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[发明专利]基于中空芯部光纤的辐射源-CN202280020616.8在审
发明人： W·R·彭格斯;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;J·R·K·科勒 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：一种辐射源，包括：中空芯部光纤，所述中空芯部光纤包括本体，所述本体具有用于限制工作介质的中空芯部，所述中空芯部光纤能够操作以接收脉冲泵浦辐射，使得所接收的脉冲泵浦辐射通过所述中空芯部从所述中空芯部光纤的输入端传播至所述中空芯部光纤的输出端；其中所述辐射源的源参数被配置成使得所述脉冲泵浦辐射经历光孤子自压缩过程，以便改变所述脉冲泵浦辐射的光谱以形成输出辐射；所述宽带光源装置还包括至少一个分散控制机构，所述至少一个分散控制机构能够操作以改变所述光纤的第一部分中的分散特性，以便对在所述光孤子自压缩过程中产生的分散波进行光谱偏移。
基于中空光纤辐射源

[发明专利]中空芯部光子晶体光纤-CN202180092065.1在审
发明人： 帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;彼得·马克西米兰·戈茨 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：根据本公开的一个实施例，提供了一种用于产生宽带辐射的辐射源，所述辐射源包括输入组件和中空芯部光子晶体光纤，所述输入组件用于提供输入辐射，所述中空芯部光子晶体光纤被配置成接收和限制被耦合到所述光纤中的所述输入辐射以用于通过光谱加宽产生宽带辐射；所述输入组件包括泵浦源，所述泵浦源被配置成提供具有至少50W的平均功率的输入辐射；所述中空芯部光子晶体光纤包括：中空芯部，所述中空芯部具有至少35μm的直径；和包覆区域，所述包覆区域包括围绕所述中空芯部的多个反谐振结构，所述反谐振结构包括壁部分，所述壁部分具有比所述宽带辐射的波长范围的下端的波长的一半更小的壁厚。
中空光子晶体光纤

[发明专利]用于对光学脉冲进行空间滤波的方法和设备-CN202280012420.4在审
发明人：阿里·阿尔萨卡;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种光学滤波器设备包括：光学发散装置，可操作以接收光学脉冲并且根据所述光学脉冲中的每个光学脉冲的脉冲能量在光学平面上对光学脉冲进行空间分布；以及空间滤波器，位于所述光学平面处，可操作以基于由所述空间分布导致的所述光学脉冲中的每个光学脉冲在所述光学平面处的位置来将空间滤波应用于所述光学脉冲。
用于光学脉冲进行空间滤波方法设备

[发明专利]基于空芯光子晶体纤维的宽带辐射产生器-CN202180082919.8在审
发明人：乔安科·拉文斯卑尔根;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;W·R·彭格斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02F1/365 文献下载
摘要：一种宽带光源装置被配置为用于在接收到泵浦辐射时产生宽带输出辐射，所述宽带光源装置包括：空芯光子晶体纤维(HC‑PCF)，所述空芯光子晶体纤维包括至少一个结构变化部分，所述至少一个结构变化部分具有所述空芯光子晶体纤维的相对于所述空芯光子晶体纤维的一个或更多个主部分变化的至少一个结构参数，其中，所述至少一个结构变化部分至少包括第一结构变化部分，所述第一结构变化部分位于沿着所述空芯光子晶体纤维的长度的一位置的下游，在所述位置处，所述泵浦辐射将通过调制不稳定性占主导的非线性光学过程而在光谱上被扩展，并且其中，所述至少一个结构变化部分被配置且定位为使得所述宽带输出辐射包括在紫外区中的波长。
基于光子晶体纤维宽带辐射产生器

[发明专利]辐射源布置和量测装置-CN202180053627.1在审
发明人：阿里·阿尔萨卡;A·帕特尔;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;A·阿布多尔万德;鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森;W·F·科安达尔姆 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：描述了一种辐射源布置，包括：辐射源，辐射源可操作以产生包括源能量脉冲的源辐射；以及至少一个非线性能量滤波器，非线性能量滤波器可操作以对源辐射进行滤波，以获得包括经滤波的能量脉冲的经滤波的辐射。至少一个非线性能量滤波器可操作以，通过使能量水平对应于源能量脉冲的能量分布的两个端部中的一个的源能量脉冲的能量水平比能量水平对应于能量分布的峰值的源能量脉冲的能量水平降低更大量，来减小经滤波的辐射的能量变化。
辐射源布置装置

[发明专利]用于产生宽带辐射的基于空芯光子晶体光纤的光学部件-CN202080018536.X有效
发明人： 帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;彼得·马克西米兰·戈茨 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G02F1/365 文献下载
摘要：公开了一种光学部件，所述光学部件被配置为在宽带辐射源装置中用作光学频率转换器。所述光学部件包括气室以及被至少部分地封闭在所述气室内的空芯光子晶体光纤。所述气室的局部腔室容积包括36cm3/所述空芯光子晶体光纤的长度cm的最大值，在局部腔室容积中，所述空芯光子晶体光纤被封闭在所述气室内。
用于产生宽带辐射基于光子晶体光纤光学部件

[发明专利]超连续谱辐射源及相关量测装置-CN202180035751.5在审
发明人：塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;彼得·马克西米兰·戈茨;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：描述了一种超连续谱辐射源，包括：调制解调器，可操作为调制包括辐射脉冲的串的泵浦激光辐射，以提供经调制的泵浦激光辐射，调制使得选择性地提供脉冲的猝发串；以及中空芯部光子晶体光纤，可操作为接收经调制的泵浦激光辐射，并且激励包含在中空芯部光子晶体光纤内的工作介质，从而产生超连续谱辐射。
连续谱辐射源相关装置

[发明专利]用于改善对宽带辐射生成的控制的方法、组件、和设备-CN202080092908.3在审
发明人： H·萨贝特;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;W·R·彭格斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G02F1/383 文献下载
摘要：一种用于将输入辐射转换成宽带辐射的中空芯体光子晶体光纤(HC‑PCF)组件，所述中空芯体光纤组件包括：微结构化光纤，所述微结构化光纤具有中空芯体，所述中空芯体沿所述光纤的长度从被配置成接收输入辐射的输入端延伸至被配置成输出宽带辐射的输出端，其中所述光纤的所述中空芯体被配置成包含介质；和密度控制系统，所述密度控制系统被配置成控制所述介质的沿所述光纤的所述长度的至少一部分的密度分布，以建立沿所述光纤的所述长度的至少一部分的期望的零色散波长分布。
用于改善宽带辐射生成控制方法组件设备

[发明专利]基于光子晶体光纤的宽带光源的模式控制-CN202080061680.1在审
发明人：彼得·马克西米兰·戈茨;塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;罗纳德·弗兰西斯克斯·赫尔曼·休格斯;J·A·波尔;E·J·C·博斯;A·J·A·布朗兹;V·普洛斯因特索夫;保罗·威廉·斯科尔特斯-范埃克;鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森;M·U·阿杰盖恩卡尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：公开了一种用于控制包括光子晶体光纤(PCF)的宽带光源的输出模式的模式控制系统和方法。模式控制系统包括：至少一个检测单元，被配置为测量从宽带光源发射的辐射的一个或多个参数以生成测量数据；和处理单元，被配置为通过所述测量数据评估从宽带光源发射的所述辐射的模式纯度。基于所述评估，所述模式控制系统被配置为生成用于优化所述宽带光源的一个或多个泵浦耦合条件的控制信号。所述泵浦耦合条件与泵浦激光束相对于所述光子晶体光纤的光纤芯部的所述耦合相关。
基于光子晶体光纤宽带光源模式控制

[发明专利]用于光源的端部琢面保护和用于量测应用的方法-CN202080060742.7在审
发明人： 帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;彼得·马克西米兰·戈茨;A·尼基帕罗夫;A·阿布多尔万德;N·E·乌尊巴加卡瓦 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02F1/3501 文献下载
摘要：公开一种用于提供光源的系统和方法。在一个布置中，所述光源包括：气室，所述气室具有窗口；光纤，所述光纤是中空的且具有轴向方向，所述光纤的端部被封闭于所述气室内且经由光学路径光学地耦合至所述窗口；以及表面，所述表面围绕所述光纤的所述端部设置，并且在所述轴向方向上朝向所述窗口延伸通过所述光纤的所述端部，以便限制以下中的一个或更多个：所述光学路径与所述气室的其余部分之间的气体的交换；等离子体朝向所述光纤或至所述光纤中的进入；以及朝向蚀刻敏感表面的自由基通量。
用于光源端部琢面保护应用方法

[发明专利]用于量测应用中的光源和方法-CN202080047978.7在审
发明人： H·萨贝特;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G02F1/0147 文献下载
摘要：公开了一种用于提供光源的系统和方法。在一种布置中，所述光源包括：中空且具有轴向方向的光纤；填充所述光纤的中空部的气体；和设置在沿所述光纤的所述轴向方向的相应位置处的多个温度设定装置，其中所述温度设定装置被配置成控制所述气体的温度，以局部地控制所述气体的密度。
用于应用中的光源方法

[发明专利]光源及控制方法；用于测量应用的装置和方法-CN202080043808.1在审
发明人： M·P·瑞因德斯;H·萨贝特;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了光源和控制光源的方法，以及在测量应用中使用的装置和方法，特别是例如在光刻设备中的量测应用中。该方法和装置提供了用于检测和/或校正光源的变化，特别是随机变化的机制。反馈或前馈方法可用于校正光源和/或量测输出。一种控制发射光谱随时间变化的光的光源的光谱输出的示例性方法包括以下步骤：确定从光源发射的光的光谱的至少一个特性；并且使用所确定的特性来控制光谱输出。
光源控制方法用于测量应用装置

[发明专利]安装式中空芯部光纤布置-CN202080044895.2在审
发明人：塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔;彼得·马克西米兰·戈茨 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：一种安装式中空芯部光纤布置包括：中空芯部光纤，具有微结构；以及包括多个安装触点的安装布置，安装触点被配置为向中空芯部光纤的外层施加力。中空芯部光纤的一部分位于安装布置的容置区域中。多个安装触点被定位在容置区域周围。安装触点被分布在容置区域周围，安装触点的分布对应于中空芯部光纤的微结构的特征的分布。安装式中空芯部光纤能够被用于辐射源设备，以提供宽带辐射。
安装中空光纤布置

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