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- [发明专利]一种光刻机光源头组件-CN202310743157.2有效
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谭军;庞超群;曹彬;朱晓春
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-06-21
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2023-09-15
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机光源组件技术领域,尤其为一种光刻机光源头组件,包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置,所述光源装置后方与水冷装置固定连接,所述光源装置内设置有风冷装置,所述光源装置内一侧设置有直准模组,所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置,所述后板一侧设有前板,所述前板内设有呈均匀分布的螺栓,本发明中,通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体,可以直接推动卡合杆,通过卡合杆推动夹持主体移动,在卡合杆底部与安装块相接触后,松开卡合杆,夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合,同时推动卡合杆移动,实现对固定壳的快速安装。
- 一种光刻源头组件
- [发明专利]一种光刻机光源头水冷组件-CN202310583606.1有效
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庞超群;谭军;曹彬
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-05-23
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2023-08-29
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机技术领域,尤其为一种光刻机光源头水冷组件,包括光源主体、水冷装置、水循环装置和导热装置,所述光源主体一侧与水冷装置固定连接,所述水冷装置另一侧与水循环装置固定连接,所述水循环装置一侧固定连接有散热主体,所述导热装置在水循环装置内呈均匀分布,所述水冷装置包括第一盖板、第一挡水主体和第二挡水主体,所述第一盖板一侧固定连接有第二盖板,所述第二盖板与光源主体固定连接,本发明中,通过设置的通过设置的第一盖板、第二盖板、导热板、第一挡水架、第二挡水架、第一密封条、第一挡水杆、第二挡水杆、第二密封条和出水孔,可以通过其形成的空腔对冷却液进行引导,使冷却液可以有方向的流动,提高散热效果。
- 一种光刻源头水冷组件
- [发明专利]一种光刻机物镜结构-CN202310719268.X在审
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谭军;朱晓春;李勇
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-06-16
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2023-07-28
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机物镜技术领域,尤其为一种光刻机物镜结构,包括物镜主体、水冷装置和散热装置,所述物镜主体外侧与水冷装置固定连接,所述水冷装置远离物镜主体的一侧与散热装置固定连接,所述物镜主体包括外壳、镜片主体和定位装置,所述外壳的个数共有四个,且四个所述外壳在镜片主体外侧呈均匀分布,所述镜片主体外侧设置在外壳一侧,本发明中,通过设置的外壳、镜片主体、固定盖、定位装置、夹持块、推板、螺丝、连接板、定位环、螺栓和定位主体,可以方便的对镜片主体和水冷装置进行组装,同时在夹持板对外壳进行夹持时,在第一弹簧的作用下,使限位板可以对两个外壳进行夹持,使外壳安装更加稳定,方便对镜片主体进行安装和拆卸。
- 一种光刻物镜结构
- [发明专利]一种光刻机工作台-CN202310547498.2有效
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庞超群;曹彬;朱凯
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-05-16
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2023-07-18
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机技术领域,尤其为一种光刻机工作台,包括光刻机主体、光源头组件和工作台面,所述光刻机主体顶端设有光源头组件,光刻机主体内侧设有工作台面,所述工作台面底端固定连接有移动座,所述移动座内侧设有滚珠丝帽,所述滚珠丝帽内侧安装有第二滚珠丝杠,所述第二滚珠丝杠一端和定位杆转动连接,所述第二滚珠丝杠另一端和电机主轴固定连接,本发明中,通过引风机配合气泵使电机主轴内部有气体流动的同时可以产生负压,利用工作台和电机之间空气引入到电机主轴形成气流使工作台和电机之间的空气隔绝,可以防止电机在长时间工作后对工作台附近的温度造成影响的问题发生,可以有效的提高光刻机加工的质量。
- 一种光刻机工
- [发明专利]一种光学仪器的调焦锁紧结构-CN202210714162.6有效
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庞超群;谭军
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张家港奇点光电科技有限公司
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2022-06-23
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2022-10-18
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G02B7/02
- 本发明属于光学仪器技术领域,具体的说是一种光学仪器的调焦锁紧结构,包括锁紧架,所述锁紧架内部固定有导向柱,所述锁紧架与导向柱之间滑动连接有锁紧环,所述锁紧环内部开设有转向槽,所述转向槽靠近导向柱的一侧滑动连接有转向块,所述转向块靠近导向柱的一侧固定有传动杆,所述传动杆远离转向块的一端固定有挤压板,所述传动杆外部套接有复位弹簧;通过推动锁紧环带动转向块运动,进而带动挤压板运动直至挤压板与调焦组件接触并将其锁住,该锁紧结构施加锁紧力的方向与调焦组件的轴心方向一致,从而不会产生拨动调焦组件轴心的情况出现,这样在锁紧焦距的同时也有效的避免了施加偏转力使得光学仪器镜头轴心偏移的情况。
- 一种光学仪器调焦结构
- [发明专利]一种工业固化用高光功率紫光LED-CN202111268684.X有效
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庞超群
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张家港奇点光电科技有限公司
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2021-10-29
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2022-02-08
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H01L25/075
- 本发明公开了一种工业固化用高光功率紫光LED,涉及紫光LED技术领域。该工业固化用高光功率紫光LED包括保护外壳,所述保护外壳内壁底部固定有两个对称设置的基座,两个所述基座顶部分别电性连接有两个功率不同的紫光芯片,两块所述紫光芯片之间通过键合金丝连接。该工业固化用高光功率紫光LED,通过设置两个功率不同的紫光芯片可以提高本LED的适用范围,并且设置四块厚度不同的透镜可以实现对紫光芯片照射出的紫外光进行不同的聚光操作,在适用于不同的材料进行固化时,该装置可以通过调节活动封闭板的转动角度来实现本LED发出紫光的不同强度和功率,从而提高本LED的适用范围,进而降低紫光芯片和透镜的更换频率。
- 一种工业固化用高光功率紫光led
- [发明专利]一种光学仪器的角度调节机构-CN202111271170.X有效
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庞超群
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张家港奇点光电科技有限公司
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2021-10-29
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2022-02-08
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F16M11/04
- 本发明公开了一种光学仪器的角度调节机构,涉及光学仪器技术领域。本发明包括底座,所述底座的顶部远离底座中心处固定有中空板,所述中空板有两个,两个所述中空板之间固定有横板,所述横板的顶部固定有连杆,所述连杆的顶部铰接有承载板,所述承载板的左侧和右侧分别设置有辅助固定装置,所述底座的顶部远离底座中心处设置有调节装置,所述底座的底部设置有车轮装置。本发明通过齿轮与双向齿板配合,在转杆带动齿轮转动过程中,双向齿板向上或者向下移动,使得双向齿板调节光学仪器的角度,从而避免了光学仪器的角度调节机构,光学仪器上下移动的幅度较小,调节速度慢的问题,进而提高了光学仪器的调节的工作效率。
- 一种光学仪器角度调节机构
- [发明专利]一种可调节的光学仪器定位装置-CN202111260558.X有效
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庞超群
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张家港奇点光电科技有限公司
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2021-10-28
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2022-02-08
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G02B7/00
- 本发明公开了一种可调节的光学仪器定位装置,涉及机械技术领域。包括调节杆,所述调节杆滑动安装于支撑杆顶部,所述调节杆顶部固定安装有仪器支架,所述支撑杆底部嵌固于定位底座顶部,所述支撑杆外壁固定安装有保护罩,所述保护罩顶部活动安装有清洁罩,所述清洁罩外壁与保护罩外壁之间通过弹片弹性连接,所述保护罩上固定开设有防尘散热孔。该可调节的光学仪器定位装置,通过在支撑杆上设置有保护罩,可以有效的对风沙进行阻隔,同时通过设置有清洁罩,清洁罩顶部可以对调节杆的外壁进行灰尘刮除操作,防止灰尘对调节杆的调节造成影响,同时保护罩上开设有防尘散热孔,避免保护罩内部与调节杆之间形成密闭环境。
- 一种调节光学仪器定位装置
- [发明专利]一种紫外光光路分析设备-CN202111260452.X有效
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庞超群
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张家港奇点光电科技有限公司
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2021-10-28
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2022-01-07
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G01N21/59
- 本发明公开了一种紫外光光路分析设备,涉及紫外光应用技术领域。该紫外光光路分析设备包括设备主体,所述设备主体内部贯穿开设有纵向设置的检测通道,所述检测通道底部嵌固有接收器,所述接收器顶部电性连接有感光板,所述检测通道顶部设置有灯头安装座。该紫外光光路分析设备,通过设置感光板可以对穿过玻璃的紫外光进行测定,并通过接收器进行展示,以展示出玻璃对光的反射度,进而判断玻璃是否合格,设置滑槽和滑动条使得灯头安装座可以在设备主体顶部进行左右移动,进而可以提高紫外光灯头的对玻璃的照射范围,无需对玻璃进行移动,防止玻璃移动过程中无法很好的把控玻璃移动的距离,从而提高检测精度。
- 一种紫外光光分析设备
- [发明专利]一种紫光LED发光装置-CN202111260566.4有效
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庞超群
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张家港奇点光电科技有限公司
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2021-10-28
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2021-12-31
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F21S8/00
- 本发明公开了一种紫光LED发光装置,涉及LED技术领域。本发明包括移动架,所述移动架的顶部活动安装有反光槽板,所述反光槽板的内部固定安装有紫光LED灯管,所述紫光LED灯管的外侧设置有清洁装置,所述反光槽板的内壁正面和背面设置有散热装置,所述反光槽板的右侧设置有调节装置。本发明通过齿轮与左侧圆环的外侧设置的齿环配合,使得齿轮带动圆环顺时针转动,圆环带动U形架跟着顺时针转动,从而使得U形架带动清洁刷跟着转动,清洁刷对紫光LED灯管外侧进行清洁,从而避免了在灰尘较多的区域,灰尘附着在紫光LED灯管上,造成紫光LED灯的亮度和照射率降低的问题,进而减少了人工对紫光LED灯管清洁的频率。
- 一种紫光led发光装置
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