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[发明专利]一种小型化全金属结构的微同轴微波滤波器芯片-CN202210996964.0有效
发明人：谷胜明;王梦轩;赵广宏;汪郁东;陈春明;史永康;尹玉刚;刘昊 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01P1/212 文献下载
摘要：本发明提供一种小型化全金属结构的微同轴微波滤波器芯片，包括：滤波器外导体、微同轴内导体和射频端口。本发明使用微同轴工艺分层制备，通过在硅晶圆衬底上多次反复运用旋涂光刻胶、匀胶、烘干、曝光、显影、电铸、研磨、抛光等微加工工艺，在完成各层制备后利用研磨工艺去除硅晶圆衬底，最后去除光刻胶从而完成滤波器的加工。本发明基于微同轴制备工艺，通过采用准封闭的微同轴多腔耦合谐振结构，结合内外导体多点连通设计，从而实现滤波器的小型化、轻量化、高制备精度、电磁内部封闭、静电屏蔽、高带外抑制的同时，避免采用微同轴内导体介质支撑结构，实现了滤波器的全金属化、低损耗、高功率容量和强环境适应能力。
一种小型化全金属结构同轴微波滤波器芯片

[实用新型]防喷筒-CN202320429267.7有效
发明人：马向南;李岳栋;尹玉刚;陶自强;梁欣 -专利权人：南阳二机石油装备股份有限公司;南阳市南石力天石油设备有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： E21B33/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了防喷筒，包括两个焊接成骨架的本体，两个所述本体对接形成方形的防喷筒，所述本体顶部转动连接有活动盖板，所述本体内安装有对扣器，所述对扣器呈两半式，所述对扣器上部分由两个半锥筒对接而成，所述对扣器下部分由两个半圆筒对接而成，两个所述半锥筒和两个所述半圆筒分别焊接成一体。有益效果在于：在起管柱时，通过该防喷筒能够抱住上部钻杆，将管柱内的钻井液或油液释放进防喷筒内，实现防喷溅功能并完成收集；下钻时，利用对扣器起到快速对准螺纹的作用，提高上扣的作业效率；通过设置快拆机构便于将对扣器进行拆装，方便更换不同规格的对扣器以适应不同规格的管柱。
防喷筒

[实用新型]一种偏心夹具-CN202223596170.X有效
发明人：渠世行;阮叁芽;韩长川;尚蔚;尹玉刚;黄有智;邵帅;张鹏;魏皓 -专利权人：大连光洋自动化液压系统有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种偏心夹具，包括上安装板、下安装板、卡盘结构、锁紧结构以及上安装板驱动结构；下安装板上安装有上安装板和上安装板驱动结构，上安装板驱动结构能够驱动上安装板在所述下安装板上沿设定的方向运动；上安装板上安装有卡盘结构；锁紧结构安装在上安装板和下安装板之间用于对上安装板和下安装板进行锁紧和松开。本实用新型公开的偏心夹具能够方便的实现对其所夹持的工件进行偏心运动，从而实现偏心加工，该偏心夹具结构具有结构简单，控制方便等优点。
一种偏心夹具

[发明专利]一种偏心夹具-CN202211741358.0在审
发明人：渠世行;阮叁芽;韩长川;尚蔚;尹玉刚;黄有智;邵帅;张鹏;魏皓 -专利权人：大连光洋自动化液压系统有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种偏心夹具，包括上安装板、下安装板、卡盘结构、锁紧结构以及上安装板驱动结构；下安装板上安装有上安装板和上安装板驱动结构，上安装板驱动结构能够驱动上安装板在所述下安装板上沿设定的方向运动；上安装板上安装有卡盘结构；锁紧结构安装在上安装板和下安装板之间用于对上安装板和下安装板进行锁紧和松开。本发明公开的偏心夹具能够方便的实现对其所夹持的工件进行偏心运动，从而实现偏心加工，该偏心夹具结构具有结构简单，控制方便等优点。
一种偏心夹具

[实用新型]一种无引线压力传感器芯体结构-CN202221916885.6有效
发明人：杨健;许姣;郝文昌;赵晨曦;张洪涛;尹玉刚;彭泳卿 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种无引线压力传感器芯体结构，包括压阻结构层、盖板层、金属插针和设置在盖板层中的导电浆料，盖板层包括通孔，通孔包括从上到下依次设置的上部通孔、中部通孔和下部通孔，上部通孔的横截面积大于中部通孔的横截面积，金属插针设置在下部通孔中，金属插针的上表面与中部通孔的底面相连。本实用新型将盖板上的通孔设计为工字型结构，导电浆料烧结固化后可以有效的将金属插针、电极焊盘互连。同时由于工字型通孔结构的限制，可以有效避免金属插针和固化后的导电浆料从通孔中脱落。该种结构设计无需在通孔侧壁沉积金属薄膜，减少了敏感芯片制备过程中的薄膜沉积工艺，降低了制造成本，有效提高了无引线压力传感器的可靠性。
一种引线压力传感器结构

[发明专利]一种表面镀金属的透明硬质晶圆激光加工保护膜-CN202110624306.4有效
发明人：孟骁然;李文博;吕竞;张姗;郝文昌;尹玉刚;彭泳卿 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23K26/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种表面镀金属的透明硬质晶圆激光加工保护膜，在双面沉积金属薄膜的压电晶圆表面各涂覆一层保护膜，保护膜由光刻胶、丙酮、醚及醋光刻胶稀释剂混合而成；将保护膜混合物种的组份合计定为质量比时，光刻胶：30‑50质量比，丙酮：10‑30质量比，醚及醋光刻胶稀释剂：20‑40质量比；保护膜厚度为1‑20μm，保护膜粗糙度控制在2μm以下。本发明利用表面保护膜作为热牺牲层，可以有效解决激光加工表面带金属层的透明材料所产生的热烧蚀层，提高切割加工质量及生产效率。
一种表面镀金透明硬质激光加工保护膜

[发明专利]一种高温绝缘真空腔体及其制备方法-CN202210926159.0在审
发明人：许姣;杨健;陈昱璠;郝文昌;张洪涛;张晓永;刘红;尹玉刚;彭泳卿 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高温绝缘真空腔体及其制备方法，包括第一晶片、腔体、第二晶片、绝缘层和高温金属吸气剂薄膜。本发明采用绝缘好、耐温高且与晶片热膨胀系数一致的绝缘层作为键合中间层，提高了键合片的高温绝缘性能，避免了绝缘层与晶片材质在高温下由于热膨失配引起键合失效的问题；高温金属吸气剂薄膜附着在腔体内的绝缘层上，不影响两片晶片的键合、绝缘性能，解决了常规块状吸气剂占空间且易产生微小颗粒污染的问题；高温退火工艺一方面增强晶片键合强度，另一方面激活吸气剂，吸收腔体内的残气并维持真空度，使得键合腔体的真空度得到进一步提升。本发明腔体高温绝缘性好且真空度高，满足量程低于100kPa的电容式高温压力传感器的制备需求。
一种高温绝缘空腔及其制备方法

[发明专利]一种无引线压力传感器芯体结构及其制备方法-CN202210875347.5在审
发明人：杨健;许姣;郝文昌;赵晨曦;张洪涛;尹玉刚;彭泳卿 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种无引线压力传感器芯体结构及其制备方法，包括压阻结构层、盖板层和电极焊盘‑导电浆料‑金属插针组件；电极焊盘‑导电浆料‑金属插针组件包括敏感芯片电极焊盘、导电浆料体和金属插针，导电浆料体包括防止金属插针脱落的结构。本发明盖板上的通孔设计为工字型结构，导电浆料烧结固化后可以有效的将金属插针、电极焊盘互连。同时由于工字型通孔结构的限制，可以有效避免金属插针和固化后的导电浆料从通孔中脱落。该种结构设计无需在通孔侧壁沉积金属薄膜，减少了敏感芯片制备过程中的薄膜沉积工艺，降低了制造成本，有效提高了无引线压力传感器的可靠性。
一种引线压力传感器结构及其制备方法

[发明专利]一种双腔室结构的声表面波温度压力复合传感器-CN202210782554.6在审
发明人：郝文昌;骆伟;韩东祥;张小辉;张晓永;尹玉刚;彭泳卿 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01K7/32 文献下载
摘要：本发明提供一种双腔室结构的声表面波温度压力复合传感器，包括盖板，设置在盖板下部的基片，设置在盖板、基片之间的中间层，设置在基片上部的压力腔室、参考腔室，中间层设置在压力腔室和参考腔室的两侧。本发明通过封装设计使温度/参考谐振器处于一个腔室，压力谐振器处于另一个腔室，利用增加固支边界隔离感压膜形变的传递，降低温度/参考谐振器的压力影响，便于独立解耦，提升传感器测量精度，继承了经典三个谐振器集成的优势，所用双腔室相邻设置，既保证了三个谐振器处于几乎一致的温度场中，提供实时温度补偿；又降低了湿度、振动等外界共模干扰的影响，提升传感器稳定性。
一种双腔室结构表面波温度压力复合传感器

[发明专利]一种高精度谐振球式压力传感器-CN202011272096.9有效
发明人：王建;陈昱璠;韩东祥;李勇;李小换;曲祥军;陈杉杉;尹玉刚;金小锋 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度谐振球式压力传感器，包括谐振球(1)和背腔结构(2)，所述谐振球(1)设置于所述背腔结构(2)上表面，所述谐振球(1)功能区嵌入所述背腔结构(2)腔体内，所述谐振球(1)与所述背腔结构(2)在所述背腔结构(2)位置设置有空腔，所述空腔内的所述谐振球(1)和所述背腔结构(2)相对应面上分别设置有电极。谐振球表面电极与背腔结构表面电极成对布置于结构表面上，形成谐振球的驱动电极和检测电极。驱动电极用于将谐振球驱动至相应的振动模态(频率)，检测电极用检测不同压力作用下谐振球频率的变化，进而实现压力的测量。
一种高精度谐振压力传感器

[实用新型]一种自动化型零点定位系统以及工件母板-CN202123251852.2有效
发明人： 尹玉刚;阮叁芽;渠世行;张健;王达;罗呈龙;尚蔚;黄有智 -专利权人：大连光洋自动化液压系统有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动化型零点定位系统以及工件母板，包括底座、上盖、活塞、碟簧、拉钉锁紧机构以及吹气阀杆；底座中设有活塞安装腔活塞置于活塞安装腔内，上盖固定在底座上且上盖与活塞之间形成容纳碟簧的碟簧容纳腔；上盖和活塞中设有拉钉锁紧机构置；上盖上还设有定位凸起和吹气阀杆，定位凸起高于上盖的上端面，吹气阀杆置于上盖的吹气阀杆安装腔内并能够上下移动，吹气阀杆上设有气密性检测通孔和吹扫通孔；吹气阀杆安装腔与第一气体通路连通。本实用新型公开了的自动化型零点定位系统具有结构简单，并且能够实现对定位面的自动吹扫，实现了子板更换的自动化。
一种自动化零点定位系统以及工件母板

[实用新型]一种燃气涡轮转子叶尖磨削装夹工件的夹具-CN202123256213.5有效
发明人： 尹玉刚;阮叁芽;王达;魏皓;韩长川;李洋;罗呈龙;尚蔚;张鹏 -专利权人：大连光洋自动化液压系统有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B24B19/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种燃气涡轮转子叶尖磨削装夹工件的夹具，包括：夹具本体，工件通过两侧的夹具本体夹持，夹具本体上设有第一气检孔、第二气检孔、第一压力指示器、第二压力指示器和第一螺纹泵。本实用新型公开的一种燃气涡轮转子叶尖磨削装夹工件的夹具，工件两侧夹具使用静压膨胀方式装夹工件和独立的供油系统反馈，待压力值发生变化时可通过压力指示器实时反馈，静压膨胀套和调整垫的调节，使夹具与机床达到合适的配合。其中，夹具一旦调整好后，每次装夹时无需额外调整即可进行自动定心，减少了每次夹装夹具进行调整的时间，减少了加工辅助成本，从而提高了加工效率。
一种燃气涡轮转子叶尖磨削工件夹具

[发明专利]一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法-CN202111497956.3在审
发明人：高旗;郝玉涛;杨挺;杨贵玉;路文一;尹玉刚;陈青松;彭泳卿 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法，包括上盖板、下盖板和中间层敏感结构，上盖板包括硅‑玻璃，下盖板包括硅‑玻璃，该方法包括以下步骤：在上下盖板硅晶片上光刻腐蚀出多个单元图形，与玻璃片进行键合，通过回流、研磨、抛光等工序实现GIS结构；结构硅晶片双面光刻湿法腐蚀出结构图形；将结构硅晶片中的结构图形、上下盖板硅晶片中与结构硅中结构图形对应的单元图形在设定气压、设定温度的键合设备内进行键合。本发明继承经典硅‑玻璃‑硅‑玻璃‑硅五层结构低寄生电容优势，同时实现了表面电极制备，使用基于与硅热膨胀系数更为接近的SD‑2玻璃和Ti金属电极，制造出寄生电容小、低应力的敏感芯片，同时实现晶圆级批量化性能测试。
一种基于 gis 盖板三明治加速度计制备方法

[发明专利]一种具有行程补偿以及精度补偿的抓手机构-CN202210042296.8在审
发明人：张鹏;阮叁芽;渠世行;魏皓;尹玉刚;徐成章;李宇;王达;黄有智 -专利权人：大连光洋自动化液压系统有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种具有行程补偿以及精度补偿的抓手机构，安装在轻载桁架机器人的z轴模组上，包括抓手组件，所述z轴模组和抓手组件之间设置有旋转组件和Y轴行程补偿组件，相邻组件之间固定连接。本发明公开的一种具有行程补偿以及精度补偿的抓手机构以实现Y轴行程的补偿，增大抓手机构的抓取范围。
一种具有行程补偿以及精度抓手机构

[发明专利]一种燃气涡轮转子叶尖磨削装夹工件的夹具-CN202111585010.2在审
发明人： 尹玉刚;阮叁芽;王达;魏皓;韩长川;李洋;罗呈龙;尚蔚;张鹏 -专利权人：大连光洋自动化液压系统有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B24B19/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种燃气涡轮转子叶尖磨削装夹工件的夹具，包括：夹具本体，工件通过两侧的夹具本体夹持，夹具本体上设有第一气检孔、第二气检孔、第一压力指示器、第二压力指示器和第一螺纹泵。本发明公开的一种燃气涡轮转子叶尖磨削装夹工件的夹具，工件两侧夹具使用静压膨胀方式装夹工件和独立的供油系统反馈，待压力值发生变化时可通过压力指示器实时反馈，静压膨胀套和调整垫的调节，使夹具与机床达到合适的配合。其中，夹具一旦调整好后，每次装夹时无需额外调整即可进行自动定心，减少了每次夹装夹具进行调整的时间，减少了加工辅助成本，从而提高了加工效率。
一种燃气涡轮转子叶尖磨削工件夹具

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