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[发明专利]气体激光装置、气体激光装置的激光的出射方法、以及电子器件的制造方法-CN201980088640.3有效
发明人： 手井大辅 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：气体激光装置也可以具备：腔，该腔内被封入激光气体；窗，其设置于腔，且供激光透射；光路管，其包围腔的设置有窗的位置而与腔连接；气体供给口，其向光路管内供给吹扫气体；排气口，其排出光路管内的气体；以及控制部，排气口包括主排气口和副排气口，该主排气口以使气体在窗的表面流动的方式设置于光路管，该副排气口在光路管内的比设置有窗的位置及设置有主排气口的位置靠气体流动的上游侧设置于光路管，控制部在从腔出射激光之前使气体从主排气口排出，在从腔出射激光的至少部分期间内，使气体从副排气口排出。
气体激光装置方法以及电子器件制造

[发明专利]气体激光装置和电子器件的制造方法-CN202080101915.5在审
发明人： 手井大辅;香西景太 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：气体激光装置(100)具有壳体(30)、窗口保持架(300a、300b)、窗口(31a、31b)和密封部件(400a、400b)。窗口保持架(300a、300b)还包含延伸面(315)，该延伸面(315)位于经由开口(305)向窗口行进的光中的被窗口反射的反射光的反射方向侧，与端面(303)连续地向远离窗口的方向延伸，被照射来自窗口的反射光。线(602)位于以通过反射光在延伸面(315)上的照射位置且与延伸面(315)垂直的基准线为基准使反射光的光轴在反射光在延伸面(315)上的照射位置处对称地折返的位置。线(602)在从延伸面(315)朝向窗口的方向上从窗口的外周侧朝向窗口的中心轴线侧跨越窗口的法线(601)。
气体激光装置电子器件制造方法

[发明专利]激光装置和光学元件的制造方法-CN201780090371.5有效
发明人： 手井大辅;若林理 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF2晶体形成，紫外的激光倾斜地入射到光学元件的1个面并进行透射，在内部传播的激光相对于上述面的P偏振成分的电场轴和CaF2晶体的111中包含的1个轴一致。光学元件的制造方法包含以下步骤：针对使CaF2的籽晶在111中包含的1个轴的方向上进行晶体生长而形成的晶锭，将从晶体生长方向向111中包含的与晶体生长方向不同的另一个轴的方向倾斜14.18±5°的范围内的角度后的轴作为切断轴，与切断轴垂直地切断晶锭，由此制造光学元件。
激光装置光学元件制造方法

[发明专利]气体激光装置和电子器件的制造方法-CN201980091699.8在审
发明人： 手井大辅;若林理;田中诚;五十岚美和 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：气体激光装置也可以具有：腔，该腔中封入激光气体；窗口，其被设置于腔，激光透过窗口；光路管，其包围腔中的设置有窗口的位置而与腔连接；加热气体供给口，其向包含光路管内的空间在内的封闭空间内供给被加热的吹扫气体；以及排气口，其排放封闭空间内的气体。
气体激光装置电子器件制造方法