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- [实用新型]一种碳化硅晶片切割装置-CN202320557439.9有效
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郑圣君
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2023-03-21
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2023-09-05
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B28D7/04
- 本实用新型公开了一种碳化硅晶片切割装置，包括承载台，承载台上端设置有调节装置，调节装置包括：同步电机、过滤网、移动杆、支撑板、承载板、转动杆、轴承、移动板、连接杆、齿板、齿轮、转动板、撞击块、抖动块，通过设置了调节装置方便人们对不同大小的碳化硅晶片本体进行支撑，并且使切割工作时产生的碎屑掉落到过滤网表面，使用者可以通过启动四组同步电机带动移动杆进行移动，使移动杆带动其侧壁固定的支撑板和承载板进行移动，通过可以调节的承载板方便使用者对不同大小的碳化硅晶片本体都进行固定支撑，然后使用者启动切割装置，切割时产生的碎屑会掉落在承载台上端的过滤网上表面并在后续掉落到承载台内部进行收集。
- 一种碳化硅晶片切割装置
- [实用新型]一种多线多工位碳化硅切割装置-CN202320564544.5有效
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黄朝辉
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2023-03-21
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2023-09-05
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B28D5/04
- 本实用新型涉及碳化硅技术领域，且公开了一种多线多工位碳化硅切割装置，包括工作台，所述工作台后端外壁上固定安装有支撑板，所述支撑板上端固定安装有液压升降杆，所述液压升降杆上端与活动座固定连接，所述活动座内部开设有滑槽，所述活动座上端开设有两组移动槽，所述滑槽内部设置有调节装置，所述调节装置包括有伸缩架、移动块、螺纹杆、驱动电机及支撑块，所述伸缩架的右端与活动座固定连接。该多线多工位碳化硅切割装置，通过设置有调节装置，改变对碳化硅切割的距离，使得每组碳化硅切割均匀，提高切割效果，通过设置有限位装置，提高连接座和切割刀在对碳化硅切割时的稳定性，提高切割的质量。
- 一种多线多工位碳化硅切割装置
- [实用新型]一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置-CN202320379058.6有效
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黄朝辉
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2023-03-03
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2023-08-22
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B24B37/30
- 本实用新型涉及研磨装置技术领域，且公开了一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置，该碳化硅晶圆的自动精细研磨装置包括机身，机身设置有机械臂，机械臂设置有连接盘设置有夹持装置，包括：液压杆，液压杆用于控制夹持器进行夹持工作，弧形的夹持器能够更加精准的贴合碳化硅晶圆的形状，缓冲层可以避免碳化硅晶圆产生损坏，具有更高的稳定性，从而减少研磨工作中产生的失误，提高生产的效率。该碳化硅晶圆的自动精细研磨装置设置有除尘装置，研磨工作中产生的灰尘会由设置在机身的气泵从吸风口吸入，然后灰尘会从出风口排出并回收到收料盒中，避免产生灰尘影响研磨质量，并且可以减少灰尘产生对生产环境和工作人员的影响。
- 一种碳化硅自动精细研磨装置
- [实用新型]一种高效率的碳化硅线切割装置-CN202223595293.1有效
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林岳明
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2022-12-29
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2023-07-04
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B28D1/24
- 本实用新型公开了一种高效率的碳化硅线切割装置，包括操作台，所述操作台的上侧设置有固定装置与防护拿取组件，所述操作台的上侧固定连接有支撑架，所述支撑架的下侧设置线切割器，所述支撑架的下侧固定连接有喷水头，所述防护拿取组件包括：电动推杆一，所述电动推杆一固定连接在操作台的上侧外壁上；电动伸缩杆，所述电动伸缩杆固定连接在电动推杆一的输出端上。该高效率的碳化硅线切割装置通过固定装置与防护拿取组件的使用，使该装置在对碳化硅管进行切割时，能够对切割好的碳化硅片进行吸紧，在通过电动推杆一带动切割好的碳化硅片远离切割线，便于工作人员安全的取下切割好的碳化硅片。
- 一种高效率碳化硅切割装置
- [实用新型]一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置-CN202320379481.6有效
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郑圣君
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2023-03-03
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2023-07-04
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B28D5/04
- 本实用新型公开了一种用于碳化硅线切割的高效冷却装置，包括工作台，所述工作台上开设有掉落槽，所述掉落槽下端设置有收集箱，所述收集箱内部设置有筛分装置，所述筛分装置包括有固定板、伸缩弹簧、筛分板及抖动装置，所述固定板固定安装在收集箱的内壁上，所述伸缩弹簧固定安装在固定板的上端，所述筛分板的下端与伸缩弹簧固定连接。该用于碳化硅线切割的高效冷却装置，通过设置有筛分装置，对粘附一起的晶片进行分散，加快分散效率，通过设置有喷洒头，提高切割装置的冷却效果，同时喷洒头的水也可以对切割后的晶片进行清洗，清洗完的水通过收集管道进入到水箱内，实现水循环，节约水资源，提高工作效率。
- 一种用于碳化硅切割高效冷却装置
- [实用新型]一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置-CN202320199158.0有效
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郑圣君;林岳明;黄朝辉
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2023-02-13
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2023-06-20
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B24B7/28
- 本实用新型公开了一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置，包括固定座，所述固定座的上方设置有支撑架，胡支撑架的中间设置有旋转定位架，所述旋转定位架的内侧设置有四个对称分布的装夹片，四个所述装夹片与旋转定位架的内壁中间均设置有装夹伸缩杆，所述旋转定位架与支撑架的两端中间均设置有旋转转轴，所述旋转转轴的一端插接在支撑架内部，其中一个所述旋转转轴的外表面设置有旋转传动齿轮。本实用新型通过旋转定位架和装夹片，可以快速的对碳化硅晶锭切片进行装夹并固定，并且通过旋转转轴可以驱动被碳化硅晶锭切片进行旋转，并在旋转碳化硅晶锭切片后通过打磨片对碳化硅晶锭切片双面进行打磨作业，有效的提供碳化硅晶锭切片的加工效率。
- 一种碳化硅切片双面打磨装置
- [实用新型]一种用于晶片刷洗的防飞溅挡水罩-CN202221704060.8有效
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郑圣君
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2022-07-04
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2022-11-11
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种用于晶片刷洗的防飞溅挡水罩，包括抽真空泵、上挡水罩和下挡水罩，抽真空泵的顶端固定连接有承重板，承重板的顶端固定连接有下挡水罩，承重板的顶端固定连接有一对对称的顶升气缸，顶升气缸的输出端固定连接有顶升轴，顶升轴的顶端固定连接有顶板，顶板的底端固定连接有上挡水罩，上挡水罩的内侧面转动连接有旋转座，顶板的顶端开设有圆形口，顶板的顶端固定连接有电机箱，电机箱内安装有驱动电机。本实用新型一种用于晶片刷洗的防飞溅挡水罩，通过设置有上挡水罩和下挡水罩可以对晶片刷洗过程中，飞溅的污水起到阻挡作用，通过设置有海绵和擦拭板可以对下挡水罩内侧面上的污水进行擦拭。
- 一种用于晶片刷洗飞溅挡水罩
- [实用新型]一种用于晶片双面刷洗快速拆卸装置-CN202221706278.7有效
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郑圣君
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扬帆半导体（江苏）有限公司
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2022-07-04
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2022-11-11
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种用于晶片双面刷洗快速拆卸装置，涉及晶片拆卸技术领域，本实用新型包括工作台、吸附机构和刷洗机构，所述工作台的上端固定连接有抽真空结构，所述抽真空结构的内部设置有抽真空驱动装置，所述工作台的上端转动连接有一对对称的螺杆，所述螺杆的顶端转动连接有操作平台，所述螺杆上固定连接有转盘，所述螺杆上螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒的一侧面固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端固定连接有安装环，所述安装环的内侧设置有刷洗机构。本实用新型一种用于晶片双面刷洗快速拆卸装置，通过设置有吸附机构可以对晶片起到负压吸附的作用，进而实现晶片的固定功能，避免晶片破损，具有方便拆卸固定晶片的特点。
- 一种用于晶片双面刷洗快速拆卸装置
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