专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种蒸镀方法及蒸镀装置-CN202310075152.7在审
  • 裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 - 上海升翕光电科技有限公司
  • 2023-01-18 - 2023-06-23 - C23C14/24
  • 本发明提供了一种蒸镀方法及蒸镀装置,涉及真空蒸发镀膜技术领域。蒸镀方法包括以下步骤:S1:将多个蒸发源排成一列,并分别调节每个蒸发源距基板的距离;以使每个蒸发源内的镀膜材料在基板上形成对应的镀膜时,相邻的两个镀膜存在重叠区域;S2:加热多个蒸发源,并根据每个蒸发源至基板的距离,分别调节每个蒸发源内镀膜材料的蒸镀速率;进而控制重叠区域内的膜层厚度;S3:当基板上的膜层厚度达到目标值时,停止蒸镀。本申请的蒸镀方法,可以有效解决多个蒸发源同时对同一块基板蒸镀时,镀膜厚度不均的问题。
  • 一种方法装置
  • [发明专利]一种共蒸方法及共蒸设备-CN202310115529.7在审
  • 裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 - 上海升翕光电科技有限公司
  • 2023-02-14 - 2023-05-30 - C23C14/24
  • 本发明提供了一种共蒸方法及共蒸设备,涉及真空蒸发镀膜技术领域。共蒸方法包括以下步骤:S1:分别向至少两列蒸发组件内注入不同的蒸镀材料;S2:分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与X方向的夹角,以使每个蒸发源均朝向基板中心,并使每个蒸发源在基板上形成对应的镀膜时,相邻的两个镀膜存在重叠部分;S3:分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与Y方向的夹角,以使每列蒸发组件均朝向基板的中心;S4:加热每列蒸发组件内的多个蒸发源,以使至少两种蒸镀材料在基板上凝聚成参杂层,当参杂层的厚度达到目标值时,停止加热并关闭挡板。本申请的共蒸方法可以有效提高蒸镀材料的使用效率,并且提高了参杂层的膜层厚度的均匀性。
  • 一种方法设备

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