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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]溅射装置、溅射装置的控制方法和溅射装置用控制装置-CN202280008019.3在审
发明人：中尾裕利;田中克育;望月仁志;广谷伸哉;大野哲宏 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明的一个方式的溅射装置具有：一个以上的靶，其与基板相向地配置且由成膜材料构成；一个以上的磁铁单元，其配置在所述靶的背面；控制装置，其具有最优解计算部，所述最优解计算部基于至少包含设定条件和由该溅射装置成膜的所述基板上的成膜材料的膜质的测定值的输入信息，计算关于至少一个所述磁铁单元的所述设定条件的最优解，所述设定条件包含各所述磁铁单元的位置、各所述磁铁单元的移动模式、以及构成各所述磁铁单元的电磁铁的流入电流或流入电流变动模式中的至少一个；以及调整单元，其能够基于所述最优解，个别地调整所述磁铁单元的所述设定条件。
溅射装置控制方法

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