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- [实用新型]一种硅片加工工作台-CN202123119940.7有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2021-12-13
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2022-08-12
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B28D5/00
- 本实用新型公开了一种硅片加工工作台，包括：工作台本体，工作台本体的顶面安装有呈冂字形结构的固定架和活动架，工作台本体的顶面两侧分别安装有滑轨且通过滑轨与活动架滑动连接，工作台本体的顶面中部且位于两个滑轨之间转动连接有托盘，固定架的顶面中部安装有电动推杆，电动推杆的动力输出端向下延伸且转动连接有压盘，压盘与托盘对应设置。本实用新型将硅片放置在托盘上并通过电动推杆使压盘下移，通过托盘和压盘来对硅片进行夹持，夹持后将活动架向硅片方向推动并通过电机带动倒角盘转动，倒角盘与硅片接触后通过电机带动压盘转动来提高倒角效率，通过风机产生吸力从两侧对碎屑进行吸收，减少倒角时对空气造成的影响。
- 一种硅片加工工作台
- [实用新型]一种硅片表面清洁装置-CN202123097043.0有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2021-12-10
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2022-05-10
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B08B1/04
- 本实用新型公开了一种硅片表面清洁装置，包括：装置本体，装置本体的内侧中部水平安装有固定机构，固定机构的两侧分别安装有清洁机构，清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆，螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接，清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与螺杆和限位杆连接，且与螺杆连接的通孔内部设置有内螺纹。本实用新型将硅片夹持在固定机构中，并通过驱动电机带动螺杆转动，从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动，并且配合喷头喷出清洁液来将硅片表面打湿，清洁电机带动清洁盘转动，从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁，从硅片两面同时清洁，清洁效率高，且清洁的效果佳。
- 一种硅片表面清洁装置
- [实用新型]一种芯片生产传送装置-CN202123259015.4有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2021-12-21
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2022-04-26
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种芯片生产传送装置，具体为传送装置设备领域，包括传动轨、切割组件和清洁风机，所述传动轨的顶部并排设置有多个夹具，所述传动轨的侧壁设置有支架，所述支架的侧壁设置有直线导轨，所述切割组件设置于直线导轨上且可沿着直线导轨移动，所述清洁风机设置于传动轨的一侧对切割加工后的芯片以及夹具吹风，该装置通过直线导轨中带动滑块移动，滑块带动限位块移动，限位块带动支撑板移动，支撑板带动横梁移动，横梁带动切割器移动，切割器带动切割头移动至需要的位置，方便适应不同间距的夹具上芯片的切割，清洁风机将夹具、芯片以及传动轨上的切割碎屑吹掉，方便后续加工时保持整洁。
- 一种芯片生产传送装置
- [实用新型]一种晶圆加工载具-CN202123187780.X有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2021-12-17
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2022-04-26
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种晶圆加工载具，包括晶圆载具，晶圆载具包括晶圆承载容器和内置于晶圆承载容器底部的支撑板，晶圆承载容器的内部形成有内腔，内腔的内壁均匀开设有若干组放置槽，相邻两组放置槽等距开设，支撑板的内部开设有导向槽且一侧开设有滑槽，导向槽与滑槽相连通，导向槽内置有驱动器，驱动器的底部固定有滑杆，滑杆穿插于滑槽内，驱动器包括对称设置的两组侧板和位于两组侧板之间设置有驱动轮，驱动轮的一侧设置有电机一。本实用新型在加工载具内部设计有用于对晶圆进行方式的槽道结构并配合底部的驱动器，可以对晶圆达到驱动旋转的目的，便于工作人员对晶圆的边缘进行加工处理。
- 一种加工
- [实用新型]一种对芯片基板抓片取片的机械臂-CN202023273408.6有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2020-12-29
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2021-09-28
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B25J15/00
- 本实用新型公开了一种对芯片基板抓片取片的机械臂，涉及芯片生产抓取用的机械臂领域，包括爪体，所述爪体的侧面一体连接有安装壳，所述爪体的侧面及安装壳的内部设置有转移装置，所述安装壳的底部设置有和转移装置相互啮合的限位板，所述转移装置包括电机、齿轮、滑块和第一齿槽，所述电机固定安装在安装壳的内部上端。本实用新型通过转移装置将芯片基板在爪体内向上进行提升，并利用限位板对芯片基板进行保护，使得芯片基板不会从爪体内掉落下去，以使得机械臂能正常对芯片基板进行转移，以避免出现芯片基板掉落摔坏的问题，解决了现有的机械臂在夹持芯片基板时存在的因夹持不稳定导致的芯片基板易脱落的问题。
- 一种芯片基板抓片取片机械
- [实用新型]一种用于硅麦芯片的自动取片装置-CN202023313054.3有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2020-12-30
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2021-09-03
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B65G17/46
- 本实用新型公开了一种用于硅麦芯片的自动取片装置，涉及硅麦芯片的自动取片领域，包括安装架，安装架的一侧设置有用于传输芯片的传输机构，传输机构一侧设置有用于芯片填充的输料机构，输料机构的一侧设置有用于芯片与主板安装的安装机构，传输机构包括传输链条、从动轮和主动轮，两个从动轮与安装架侧壁转动安装，传输链条与从动轮外壁贴合。本实用新型为一种用于硅麦芯片的自动取片装置，通过在安装架的一侧设置有用于传输芯片的传输机构，另外传输机构一侧设置有用于芯片填充的输料机构，同时输料机构的一侧设置有用于芯片与主板安装的安装机构，通过传输机构、输料机构和安装机构相互配合从而对芯片进行自动取片安装，操作便捷且实用。
- 一种用于芯片自动装置
- [实用新型]一种用于硅麦基板加工的固定夹具-CN202022368131.9有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2020-10-22
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2021-07-06
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B28D5/02
- 本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域，具体涉及一种用于硅麦基板加工的固定夹具，包括底座，底座的顶部陈列开设有若干通孔，底座的顶部前后两侧对称设有导轨，导轨的左右两侧滑动卡接有夹板，左右两侧夹板的外侧端对称设有轴承座，底座的顶部左右两端对称设有固定板，固定板上固定插接有螺纹套，螺纹套内螺纹插接有丝杠，丝杠的外侧端设有转动盘，丝杠的内侧端与轴承座相连；底座开设有内腔，通孔与内腔相连通，内腔的上部嵌设有净化滤料层，解决了存在功能单一的缺陷，仅仅达到固定夹紧的目的，不能实现对硅麦基板在进行加工如钻孔时产生的粉屑进行除粉尘的目的，同时不具备对钻孔时的硅麦基板进行清洗和对钻头进行降温的问题。
- 一种用于硅麦基板加工固定夹具
- [实用新型]一种用于硅麦芯片加工的研磨盘-CN202022350223.4有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2020-10-21
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2021-06-04
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B24B41/047
- 本实用新型涉及硅麦芯片加工技术领域，具体涉及一种用于硅麦芯片加工的研磨盘，包括研磨盘，所述研磨盘的底部周向设有若干固定脚板，所述研磨盘的顶部由上至下依次开设有若干同轴心的放置圆槽，若干所述放置圆槽的内侧壁上分别对应嵌设有弹性垫层，若干所述放置圆槽的内腔内分别对应放置有硬质研磨垫，所述硬质研磨垫的顶部轴心处开设有螺孔；所述研磨盘的外壁涂覆有防护层，且所述防护层包括由内至外依次设置的聚丙烯发泡层、树脂纤维层和玻璃纳米层；解决了针对不同规格尺寸的硅麦芯片，需要使用不同相匹配尺寸的研磨盘，导致生产成本加大、增加了企业的生产负担，同时对研磨盘的防护性能较差的问题。
- 一种用于芯片加工研磨
- [实用新型]一种用于加工硅麦芯片的研磨设备-CN202022370871.6有效
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刘磊;王小波;郑强
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无锡矽晶半导体科技有限公司
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2020-10-22
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2021-06-04
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B24B37/11
- 本实用新型涉及硅麦芯片加工技术领域，具体涉及一种用于加工硅麦芯片的研磨设备，包括机座，机座的左侧壁中部设有L型板，L型板的顶部右侧固定插接有驱动气缸，驱动气缸的活塞杆端设有微型电机，微型电机的输出端设有压力传感器，压力传感器的底部设有固定研磨组件，机座的顶部设有研磨座，研磨座的顶部开设有容纳槽，容纳槽的底部开设有放置槽，放置槽内固定有相匹配的硅麦芯片；固定研磨组件包括固定盘、U型卡槽、卡块和研磨垫，固定盘的侧壁周向均匀设有若干U型卡槽；解决了不能较好的对硅麦芯片施加合适的压紧力进行研磨，导致研磨效果差，同时不方便对研磨过程中产生的粉屑进行快速的收集和不方便对研磨垫进行拆卸更换的问题。
- 一种用于加工芯片研磨设备
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