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[实用新型]一种扫描探针显微镜-CN202122517604.1有效
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描探针显微镜，包括扫描组件和驱动部件，扫描组件包括扫描探针组件和光学显微镜组件，扫描探针组件包括支撑部件、设置在支撑部件上的检测头、与检测头位置相对应的扫描台；光学显微镜组件包括支架和设置在支架上的光学显微镜，光学显微镜设置在检测头上方。扫描探针组件与光学显微镜组件分体设置，探测头由支撑部件独立支撑，能够实现检测头轻量化和微型化，因此检测头相对支撑部件的结构刚性和固有频率显著提高，有效提升了扫描探针组件的稳定性；光学显微镜由支架独立支撑，提升了光学显微镜组件的灵活性，可以根据实际应用领域选配最合适的光学显微镜。
一种扫描探针显微镜

[实用新型]一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置-CN201920353901.7有效
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01Q60/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收。本实用新型的物镜组件完全处于探头装置上方，因此不会影响到物镜组件的物镜切换，从而实现了与常规光学显微镜的联用，并且探头装置仅包括了激光器、微悬臂探针和激光接收器，内部构造简单，且不会降低入射激光的光强和样品观测的分辨率。本实用新型作为一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置可广泛应用于扫描探针显微镜等纳米表征领域中。
一种基于扫描探针显微镜激光检测装置

[发明专利]一种新型扫描探针显微镜的检测方法和系统-CN201710150146.8有效
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G01Q30/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型扫描探针显微镜的检测方法和系统，系统包括光源、微悬臂探针、四象限接收器和接收器信号处理模块，光源发出的入射光经微悬臂探针反射后形成反射光，反射光被四象限接收器所接收，四象限接收器的输出端与接收器信号处理模块的输入端连接，光源和四象限接收器调整后所固定的位置能使入射光的中心轴和反射光的中心轴所在的平面与微悬臂探针的悬臂梁伸展轴垂直。本发明使入射光的中心轴和反射光的中心轴所在的平面与微悬臂探针的悬臂梁伸展轴垂直，实现了探针弯曲与探针升降这两种运动方式在检测信号上完全解耦，结构简单，成本低，以微悬臂探针作为唯一载荷，保证了扫描驱动装置的响应频率。本发明可广泛应用于显微镜技术领域。
一种新型扫描探针显微镜检测方法系统

[发明专利]一种双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法-CN201611152409.0有效
发明人：李鹏;裘晓辉;吴浚瀚;王帅 -专利权人：国家纳米科学中心;广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：本发明涉及微纳米区域物性测量及操控技术领域，尤其涉及一种基于激光检测式的双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法。该双探针原子力显微镜快速逼近方法为：主探针沿水平的X轴、Y轴方向调节，从探针沿垂直的Z轴方向调节；调整主探针和从探针的激光器，从探针的激光器发射的光线经过反光镜反射，光线的光斑垂直射在从探针悬臂梁上。本发明提供的一种双探针原子力显微镜快速逼近方法，该方法将需要Z轴向调节的从探针的入射光通过反光镜调整为垂直方向射入，因此，在调节时不会出现偏离悬臂梁的现象，进而对于激光器仅需一次调节即可，逼近方法得到极大的简化，之后，再通过对主探针和从探针进行微调，直至两者均与样品接触，即完成逼近操作。
逼近探针原子力显微镜双探针主探针反光镜方向调节激光器激光器发射微纳米区域光斑激光检测探针悬臂物性测量样品接触垂直的入射光悬臂梁操控射入反射微调垂直偏离

[发明专利]一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法及系统-CN201710790075.8在审
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G01Q40/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法及系统，方法包括控制压电扫描器以一系列不同的给定扫描速度对标准样品进行实际的扫描成像，并根据实际的扫描成像结果拟合出压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系；获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正。系统包括实际扫描成像与拟合模块以及实际扫描范围校正模块。本发明通过压电扫描器的实际扫描成像结果对扫描速度与扫描范围的关系进行拟合，进而根据拟合的结果进行实际扫描范围校正，有效消除了扫描速度变化对压电扫描器扫描范围的影响，能得到更准确的检测结果。本发明可广泛应用于显微镜领域。
一种基于扫描速度压电扫描器范围校正方法系统

[发明专利]一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法及系统-CN201610079498.4有效
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2016-02-04 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： G01Q40/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法及系统，方法包括从计算校正法、盲校正法和拟合校正法中选定一种基于样品厚度的扫描范围校正方法，并根据选定的校正方法得到压电陶瓷管扫描器的实际扫描范围与样品厚度的关系；获取被测样品的实际厚度，并根据被测样品的实际厚度以及实际扫描范围与样品厚度的关系对压电陶瓷管扫描器的扫描范围进行校正。本发明增设了计算校正法、盲校正法和拟合校正法，能得出实际扫描范围与样品厚度的关系并根据样品的实际厚度对扫描范围进行校正，有效校正了因样品厚度变化引起的压电陶瓷管扫描器扫描范围的变化，更加准确和可靠。本发明可广泛应用于显微镜技术领域。
一种压电陶瓷扫描器扫描范围校正方法系统

[实用新型]一种多频扫描探针声学显微镜系统-CN201720693515.3有效
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2017-06-14 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多频扫描探针声学显微镜系统，包括多个声学信号源、多路信号叠加模块、声学换能器、扫描器、微悬臂探针、光电检测系统、多个相干检测解调模块和扫描探针显微镜控制系统，低通滤波器的输入端与光电检测系统的输出端连接，低通滤波器的输出端与反馈控制模块的输入端连接，反馈控制模块的输出端分别与样品表面形貌图显示模块的输入端以及扫描器的输入端连接，各声学信号图显示模块的输入端与各相干检测解调模块的输出端对应连接。本实用新型能驱动声学换能器产生多个不同频率的声激励信号，只需一次扫描成像就可得到多种频率的样品声学信号，检测效率高，且能实时得到样品的全部结构信息。本实用新型可广泛应用于显微镜领域。
一种扫描探针声学显微镜系统

[发明专利]一种多频扫描探针声学显微镜系统及其实现方法-CN201710446865.4在审
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2017-06-14 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多频扫描探针声学显微镜系统及其实现方法，系统包括多个声学信号源、多路信号叠加模块、声学换能器、扫描器、微悬臂探针、光电检测系统、多个相干检测解调模块和扫描探针显微镜控制系统，低通滤波器的输入端与光电检测系统的输出端连接，低通滤波器的输出端与反馈控制模块的输入端连接，反馈控制模块的输出端分别与样品表面形貌图显示模块的输入端以及扫描器的输入端连接，各声学信号图显示模块的输入端与各相干检测解调模块的输出端对应连接。本发明能驱动声学换能器产生多个不同频率的声激励信号，只需一次扫描成像就可得到多种频率的样品声学信号，检测效率高，且能实时得到样品的全部结构信息，可广泛应用于显微镜领域。
一种扫描探针声学显微镜系统及其实现方法

[发明专利]一种改进的扫描探针显微镜扫描方法-CN201510543658.1在审
发明人：吴浚瀚 -专利权人： 广州市本原纳米仪器有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进的扫描探针显微镜扫描方法，扫描探针显微镜在需要采集信号的正向扫描过程采集探针与样品的相互作用信息，而在不需要采集信号的返回扫描过程通过改进的回程空扫描控制方法，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离。本发明扫描探针显微镜在不需要采集探针与样品相互作用信息的返回扫描过程，使探针与样品间的相互作用减弱或使探针与样品完全分离，可有效减少或消除回程扫描过程中探针的无效磨损或损耗，增加了探针的使用寿命，也减少了显微镜的使用成本。本发明可广泛应用于显微技术领域。
一种改进扫描探针显微镜方法

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