“戴维·Y·王”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果7个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于测量高纵横比结构的红外光谱反射计-CN201780056228.4有效
发明人： S·克里许南;戴维·Y·王 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-09-27 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：在本文中呈现用于在红外波长下执行半导体结构的光谱反射测量的方法及系统。在一些实施例中，采用横跨从750纳米到2,600纳米或更大的范围的测量波长。在一个方面中，在倾斜角下执行反射测量以降低背侧反射对测量结果的影响。在另一方面中，由包含具有不同敏感度特性的多个光敏区的检测器检测宽广红外波长范围。根据波长跨越所述检测器的表面线性地分散所收集光。每一不同光敏区布置于所述检测器上以感测不同入射波长范围。以此方式，由单个检测器以高信噪比检测宽广波长范围。
用于测量纵横结构红外光谱反射

[发明专利]宽带及宽视场角补偿器-CN201710933191.0有效
发明人：劳伦斯·罗特;克劳斯·伏罗克;穆沙米尔·阿蓝;戴维·Y·王 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-08-22 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：本发明实施例涉及一种宽带及宽视角补偿器。本发明提出可旋转补偿器，其经配置而以跨越孔径的高度推迟均匀性透射包含紫外线的在宽广波长范围内的非准直光。在一个实施例中，可旋转补偿器包含光学接触的四个个别板的堆叠。在所述堆叠中间的两个薄板由双折射材料制成且经布置以形成复合零级双板。其余两个板为相对厚的且由光学各向同性材料制成。这些板安置于所述复合零级双板的任一端上。低级板使跨越所述孔径的推迟对非准直光的敏感性最小化。材料经选择以确保对紫外光的透射。所述光学各向同性端板使在所述薄板的光学界面处所诱发的相干效应最小化。
宽带视场补偿

[发明专利]用于扩展的红外线光谱椭偏测量的系统及方法-CN201780006315.9有效
发明人： S·克里许南;戴维·Y·王 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本文中呈现用于在紫外线波长、可见波长及红外线波长下执行对半导体结构的同时光谱测量的方法及系统。在另一方面中，通过将检测器表面上的波长色散方向定向成垂直于到所述检测器表面上的入射平面的投影而减小波长误差。在另一方面中，通过包含具有不同敏感特性的多个光敏区域的检测器检测广红外线波长范围。收集光根据波长跨所述检测器的所述表面线性色散。每一不同光敏区域布置于所述检测器上以感测不同入射波长范围。以此方式，通过单个检测器以高信号对噪声比检测广红外线波长范围。这些特征以高处理量、精度及准确度实现对高深宽比结构的高处理量测量。
用于扩展红外线光谱测量系统方法

[发明专利]用于执行半导体样品的计量的椭圆偏光计设备-CN201480004823.X有效
发明人： 戴维·Y·王;克劳斯·伏罗克;劳伦斯·D·罗特;桑卡·克里许南;乔汉斯·D·迪·维尔;卡塔林·飞利浦;格雷戈里·布雷迪;穆沙米尔·阿蓝;安德烈·谢卡格罗瓦 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-09-15 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示一种设备，所述设备包含：(i)亮光源，其用于提供处于可在从深紫外线波长到红外线波长的范围内选择的多个波长的照明光束；(ii)照明光学器件，其用于以可选择的入射角AOI或方位角AZ组及偏光状态将所述照明光束引导朝向样品以提供光谱椭圆偏光测量，其中所述照明光学器件包含用于控制处于所述可选择AOI/AZ组中的每一者的所述照明光束在所述样品上的光点大小的切趾器；(iii)收集光学器件，其用于将响应于处于所述可选择AOI/AZ组中的每一者及偏光状态的所述照明光束而来自所述样品的输出光束引导朝向基于所述输出光束产生输出信号或图像的检测器；及(iv)控制器，其用于基于所述输出信号或图像特征化所述样品的特征。
多重入射角半导体计量系统方法

[发明专利]配备有经调制照射源的光学计量工具-CN201280056445.0有效
发明人：安德烈·V·谢卡格罗瓦;劳伦斯·D·罗特;戴维·Y·王;安德烈·韦尔德曼;凯文·彼得林茨;格雷戈里·布雷迪;德里克·萨乌夫尼斯 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-10-11 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： G01B11/04 文献下载
摘要：本发明可包含可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射；照射光学器件，其经配置以将来自所述可调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；收集光学器件，其经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征长度的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。另外，本发明包含多个光源的输出的时间循序交错以产生供在多波长时间循序光学计量中使用的周期性脉冲串。
配备调制照射光学计量工具

[发明专利]宽带及宽视场角补偿器-CN201480053389.4有效
发明人：劳伦斯·罗特;克劳斯·伏罗克;穆沙米尔·阿蓝;戴维·Y·王 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-08-22 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提出可旋转补偿器，其经配置而以跨越孔径的高度推迟均匀性透射包含紫外线的在宽广波长范围内的非准直光。在一个实施例中，可旋转补偿器包含光学接触的四个个别板的堆叠。在所述堆叠中间的两个薄板由双折射材料制成且经布置以形成复合零级双板。其余两个板为相对厚的且由光学各向同性材料制成。这些板安置于所述复合零级双板的任一端上。低级板使跨越所述孔径的推迟对非准直光的敏感性最小化。材料经选择以确保对紫外光的透射。所述光学各向同性端板使在所述薄板的光学界面处所诱发的相干效应最小化。
宽带视场补偿

[发明专利]用于高纵横比及大横向尺寸结构的度量系统及方法-CN201380060029.2有效
发明人：撒迪厄斯·吉拉德·奇乌拉;刘学峰;戴维·Y·王;乔·马德森;亚历山大·库兹涅佐夫;乔汉斯·D·迪·维尔;桑卡·克里许南;德里克·萨乌夫尼斯;安德烈·谢卡格罗瓦 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2013-10-24 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明提供用于高纵横比及大横向尺寸结构的各种度量系统及方法。一种方法包含将光引导到在晶片上形成的一或多个结构。所述光包含紫外光、可见光及红外光。所述一或多个结构包含至少一个高纵横比结构或至少一个大横向尺寸结构。所述方法还包含产生响应于归因于引导到所述一或多个结构的所述光而来自所述一或多个结构的光的输出。另外，所述方法包含使用所述输出确定所述一或多个结构的一或多个特性。
用于纵横比及横向尺寸结构度量系统方法

1
共 7 条