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[发明专利]防止钨损失的半导体器件及相应的制造方法-CN201310261111.3有效
发明人： 康晓春 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种防止钨损失的半导体器件及其相应的制造方法，制造方法包括提供的一第一半导体器件至少分别包括由下至上形成于第一氧化层中的钨通孔、形成于钨通孔上的复合金属层、形成于复合金属层上的第二氧化层中的第二开槽、形成于第二氧化层上且具有暴露出第二开槽的窗口的光阻层；采用氧气等离子体灰化工艺去除光阻层；采用UV灯烘焙工艺对已去除光阻层后的第一半导体器件进行照射；用碱性溶液清洗已去除光阻层后的第一半导体器件的表面，由于UV灯烘焙工艺提高了氧气等离子体灰化工艺去除光阻层后残留的电荷的活跃性，使其逃逸，从而减少因残留的电荷离子与碱性溶液共同作用于钨通孔上的电荷效应而导致的钨损失的问题。
防止损失半导体器件相应制造方法

[发明专利]具有介孔微球结构的硅酸亚铁锂/碳复合正极材料及制备方法-CN201410418268.7有效
发明人：木士春;胡林;杨金龙;康晓春;张伟 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2014-08-22 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明涉及具有介孔微球结构的硅酸亚铁锂/碳复合正极材料及制备方法，包括有以下步骤：1)在含有培养基的水溶液中加入微生物培养，然后经过离心、水洗得到纯微生物溶液；2)在有机醇或/和蒸馏水的溶剂中加入铁源、硅源和锂源，搅拌均匀待用；3)混合通过生物矿化作用在一定温度下搅拌得到前驱体溶液；4)烘干得到固态前驱体，然后在球磨机中球磨；5)压片，在惰性气氛下升温保温后冷却形成硅酸亚铁锂与微生物烧结后即得。本发明具有的有益效果：分散性能好，电解液能够很好地渗入特殊形貌的结构中，具有良好的电子导电性和锂离子扩散性能；而且，还具有较高的放电比容量，较好的倍率性能，特别适合于用作锂离子动力电池的正极材料。
具有介孔微球结构硅酸亚铁复合正极材料制备方法

[发明专利]通孔填充结构以及通孔填充方法-CN201310524371.5在审
发明人： 康晓春 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-10-29 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： H01L23/532 文献下载
摘要：本发明揭示了一种通孔填充结构，包括：半导体基底，所述半导体基底中具有通孔；钨层，所述钨层位于所述半导体基底上，并覆盖所述通孔；阻挡层，所述阻挡层位于所述钨层上，并覆盖所述通孔；金属层，所述金属层位于所述阻挡层上，并填充所述通孔。本发明还提供一种通孔填充方法。由于所述钨层的填隙能力较强，在所述钨层上制备所述阻挡层时，较薄的所述阻挡层可以很好的覆盖所述通孔，并且所述阻挡层的厚度均匀；当在所述阻挡层上再制备金属层时，所述金属层能很好的填充到所述通孔中；另外，所述钨层的导电能力好于所述阻挡层的导电能力，并且所述阻挡层较薄，有利于提高通孔的导电能力。
填充结构以及方法

[发明专利]MIM电容器的制备方法以及半导体器件的制备方法-CN201310041600.8在审
发明人： 康晓春;何朋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明揭示了一种MIM电容器的制备方法，包括：提供半导体基底；在所述半导体基底上依次形成第一金属层、第一介质层和第二金属层；在所述第一金属层上形成第一介质层；在所述第一介质层上形成第二金属层；对所述第二金属层进行热处理；图形化第二金属层、所述第一介质层以及所述第一金属层，形成以所述第一金属层图形为下极板、所述第二金属层图形为上极板、所述第一介质层图形为电介质的MIM电容器。同时，本发明还提供一种半导体器件的制备方法，采用本发明的MIM电容器的制备方法，能够减少或避免MIM电容器的缺陷。
mim 电容器制备方法以及半导体器件

[发明专利]一种三维分级结构的磷酸铁锂电极材料及其制备方法-CN201410026231.X有效
发明人：木士春;张伟;杨金龙;康晓春;胡林 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2014-01-21 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： H01M4/58 文献下载
摘要：本发明涉及三维分级结构的磷酸铁锂电极材料及其制备方法，包括有以下步骤：1）在溶剂中依次加入表面活性剂和磷源化合物，搅拌均匀待用；2）将铁源化合物分散在溶剂中，搅拌均匀待用；3）将锂源化合物分散在溶剂中，搅拌均匀待用；4）将磷源化合物、铁源化合物和锂源化合物的溶液或悬浮液混合搅拌装入反应釜；5）水热或溶剂热条件下反应，所得产物进行洗涤和干燥得到各种分级结构的磷酸铁锂；6）进行焙烧，得到结晶度高的分级结构磷酸铁锂材料。本发明是采用水热或溶剂热反应直接得到的前驱体制备锂离子电池正极材料磷酸铁锂（LiFePO₄）的湿化学方法，采用表面活性结构导向法设计构筑了具有高比表面积和优异电化学性能的电极材料。
一种三维分级结构磷酸电极材料及其制备方法

[发明专利]晶圆边缘清洗方法-CN201210592057.6有效
发明人： 康晓春;何朋;杨益;孙日辉 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明揭示了一种晶圆边缘清洗方法，该方法包括：令晶圆进行第一旋转，向所述晶圆边缘喷洒第一反应液；令所述晶圆进行第二旋转，向所述晶圆边缘喷洒第二反应液；以及用去离子水冲洗所述晶圆。采用本发明晶圆边缘清洗方法对所述晶圆边缘进行清洗，可以减少或去除现有技术中由于清洗晶圆边缘而形成的缺陷，从而提高良率。
边缘清洗方法

[发明专利]一种废料处理装置-CN201310140117.5有效
发明人：胡自强;张永开;康晓春;刘禹江;王云强;赵宪奎;尹文才 -专利权人：东方机器制造（昆明）有限公司
申请日： 2013-04-22 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： B30B9/28 文献下载
摘要：本发明提供一种废料处理装置，包括第一、第二输送机构，与第二输送机构的输出端相接的压块机构，其特征在于第一输送机构的输出端连接有挤压破碎机构，挤压破碎机构的出料端与第二输送机构的输入端相接，所述挤压破碎机构包括：机架，设于机架上部并与第一输送机构输出端相接的挤压辊对，设于机架中部并位于挤压辊对下方的破碎刀辊组，设于机架上并分别通过传动件连接挤压辊对的辊轴以及破碎刀辊辊轴的动力驱动件。通过本装置可将体积大的废弃物料处理挤压成紧密的块料，既方便运输，又从根本上杜绝了造假行为，能有效降低劳动强度，提高工作效率，具有结构简单，布局紧凑，安装方便等优点。
一种废料处理装置

[实用新型]一种废料处理装置-CN201320204858.0有效
发明人：胡自强;张永开;康晓春;刘禹江;王云强;赵宪奎;尹文才 -专利权人：东方机器制造（昆明）有限公司
申请日： 2013-04-22 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： B30B9/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种废料处理装置，包括第一、第二输送机构，与第二输送机构的输出端相接的压块机构，其特征在于第一输送机构的输出端连接有挤压破碎机构，挤压破碎机构的出料端与第二输送机构的输入端相接，所述挤压破碎机构包括：机架，设于机架上部并与第一输送机构输出端相接的挤压辊对，设于机架中部并位于挤压辊对下方的破碎刀辊组，设于机架上并分别通过传动件连接挤压辊对的辊轴以及破碎刀辊辊轴的动力驱动件。通过本装置可将体积大的废弃物料处理挤压成紧密的块料，既方便运输，又从根本上杜绝了造假行为，能有效降低劳动强度，提高工作效率，具有结构简单，布局紧凑，安装方便等优点。
一种废料处理装置

[发明专利]用于铜互连的钛掺杂钽基阻挡层及其制造方法-CN201110298197.8有效
发明人： 康晓春;何朋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L23/532 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于铜互连的钛掺杂钽基阻挡层及其制造方法，所述钛掺杂钽基阻挡层包括钛掺杂钽氮薄膜和位于所述钛掺杂钽氮薄膜上的钛掺杂钽薄膜，其中所述钛掺杂钽氮薄膜中钛占钛钽总原子数的百分比为0.1％～2.2％；所述钛掺杂钽薄膜中钛占总原子数的百分比为0.1％～2.2％。相比于现有技术，作为铜互连的阻挡层由现有技术中的钽薄膜/钽氮薄膜组成的钽基阻挡层改变为钛掺杂钽薄膜/钛掺杂钽氮薄膜组成的钛掺杂钽基阻挡层，钛掺杂钽基阻挡层的制造方法是在形成阻挡层过程中，将靶材料从钽更改为钽钛固熔体，其中钛占钛钽原子数比例为0.1％～2.2％，从而大幅提高阻挡层及半导体器件的性能。
用于互连掺杂阻挡及其制造方法

[实用新型]气体利用率高的淬火装置-CN201020244654.6无效
发明人：王杨;李自良;康晓春 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2010-07-02 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： C21D1/62 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体利用率高的淬火装置，包括其内设空腔，其下部设进气口、上部设出气口的箱体，其特征在于箱体内设有滑轨，滑轨上设有底部带网孔板的滑动载件抽屉，滑动载件抽屉下方至箱体下部进气口之间设有上、下为通孔的柱状集气罩，滑动载件抽屉上方至出气口之间设集气仓。可使进入的淬火气体先集中于淬火工件下方的集气罩内，再在集气罩的束流、导流作用下，只流向淬火工件，从根本上解决气体淬火中大量气体被浪费的缺陷，而且实现了淬火气体的回收利用，既提高了资源利用率，又降低了环境污染指数，同时降低淬火成本，另外，本实用新型具有结构简单，操作方便，淬火工件固定可靠，淬火质量好等优点，实为一理想的气体淬火装置。
气体利用率淬火装置

[实用新型]一种方便食品碗面包装-CN201020164996.7无效
发明人：王杨;李自良;康晓春 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2010-04-21 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： B65D85/816 文献下载
摘要：本实用新型是一种方便食品碗面包装。在碗盖上安装一个锁紧扣，锁紧扣由一锁紧扣底座和一根锁紧丝组成，锁紧丝呈半圆形，其两端各弯折出一段直丝，装配时，将这两段直丝插入锁紧扣底座的安装孔内，从而实现锁紧扣的装配要求，通过锁紧丝的弹力以及锁紧扣底座的锁紧作用实现碗盖的密封效果，从而将大部分热量保留在碗内。本实用新型的方便食品碗面包装结构简单，易于制造，尤其可以从根本上解决泡面过程中热量散失大的缺陷。
一种方便食品包装

[实用新型]一种矫姿护眼椅-CN201020164938.4无效
发明人：王杨;李自良;康晓春 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2010-04-21 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： A47B39/10 文献下载
摘要：本实用新型是一种矫姿护眼椅。由椅子和一根限位带组成，限位带的一端扣进椅子上边的一个扣环内，另一端扣进椅子下边的扣环内。限位带上有可以在限位带上移动的护肩垫。限位带上安装有便于调节限位带长度的调节卡片。此种椅子可以通过限位带的拉力作用保证青少年的良好坐姿，尤其可以从根本上解决青少年学习时的身体过度前倾问题，如此一来既可以保护视力，又能保证青少年的健康发育。
一种护眼

[实用新型]一种健身洗衣桶-CN201020167816.0无效
发明人：王杨;李自良;康晓春 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2010-04-23 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： D06F17/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种健身洗衣桶。它由桶体、在桶体中心有带有波轮、波轮中部设有分布着大量的球突的增高柱、与波轮连接的波轮轴、与波轮轴连接的大锥齿轮和与之啮合的小锥齿轮、与小锥齿轮连接驱动轴、与驱动轴连接的脚踏板和桶体上安装的旋转手柄构成；桶体由外壳、中壳和带出水孔的内壳构成，内壳和中壳间有排水管。此健身洗衣桶将健身器与洗衣机完美结合在一起，通过锥齿轮将脚蹬运动转换成波轮的转动，从而带动水与衣服一起转动，此过程中，衣物在波轮上的球突和中壳上的锥突上充分摩擦，从而达到去污的目的，同时身体得到适量运动，对身体健康起到了重要作用，也节省了大量能源。
一种健身洗衣

[发明专利]一种健身洗衣桶-CN201010153651.6无效
发明人：王杨;李自良;康晓春 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2010-04-23 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： D06F17/06 文献下载
摘要：本发明提供一种健身洗衣桶。它由桶体、在桶体中心有带有波轮、波轮中部设有分布着大量的球突的增高柱、与波轮连接的波轮轴、与波轮轴连接的大锥齿轮和与之啮合的小锥齿轮、与小锥齿轮连接驱动轴、与驱动轴连接的脚踏板和桶体上安装的旋转手柄构成；桶体由外壳、中壳和带出水孔的内壳构成，内壳和中壳间有排水管。此健身洗衣桶将健身器与洗衣机完美结合在一起，通过锥齿轮将脚蹬运动转换成波轮的转动，从而带动水与衣服一起转动，此过程中，衣物在波轮上的球突和中壳上的锥突上充分摩擦，从而达到去污的目的，同时身体得到适量运动，对身体健康起到了重要作用，也节省了大量能源。
一种健身洗衣

[发明专利]一种制备Zr_0.30Ce_0.45Al_0.25O_1.87固溶体纳米颗粒的方法-CN200810203565.4无效
发明人：杨修春;康晓春;卢振光;韦亚南;黄文旵 -专利权人：同济大学
申请日： 2008-11-28 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： C04B35/50 文献下载
摘要：一种制备Zr_0.30Ce_0.45Al_0.25O_1.87固溶体纳米颗粒的方法，采用共沉淀方法实现CeO₂-ZrO₂-Al₂O₃之间的固溶，制得Zr_0.30Ce_0.45Al_0.25O_1.87固溶体纳米颗粒。通过共沉淀方法生成ZrO₂、CeO₂和Al₂O₃的前驱体，并通过工艺保证这些前驱体在分子尺度范围内混合，在热处理过程中这些前驱体分解成ZrO₂、CeO₂和Al₂O₃团簇，这些团簇之间混合均匀，形成Zr_0.30Ce_0.45Al_0.25O_1.87固溶体纳米颗粒。采用Ni(NO₃)₂·6H₂O、Al(NO₃)₃·9H₂O、ZrOCl₂·8H₂O和Ce(NO₃)₃·6H₂O为原料进行制备。通过X射线衍射(XRD)和高分辨电子显微镜(TEM)等分析方法可对其结构进行表征。
一种制备 zr sub 0.30 ce 0.45 al 0.25 1.87 固溶体纳米颗粒

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