19/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种公路工程用路面整平机，所述基板的下表面设有移动单元，所述移动单元的左端设有整平块，所述整平块的上表面均匀设有侧板，本公路工程用路面整平机通过拉柄和移动单元可实现本公路工程用路面整平机工作时的便捷移动，通过抑尘单元可避免本公路工程用路面整平机在工作过程中产生灰尘，对施工人员的身体健康产生影响，通过电动推杆、固定块和整平单元可使本公路工程用路面整平机在工作过程中能够对整平高度进行调节，进而提升本公路工程用路面整平机的整平效果，且还可使本公路工程用路面整平机能够适用于不同的施工路面，由此提升本公路工程用路面整平机的使用便捷性。
一种公路工程路面整平机

[发明专利]半导体设备控制系统的启动方法及装置-CN201911409233.6有效
发明人： 曹光英 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，所述方法包括：依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。本发明还提供一种启动装置。利用所述启动方法启动所述半导体设备控制系统能够确保半导体设备的正常运行。
半导体设备控制系统启动方法装置

[发明专利]一种自适应分治的高分辨率图像对象精准提取方法-CN201610585830.4有效
发明人：陈小武;曹光英;李健伟 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G06T7/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种自适应分治的高分辨率图像对象精准提取方法，包括以下步骤：交互式标记前景点、背景点和未知点；利用采样初始化未知点的α值；采用分治策略，根据各类像素点的分布自适应地将图像划分成多个有重叠的子区域；对划分的子区域中的每一个像素点，寻找其特征空间中的近邻并进行筛选，构建非邻域平滑约束项权重，结合邻域平滑约束项权重以及数据项权重构造每个子区域的图模型；在图模型的约束下得到每一个像素点属于前景的概率，得到每个子区域的掩像图；根据划分的每个子区域的置信度将多个子区域的掩像图进行融合，得到具有全局一致性的掩像图。本发明在计算精准度、内存消耗等方面有良好的表现，可广泛应用推广到高清影视制作等领域。
一种自适应分治高分辨率图像对象精准提取方法

[发明专利]一种稀疏和低秩联合表达的视频前景对象精准提取方法-CN201510695505.9在审
发明人：陈小武;邹冬青;曹光英;王小刚 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2015-10-23 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种稀疏和低秩联合表达的视频前景对象精准提取方法，该方法首先选取输入视频中能够代表视频特征的帧作为关键帧，然后根据关键帧中的已知像素点训练出字典，接着根据字典获取满足低秩、稀疏和非负约束的重构系数，并根据重构系数建立输入视频中每个像素之间的非局部关系矩阵，同时建立多帧之间的拉普拉斯矩阵，再根据输入视频的已知像素点的α值和字典中样本点的α值、非局部关系矩阵和拉普拉斯矩阵，获取输入视频的视频掩像，最后根据视频掩像提取出输入视频的前景对象，保证了视频掩像在时域上的一致性，提高了提取的前景对象的质量。
一种稀疏联合表达视频前景对象精准提取方法