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[发明专利]半导体结构及其制造方法-CN202210375520.5在审
发明人：周惠隆;杨清利;张志圣;林建廷 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L23/31 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体结构及其制造方法。半导体结构包括衬底、第一介电层、第二介电层、密封环结构与保护层。第一介电层位于衬底上。第二介电层位于第一介电层上。密封环结构包括第一互连线结构与第二互连线结构。第一互连线结构位于第一介电层中。第二互连线结构位于第二介电层中且连接至第一互连线结构。保护层位于密封环结构与第二介电层上。保护层具有间隔件部。间隔件部覆盖第二介电层的侧壁与部分第一介电层。在保护层与第一介电层中具有沟槽。间隔件部位于沟槽与密封环结构之间。半导体结构可降低用以形成沟槽的蚀刻工艺的时间与功率。
半导体结构及其制造方法

[发明专利]金属内连线结构及其制作方法-CN202310327743.9在审
发明人：周逸豪;傅子豪;谢宗殷;张志圣;蔡世群;何坤展;林泱佐 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2018-08-16 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开一种金属内连线结构及其制作方法，该制作金属内连线结构的方法为，首先形成一第一金属内连线于一基底上的一第一金属间介电层内，然后形成一遮盖层于第一金属内连线上，形成一第二金属间介电层于遮盖层上，进行一第一蚀刻制作工艺去除部分第二金属间介电层以形成一开口，进行一等离子体处理制作工艺，再进行一第二蚀刻制作工艺去除部分遮盖层。
金属连线结构及其制作方法

[发明专利]金属内连线结构及其制作方法-CN201810933058.X有效
发明人：周逸豪;傅子豪;谢宗殷;张志圣;蔡世群;何坤展;林泱佐 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2018-08-16 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开一种金属内连线结构及其制作方法，该制作金属内连线结构的方法为，首先形成一第一金属内连线于一基底上的一第一金属间介电层内，然后形成一遮盖层于第一金属内连线上，形成一第二金属间介电层于遮盖层上，进行一第一蚀刻制作工艺去除部分第二金属间介电层以形成一开口，进行一等离子体处理制作工艺，再进行一第二蚀刻制作工艺去除部分遮盖层。
金属连线结构及其制作方法

[发明专利]具有蛇状金属导线的金属内连线结构-CN202110930120.1在审
发明人：黄士哲;张竞之;柯元富;张志圣 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L23/528 文献下载
摘要：本发明公开一种具有蛇状金属导线的金属内连线结构，其为一种半导体元件，主要包含第一金属内连线设于基底上，第二金属内连线设于该第一金属内连线上，第一接触插塞设于该第一金属内连线以及该第二金属内连线之间，第一蛇状金属导线连接第一金属内连线的第一端，以及第二蛇状金属导线连接该第一金属内连线的第二端，其中第一蛇状金属导线、第二蛇状金属导线以及第一金属内连线设于同一层。
具有金属导线连线结构

[发明专利]自由曲面透镜、菲涅尔透镜及可穿戴设备-CN202111321900.2有效
发明人：关赛新;张志圣;沈培逸 -专利权人：江西欧迈斯微电子有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G02B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种自由曲面透镜、菲涅尔透镜及可穿戴设备，所述自由曲面透镜包括：相背设置的第一面和第二面，所述第二面为朝向所述第一面凹陷的凹面，以所述第二面与所述第一面距离最短的点为原点O建立直角坐标系，所述第二面与XOZ面的交线为半径R1的第一弧，所述第二面与YOZ面的交线的半径R2的第二弧，所述第二面的面型可由公式示出。根据本发明的自由曲面透镜，用于矫正人眼视力，减小镜片的厚度，降低镜片的重量，降低自由曲面透镜的制造难度及提高镜片的精准性。
自由曲面透镜菲涅尔穿戴设备

[实用新型]光学元件、发射模组及电子设备-CN202121590681.3有效
发明人： 张志圣;娄建;邓勇;马炳乾;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：江西欧迈斯微电子有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G02B1/113 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学元件、发射模组及电子设备，所述光学元件包括：依次层叠设置的塑料基板、连接层以及微结构层，所述微结构层中包括纳米颗粒，所述纳米颗粒用于增大所述微结构层的折射率，所述连接层包括氧化物层，所述氧化物层设置于所述连接层靠近所述微结构层的一侧，所述氧化物层适于与所述纳米颗粒产生物理吸附或化学吸附作用，以增大所述塑料基板和所述微结构层之间的附着力。根据本实用新型的光学元件，可以增大塑料基板与微结构层之间的附着力，使光学元件更加稳定可靠；且可避免形成微结构层的光学胶水中的溶剂直接接触塑料基板产生腐蚀，损坏塑料基板；另外，塑料基板成本低、质量小，可降低光学元件的成本和质量。
光学元件发射模组电子设备

[实用新型]波导结构及头戴式设备-CN202220537725.4有效
发明人： 张志圣;关赛新;马炳乾 -专利权人：江西欧迈斯微电子有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种波导结构及头戴式设备，该波导结构包括光波导片、反射层以及多个光学微结构。波导片具有相对的第一端和第二端，以及连接于第一端和第二端且相对的第一面和第二面，波导片还包括入光区域及出光区域，入光区域位于第一端，出光区域位于第二端，且出光区域位于第二面上，反射层设置于第一面且与出光区域对应设置，沿自第一端向第二端的方向上，反射层的反射率逐渐增大，多个光学微结构阵列设置于出光区域，光学微结构用于接收自反射层反射的光线，并供部分光线穿过以射出于波导结构，且将剩余的光线反射向反射层。光线在该波导结构内部传导的过程中，光线强度下降速度更缓慢，波导结构内的光线均匀度好。
波导结构头戴式设备

[实用新型]一种高层物流提升机构-CN202220149278.5有效
发明人：叶璇;李焕;张志圣;杜琼;翟青;虞先濬 -专利权人：复旦大学附属肿瘤医院
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B66F7/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种高层物流提升机构，用于安装在多层结构的药库中，所述药库设置有存放药箱的货架，所述物流提升机构包括：起落组件，包括起落架和起落平台，所述起落架自所述药库的底层沿竖直方向延伸至所述药库的顶层，所述起落平台与所述起落架滑动配接并可沿着所述起落架主动行走；以及转运组件，其安装在所述起落平台上，所述起落平台可驱动所述转运组件在所述药库的楼层之间往返，所述转运组件可对所述药库每层中的所述货架进行药箱的输入或输出。本实用新型能够实现多层结构式药库的药箱自动取放，避免了人工上下楼梯搬送药箱，有效降低了劳动强度，提高了取放药效率。
一种高层物流提升机构

[发明专利]具有超通孔的半导体结构以及其制作方法-CN202110011434.1在审
发明人：许闵翔;蔡郁涵;张志圣 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明公开一种具有超通孔的半导体结构以及其制作方法，该半导体结构包含一基底，一第一金属层间介电层、一第二金属层间介电层以及一第三金属层间介电层依序位于该基底上，其中该第一金属层间介电层中包含有至少一第一导电层，该第二金属层间介电层中至少包含有一掩模层，该第三金属层间介电层中至少包含有至少一第三导电层，以及一超通孔(super via)，贯穿该第二层间介电层，电连接该第一导电层以及该第三导电层，且部分该超通孔直接接触该第二金属层间介电层中的该掩模层。
具有超通孔半导体结构及其制作方法

[实用新型]投影装置、交通工具及电子设备-CN202122217894.8有效
发明人： 张志圣;沈培逸;关赛新;马炳乾 -专利权人：江西欧迈斯微电子有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种投影装置、交通工具及电子设备，投影装置包括光源组件、光学控制层以及微透镜层，光学控制层设于光源组件的出光侧，光学控制层包括多个电致变色单元，光学控制层被配置为能够分别独立调节每个电致变色单元的透光率；微透镜层设于光学控制层背离光源组件的一侧，微透镜层包括至少一个微透镜单元，微透镜单元与电致变色单元对应设置，微透镜单元被配置为能够接收由对应的电致变色单元出射的成像光线，以形成成像图案。本申请的投影装置中，由于光学控制层中的电致变色单元的耐热性相对较佳，也就不需要额外增加散热结构，减小了投影装置的体积。
投影装置交通工具电子设备

[实用新型]压印机构及压印设备-CN202122324623.2有效
发明人： 张志圣;关赛新;马炳乾 -专利权人：江西欧迈斯微电子有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压印机构及压印设备,压印机构用于压印置于工作台上的待压印件，压印机构包括主架体、固定件和压印件，固定件用于固定待压印件，固定件的一端与主架体固定，且固定件的另一端延伸至工作台；压印件包括伸缩结构和用于压印待压印件的压印辊，伸缩结构的长度可调，伸缩结构的一端与主架体可转动连接，伸缩结构的另一端连接压印辊。压印机构的压力辊进行辊压时，压力实时变化，使聚合物材料完全填腔，且一次性排除模腔内的空气，实现了微纳米压印连续成型，很大程度地提高了压印的效率。
压印机构设备

[实用新型]压印模具-CN202120601235.1有效
发明人： 张志圣;沈培逸;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：江西欧迈斯微电子有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压印模具，包括：本体，所述本体具有工作面；多个压印结构，所述压印结构设置在所述工作面上，所述压印结构上具有预设图形；多个挡气泡结构，所述挡气泡结构设置在所述工作面上且避让开所述压印结构，多个所述挡气泡结构间隔排布在所述工作面上；其中，所述压印模具通过胶水进行压印时，所述胶水通过所述挡气泡结构流至所述压印结构所在的区域，所述挡气泡结构用于将所述胶水中的气泡阻挡在所述压印结构之外，所述胶水将所述压印结构上的所述预设图形转印并形成胶水层。本申请提供的压印模具，由于挡气泡结构可以将胶水中的气泡阻挡在压印结构之外，因此可以避免产品中存在气泡的情况发生。
压印模具

[发明专利]晶圆层级匀相接合的光学结构及其形成方法-CN201910610748.6有效
发明人： 张志圣;黄腾德;许书豪;詹竣宇;赖人晖 -专利权人：奇景光电股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：一种晶圆层级匀相接合的光学结构，包括设置在光学透明的晶圆上的两个光学透镜组，和设置在光学透明的晶圆上以及两个光学透镜组之间的间隔片。在非匀相粘合剂不存在的情况下，间隔片以匀相的方式接合到光学透明的晶圆上，并与光学透明的晶圆整合成一体。
层级相接光学结构及其形成方法

[发明专利]光学元件和晶圆级光学模块-CN202110168262.9在审
发明人： 张志圣;蔡孟珂;黄腾德 -专利权人：奇景光电股份有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01S5/06 文献下载
摘要：本发明提出一种光学元件和晶圆级光学模块。光学元件包括第一基板、第二基板、第一光学膜层、第二光学膜层和间隙物。第一光学膜层设置在第一基板上并具有第一表面和多个第一光学微结构。这些第一光学微结构设置在第一表面上。第二光学膜层设置在第二基板上并具有第二表面和多个第二光学微结构。第二表面与第一表面相对设置。这些第二光学微结构设置在第二表面上。这些第一光学微结构在第一基板上的正交投影不重叠于这些第二光学微结构在第一基板上的正交投影。间隙物设置在第一基板和第二基板之间。一种采用光学元件的晶圆级光学模块亦被提出。
光学元件晶圆级模块

[发明专利]光学元件和晶圆级光学模块-CN202110177191.9在审
发明人： 张志圣;蔡孟珂;黄腾德 -专利权人：奇景光电股份有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01S5/06 文献下载
摘要：本发明提供一种光学元件和晶圆级光学模块。光学元件包括基板、第一光学膜层和第二光学膜层。第一光学膜层和第二光学膜层设置在基板的至少一侧，并且形成在基板上。第一光学膜层具有背离基板的第一表面和设置在第一表面上的多个第一光学微结构。第二光学膜层具有背离基板的第二表面和设置在第二表面上的多个第二光学微结构。第一光学微结构在基板上的正交投影不重叠于第二光学微结构在基板上的正交投影。
光学元件晶圆级模块

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