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[发明专利]一种砂石骨料预喷淋装置及抑尘工艺-CN202311077829.7在审
发明人：徐正铭;张庆旭;徐陶;张鹏;孙俊磊;江树文 -专利权人：中电建（云浮）新材料有限公司
申请日： 2023-08-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B65G47/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种砂石骨料预喷淋装置及抑尘工艺，涉及到抑尘装置技术领域，包括支架，支架的上端面安装有输送带，支架的一端固定有固定架，固定架上安装有加料斗，支架的下端面中部固定有水箱，水箱的两侧共同架设有位于输送带上方的安装架，安装架的下端面固定有喷雾箱，喷雾箱的下端面转动安装有转动盘，转动盘的下端面安装有多个雾化喷嘴，且安装架的上端面固定有用于驱使转动盘旋转的电机。本发明可在输送带的上方驱使多个雾化喷嘴旋转，以对输送带上运输的砂石骨料进行大范围的喷雾，使其微润，再配合导料筒内的喷淋嘴，从而可进一步对湿润后的砂石骨料进行喷淋，使其微湿，大大提高了对砂石骨料的抑尘效果。
一种砂石骨料喷淋装置工艺

[发明专利]一种背封硅片结构及其制备方法-CN202310431706.2在审
发明人： 张庆旭;肖世豪;吴雄杰;饶伟星;沈益军;张立安;余天威;刘伟;潘金平 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种背封硅片结构及其制备方法，具体涉及背封硅片的制备领域，包括一号组成构件和二号组成构件，一号组成构件和二号组成构件均包括单晶硅衬底、低温氧化膜和多晶硅膜，多晶硅膜包括第一沉积层、第二沉积层、第三沉积层、第四沉积层、第五沉积层和第六沉积层其中的任意一层或多层。其有益效果是，两种结构的背封效率不同，可以根据不同产品的需求进行选择；暴露在外层的膜层为多晶硅膜时，通过设计多晶硅膜的多层结构来实现增强吸杂效果的背封硅片，并且通过沉积程序的设定实现连续成膜，避免了多次取放片过程对硅片的擦伤；能够促进吸杂效果、有效防止自动掺杂，并节省艺成本，具有操作简便、生产效率高的优点。
一种硅片结构及其制备方法

[发明专利]一种去除硅片边缘氧化膜的方法及装置-CN202310491625.1在审
发明人： 张庆旭;沈益军;肖世豪;吴雄杰;饶伟星;张立安;代明明;徐佳俊;潘金平 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种去除硅片边缘氧化膜的方法及装置，属于半导体硅片生产领域，一种去除硅片边缘氧化膜的方法，包括应用于二氧化硅膜背封半导体硅片，所述背封半导体硅片衬底包括单晶硅片衬底与二氧化硅膜，所述二氧化硅膜通过化学气相沉积生长在单晶硅片衬底背面，所述方法，包括如下步骤：A、首先准备一耐酸多孔材料，然后在化学刻蚀槽中配制好化学刻蚀溶液，通过计量泵注入一定量的刻蚀液在多孔材料中，注入完成后静置一定时间使多孔材料内部完全吸附刻蚀液。本申请提供的边缘氧化膜去除方法简单、对设备要求较低，减少了人工参与的同时提高了生产效率，利用多孔材料的吸附性能降低去边渗液的风险。
一种去除硅片边缘氧化方法装置

[发明专利]一种去边设备-CN202310402383.4在审
发明人：沈益军;吴雄杰;高海军;张庆旭;肖世豪;潘金平;刘伟;代明明;徐佳俊;余天威 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅抛光片加工技术领域，具体为一种去边设备，包括腐蚀基座、下压机构、模块对中机构和搬运机械手，腐蚀基座的顶部设置有硅片放置基孔，腐蚀基座的顶部外侧设置有腐蚀沟槽，腐蚀基座的中部竖直设置有气体进出通道，下压机构包括升降气缸，升降气缸的输出轴安装有下压气囊，模块对中机构包括旋转载台。因为可通过控制下压气囊与硅片的贴合度，从而可以实现精准隔离，完美保留平面上的氧化膜层。可通过控制下压气囊与硅片的贴合度，从而可以通过调节下压行程来实现不同厚度硅片的精准去边，设备的适应性广。可通过调节下压气囊内填充的液体温度，从而可调控去边腐蚀速率，进一步可提升生产效率。
一种设备

[发明专利]一种去除单晶硅片金属沾污的方法及除污设备-CN202310489517.0在审
发明人： 张庆旭;饶伟星;潘金平;肖世豪;沈益军;吴雄杰;张立安;白超;余天威 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种去除单晶硅片金属沾污的方法及除污设备，具体涉及半导体单晶硅片衬底制造领域，包括热处理炉，所述热处理炉的一端外部固定安装有控制器，所述热处理炉的内部固定设有炉体载舟，所述炉体载舟的上方活动设有石英载舟，所述石英载舟的上方活动装载有硅片，所述热处理炉的表面固定安装有加热板，所述热处理炉远离控制器的一端连通有集成调节阀，所述集成调节阀的一端连通设有真空泵、第一溶液蒸发器、第二溶液蒸发器和尾气收集机构，所述第一溶液蒸发器的一端连通设有氧气罐。本发明操作简便，效果显著，灵活性强，能够有效去除半导体单晶硅片衬底表面吸附金属及体内沉淀金属。
一种去除单晶硅金属沾污方法设备

[实用新型]一种施工现场降尘机构-CN202320654855.0有效
发明人： 张庆旭 -专利权人：南京霍比特环保科技有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种施工现场降尘机构，包括降尘结构和雾炮降尘机构，所述降尘结构包括雾炮筒、机箱和高压管，所述高压管安装在雾炮筒端部和机箱之间，所述雾炮降尘机构安装在雾炮筒端部，所述雾炮降尘机构包括雾炮管、环形水管、高压喷头、连接水管和安装件，两个所述雾炮管通过安装件分别向背安装在雾炮筒右端前后侧，所述雾炮管内部设置有环形水管，所述环形水管内表面设置有高压喷头；本实用新型通过将雾炮筒、高压管和雾炮降尘机构结合，可在原有对施工现场灰尘雾化基础上，增加水雾喷出量和喷出范围，一定时间内增加对施工现场灰尘降尘量和降尘效率，节省降尘时间和提高对施工现场空气净化效果。
一种施工现场降尘机构

[发明专利]一种正压固相萃取仪的塞柱移动和液体流速控制装置及其使用方法-CN202310330943.X在审
发明人：魏爱云;李俏;石梦璇;程林林;王琰;夏继凯;张庆旭;李慧茹;张萍;武丛丛;杨倩倩;李梦凡 -专利权人：方圆标志检验检测（山东）有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： B01D15/16 文献下载
摘要：本发明属于检验装置技术领域，特别涉及一种正压固相萃取仪的塞柱移动和液体流速控制装置及其使用方法，包括若干个微型伺服电动缸，每个微型伺服电动缸的伸缩轴下端依次固定快接头、压力传感器、连接盘、弹性柱塞，萃取柱在弹性柱塞的正下方，萃取柱装在固定板B上，微型伺服电动缸装在固定板A上，萃取柱出口正下方放置量杯，量杯放在微型高精度称重传感器上，各电控部件与显示PLC控制器有线或无线连接。当某压力传感器达到上限值该伺服电动缸停止工作。该装置解决了萃取柱出口液体流速控制问题，也解决了个别萃取柱出现“堵塞”影响其它塞柱运行的问题，有效提高了检测质量和效率。
一种正压萃取移动液体流速控制装置及其使用方法

[发明专利]一种茶叶加工用精烘焙方法-CN202310329341.2在审
发明人： 张庆旭;徐红玉 -专利权人：贵州丹青白农业发展有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： A23F3/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种茶叶加工用精烘焙方法，包括以下步骤：S1：平铺摊放至烘焙房间，摊放厚度为0.8‑1.5cm，上覆细纱网，转动烘焙板，使得同组茶叶均匀受热；S2：初次预热，保持温度在70‑130℃，使用排风机等对空间内上部湿气排出；S3：将烘焙好的菜叶同烘焙板取出，压持定型后通过冷风机进行二次除湿烘干；S4：将S3中得到的茶叶重新摊放置烘焙板上，厚度在3‑4cm，送入烘焙房间进行二次烘焙温度保持在90‑110℃；S5：将S4中得到的茶叶取出均匀摊放至晾晒架，防止阳光照射，通过自然冷风降温；S6：对S5中晾凉的茶叶辉锅，辉锅温度为65～70℃。本发明与现有技术相比的优点在于：提供一种烘焙效果好，提高茶叶香味的一种茶叶加工用精烘焙方法。
一种茶叶工用烘焙方法

[实用新型]一种可等距调节的半导体硅片夹持器-CN202223164451.8有效
发明人： 张庆旭;吴雄杰;肖春柳;聂早早;王志雄;白超;余天威;徐佳俊;刘伟;代明明 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，具体地说，涉及一种可等距调节的半导体硅片夹持器，包括主体支架，还包括：设置于主体支架内部的等距调节机构，包括设置于主体支架顶面的调节螺母、与调节螺母螺纹连接且延伸到主体支架内的调节螺丝以及连接于调节螺丝底端的第一导轨槽，主体支架底端于第一导轨槽正下方处固定有第二导轨槽，第二导轨槽底部连接有支撑架；设置于主体支架底部的用于夹取及释放硅片的夹持机构，包括若干等间距设置于支撑架底端的真空吸笔。本实用新型可以同时夹取和释放多枚硅片，并且可以在夹取后对硅片间的距离进行等距调节，期间不需单枚取放硅片，可以极大地增加工作效率，还可以有效避免硅片划伤、擦伤。
一种等距调节半导体硅片夹持

[实用新型]一种低压气相沉积用硅片载舟-CN202223166032.8有效
发明人： 张庆旭;吴雄杰;余天威;白超;聂早早;王志雄;徐晖;代明明;刘伟;徐佳俊 -专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，具体为一种低压气相沉积用硅片载舟，包括舟体和靠板，舟体包括支架、下刻槽石英棒、与下刻槽石英棒相连的左刻槽石英棒、右刻槽石英棒，靠板尺寸小于加工硅片尺寸，其外形为等边三棱柱。本实用新型可以实现卧式低压气相炉沉积过程中硅片“背靠背”生长，极大的提高了加工效率，硅片倾斜放置可以避免生长多晶硅膜一面与石英舟的直接接触，略小于加工硅片的尺寸可以减少在沉积后取样过程中对多晶硅薄膜的物理破坏。本实用新型具有使用效果好、结构简单、成本低廉之优点。
一种压气沉积硅片

[发明专利]一种具有降噪装置的超声清洗器-CN202310421322.2在审
发明人：张玉环;李俏;王风莹;张子臣;刘杉杉;张京雨;张晓芳;王磊磊;张庆旭;李田田;张晓寒;李仁霞;李硕;程林林 -专利权人：方圆标志检验检测（山东）有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明属于超声清洗装置技术领域，特别涉及一种具有降噪装置的超声清洗器。本申请在超声清洗器壳体与隔音壳体和隔音盖之间设置多个超声波接收发射传感器，通过模块集成装置中的音频识别模拟模块和音频发射模块，超声波发射传感器发出与噪音相反的声波波形来抵消噪音，达到主动减弱或消除超声清洗器壳体与隔音壳体之间空气中噪音目的，同时对超声清洗器的盛液体器皿内的工作不构成影响。
一种具有装置超声清洗

[发明专利]一种发酵型茶叶的新型发酵方法-CN202310175613.8在审
发明人： 张庆旭;徐红玉 -专利权人：贵州丹青白农业发展有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： A23F3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种发酵型茶叶的新型发酵方法，包括以下步骤：S1：选茶，对茶叶处理；S2：发酵液制备；S3：将发酵液与处理后茶叶混合进行发酵；S4：对发酵后的茶叶进行炒制烘干。本发明与现有技术相比的优点在于：提供一种方便发酵使用，进一步提升茶叶风味的一种发酵型茶叶的新型发酵方法。
一种发酵茶叶新型方法

[发明专利]一种高压气瓶旋压补热装置及补热方法-CN202211596109.7在审
发明人： 张庆旭;武春学;邓春锋 -专利权人：中船双瑞（洛阳）特种装备股份有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B21D37/16 文献下载
摘要：本发明涉及旋压技术领域，具体而言，涉及一种高压气瓶旋压补热装置及补热方法。一种高压气瓶旋压补热装置包括加热组件和移动架。加热组件包括：至少三个喷枪，喷枪包括喷嘴和枪体，喷嘴朝向工件。移动架可沿工件的延伸方向移动，加热组件可转动地与移动架连接。一种高压气瓶旋压补热装置具有以下优势：解决了现有补热喷枪补热效率低补热温度不够、补热范围小及补热喷枪窜动造成的安全问题，提供了一种操作方便、补热效率高、安全可靠性高的补热装置，避免了气瓶因为补热温度不够造成的旋压过程中设备震动、旋压后的气瓶表面质量差及瓶嘴裂纹缺陷，提高了旋压质量和产品安全可靠性。
一种压气瓶旋压补热装置方法

[实用新型]一种风力发电机组水冷系统的补水装置-CN202221359814.0有效
发明人： 张庆旭;苏雅拉;高军;任仲杰;李宸;张恒;罗明亮;郭永强 -专利权人：华润电力风能（满洲里）有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： F03D80/60 文献下载
摘要：本申请公开了一种风力发电机组水冷系统的补水装置，用于提升风力发电机组水冷系统的冷却液补充效率。本申请包括：水箱、进水管道、出水管道、加水口、恒压水泵；所述进水管道的两端分别连接所述水箱以及所述恒压水泵；所述出水管道的两端分别连接所述恒压水泵以及水冷系统；所述加水口设置于所述水箱的顶部；所述恒压水泵固定于所述水箱上。
一种风力发电机组水冷系统装置

[实用新型]一种组合式滑环维护装置-CN202123214916.1有效
发明人： 张庆旭;张恒;苏雅拉;任仲杰;杨化君;乌浩 -专利权人：华润电力风能（满洲里）有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01R39/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种组合式滑环维护装置，能够提高滑环维护的质量。本申请中的组合式滑环维护装置包括：支架、若干第一滚动轴承、套管、从动轮、若干滑环固定件、若干导线固定件、固定架、电机、主动轮以及传动带；套管通过支架上设置的第一滚动轴承与支架可滚动连接；套管一侧固定连接有从动轮，从动轮设置有穿孔，滑环固定件与从动轮可拆卸连接，以在对应穿孔的位置固定滑环组件的滑道部分；套管的管壁设置有通孔，导线固定件位于通孔对应的位置，与套管固定连接，以固定滑环组件的滑道部分的导线；固定架与支架固定连接，固定架与电机固定连接；电机的旋转轴设置有主动轮，传动带紧扣套设在主动轮以及从动轮外侧。
一种组合式滑环维护装置

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