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[发明专利]一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置-CN202211515527.9在审
发明人：何凯旋;陈博;郭立建;孙涛;张友照 -专利权人：华东光电集成器件研究所
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS微镜抗疲劳电互连装置，它包括晶圆（1），其在晶圆（1）上通过第二镂空区域（5）和第一镂空区域（2），形成微镜面（3）和可动框架（10），通过第一镂空区域（2）和第二镂空区域（5）上的纵向开口（2a）和横向开口（5a）形成纵向扭转梁（4）和横向扭转梁（6），在横向扭转梁（6）。本发明利用扩散低阻硅代替全金属薄膜实现在弯曲或者扭转结构的表面电互连引出，能够完全避免金属薄膜引线材料在高频往复运动过程中产生的疲劳的问题，有效的提高了MEMS微镜的寿命。
一种 mems 微镜抗疲劳互连装置

[发明专利]一种晶圆级键合质量检测装置-CN202211188634.5在审
发明人：孙涛;唐红跃;张友照;乔威;王健 -专利权人：华东光电集成器件研究所
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆级键合质量检测装置，属于半导体技术领域。它包括光源调节室，光源调节室的顶端设有透明的载片台和可调节的支架，支架上连接带有滤光片的红外摄像头，红外摄像头与监视显示器电性连接，光源调节室内设有一组竖向设置的导向光轴，该组导向光轴上由上到下依次滑动配合连接上调节板和下调节板，上调节板上设有通光孔，通光孔处固定连接匀光板，下调节板上连接光源。本发明通过调整上、下调节板的间距，将光源射出的光线通过匀光板射入到载片台上形成均匀的光照强度，使红外摄像头检测晶圆的成像清晰，同时本装置调节更加方便简单、耗时较少，进一步提高检测效率。
一种晶圆级键合质量检测装置