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[发明专利]节能型晶圆生产用去胶清洗设备-CN202211225042.6有效
发明人：全宰弘;陈欣鑫;尹培云 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明涉及光刻胶清洗技术领域，具体为节能型晶圆生产用去胶清洗设备，对晶圆上的光刻胶进行清洗去除，清洗设备包括等离子清洗结构、湿法清洗结构、溶剂残留去除结构以及干燥处理结构，等离子清洗为前道清洗，湿法清洗结构为后道清洗，然后使用去离子水冲洗晶圆，烘干晶圆上的水分。等离子清洗结构包括等离子器、输送通道、处理室，等离子器通过输送通道与处理室连接，等离子器发射氧源往处理室内，晶圆放置到处理室壁面上，晶圆平面与输送通道输送的等离子出射方向平行。湿法清洗结构包括水洗仓、绕流柱、溶剂，水洗仓内设置流道，流道内过流溶剂，流道内还横置绕流柱，晶圆放置到流道内，晶圆位于绕流柱的沿溶剂流动方向的后方。
节能型生产用去胶清洗设备

[实用新型]一种便于清理的半导体刻蚀工作台-CN202222787233.3有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于清理的半导体刻蚀工作台，包括架体，所述架体的一侧开设有避位槽，所述架体的上表面固定连接有两个导向架，且导向架的一端位于避位槽内，两个所述导向架内均活动连接有滑块，所述滑块的一侧活动连接有齿盘，齿盘的一侧固定连接有圆环，所述滑块的一侧活动连接有辅助齿轮，且辅助齿轮与齿盘相啮合。本实用新型不仅能够不需要人工进行清理，减少了工人的劳动量，节省了时间，提高了半导体刻蚀工作台的清理的便捷性，而且能够避免废屑散落一地，提高了对半导体刻蚀工作台的清理效率，还能够避免半导体刻蚀工作台在使用时出现晃动，提高了半导体刻蚀工作台使用的稳定性。
一种便于清理半导体刻蚀工作台

[发明专利]一种Fab厂用具有智能化自动抓取功能的加工设备-CN202211202137.6有效
发明人：全宰弘;陈欣鑫;尹培云 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种Fab厂用具有智能化自动抓取功能的加工设备，包括机架和保护罩，所述机架的上端转动设置有保护罩，所述机架的侧面底部设置有可拆卸的挡板，所述机架的内部等距设置有3个横向移动机构，所述横向移动机构的内部设置有气动式抓取机构；当装置在进行使用时，输送结构可以带动晶圆进行移动，气动式抓取机构可以对晶圆进行抓取，然后横向移动机构带动气动式抓取机构进行移动，在移动晶圆的同时，另一侧的循环式打磨机构和限位打磨机构会对晶圆进行打磨，从而增加对晶圆的打磨效率，在打磨时会利用离心力将产生的碎渣移动至边缘，然后通过晶圆与槽口之间的间隙使得杂质向下流动，再通过杂质收集机构来对杂质进行收集。
一种 fab 用具智能化自动抓取功能加工设备

[实用新型]一种晶圆片高效去胶清洗机构-CN202222787232.9有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆片高效去胶清洗机构，包括主体环，所述主体环的顶部转动连接有环形盖，环形盖的上表面固定连接有支撑架，支撑架的顶部固定连接有泵体，泵体的出液端插接有单头密封管，单头密封管的底部插接有多个喷头，所述主体环的一侧固定插接有固定筒，固定筒内固定连接有第一电动推杆，第一电动推杆的一端固定连接有条形擦，所述主体环的圆周内壁固定连接有多个支撑杆，多个支撑杆之间的另一端固定连接有密封罩，密封罩的底部内壁固定连接有电机，电机的输出端穿过密封罩的顶部键连接有支撑座。本实用新型可以在晶圆片除胶的过程中调整晶圆片的角度，以便更好的去除晶圆片上的胶。
一种晶圆片高效清洗机构

[实用新型]一种晶圆件加工的固定机构-CN202222585309.4有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆件加工的固定机构，包括工作台，所述工作台顶部的两侧均固定连接有侧板，侧板的一侧滑动插接有转动柱，转动柱的外壁设有滑孔，滑孔内滑动连接有滑动盘，滑动盘的一侧固定连接有多个卡柱，卡柱与侧板卡接，所述转动柱的一端固定连接有安装座，安装座的另一端固定连接有弧形卡板，弧形卡板的两端均转动连接有卡座，所述侧板的一侧固定连接有固定架，固定架的一侧螺纹插接有螺纹杆，螺纹杆的一端与转动柱转动插接，所述螺纹杆的另一端固定连接有转动把手。本实用新型在对晶圆件加工完一面后，拉动滑动盘使得卡柱与侧板分离，即可将晶圆件进行翻转，且不需重新进行固定，省时省力。
一种晶圆件加工固定机构

[实用新型]一种晶圆片打盲孔装置-CN202222832546.6有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆片打盲孔装置，涉及晶圆片加工技术领域。该晶圆片打盲孔装置，包括支撑框和机座，所述支撑框外侧固定连接有转动盘，所述机座底部安装有升降装置，所述升降装置底部安装有钻孔设备，其特征在于：所述支撑框顶部设有转动盘，该晶圆片打盲孔装置，握把带动固定连接的转向齿轮盘转动，转向齿轮盘转动带动啮合连接的多个转向齿轮转动，当转向齿轮转动时，带动固定连接的螺纹筒转动，使螺纹筒内部的螺纹杆推动弧形夹持板，由于弧形夹持板与固定框内壁固定连接有伸缩杆，使伸缩杆对弧形夹持板进行限位，从而使多个螺纹杆推动多个弧形夹持板对晶圆片进行夹持，操作便捷，并且可以对不同大小的晶圆片固定。
一种晶圆片打盲孔装置

[实用新型]一种半导体分立器件键合机-CN202222832547.0有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体分立器件键合机，包括安装架，所述安装架的两侧内壁活动连接有第一辊轮和第二辊轮，第一辊轮和第二辊轮之间绕接有传送带，所述第一辊轮的一端穿过安装架并固定连接有第一缺齿盘，第一缺齿盘的圆周外侧设有多个弧型块和键齿，且弧型块和键齿均匀排列，所述安装架的一侧固定连接有支撑架，支撑架的顶部固定连接有电机。本实用新型不仅能够通过调节板和导向板的配合使用，使半导体分立器件的输送位置得到调节，提高了装置的调节效果，而且能够通过滚轮和弹性板的配合使用，使弹性板得到拨动，提高了装置的防卡死效果，还能够通过滚珠减少导向板与半导体分立器件之间的摩擦力，提高了装置的导向效果。
一种半导体分立器件键合机

[实用新型]一种晶圆片切割夹持装置-CN202223189617.1有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆片切割夹持装置，涉及晶圆片加工领域。该晶圆片切割夹持装置，包括夹持台，所述夹持台顶部两侧分别设置有支撑夹板和移动夹板，所述支撑夹板一侧设置有两个安装杆和安装竖板，所述支撑夹板内部两侧均固定连接有橡胶垫。该晶圆片切割夹持装置，橡胶垫与晶圆片发生摩擦，对晶圆片的位置进行固定。随后开启气泵工作通过导气管为气压伸缩杆供气，使气压伸缩杆充气推动移动夹板移动，移动的移动夹板套设到晶圆片外侧，通过移动夹板和支撑夹板对晶圆片进行夹持固定，即可完成对晶圆片的夹持固定，减少工作人员在夹持台顶部夹持固定晶圆片需要的操作步骤，提高晶圆片固定的速度。
一种晶圆片切割夹持装置

[实用新型]一种晶圆贴片加工夹具-CN202223547898.3有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆贴片加工夹具，涉及晶圆加工技术领域。该晶圆贴片加工夹具，包括底座，所述底座顶部设置有顶升板，所述顶升板顶部固定连接有支撑板，所述底座内部转动连接有套筒，所述套筒内部滑动连接有螺纹杆，所述底座顶部固定连接有螺纹套，所述螺纹杆贯穿螺纹套并与螺纹套螺纹连接，所述螺纹杆顶端转动连接有连通管，所述连通管顶部固定连接有多个吸附管，多个所述吸附管均贯穿顶升板并与顶升板固定连接，多个所述吸附管顶端均固定连接有吸盘，多个所述吸盘均固定连接于支撑板内部。该晶圆贴片加工夹具，滑杆带动压板对晶圆片外圈进行限位，提高固定效果，防止晶圆片脱离，方便进行贴片。
一种晶圆贴片加工夹具

[实用新型]一种晶圆片装卸装置-CN202223508060.3有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆片装卸装置，涉及晶圆片装卸技术领域。该晶圆片装卸装置包括支撑座，所述支撑座顶部设置有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆外侧螺纹连接有两个第一固定块，所述第一固定块一侧固定连接有防护垫，所述第一固定块一侧固定连接有连接块，所述第一固定块和连接块一侧均固定连接有两个齿条。该晶圆片装卸装置，第二螺纹杆边转动边向一侧运动带动第二固定块向一侧运动，以此可以把晶圆片本体的左右进行调节，以此可以使晶圆片本体的位置进行完全的居中设置，此结构有益于快速调节晶圆片本体的位置，以此可以使晶圆片本体的位置居中设置，使晶圆片本体的位置可以准确地进行卸载，方便对晶圆片本体进行加工。
一种晶圆片装卸装置

[实用新型]一种晶圆片加工载台-CN202223189019.4有效
发明人：全宰弘;尹培云;陈欣鑫 -专利权人：亚新半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆片加工载台，涉及晶圆片加工技术领域。该晶圆片加工载台包括加工载台本体，所述加工载台本体顶部设置有两个第一滑块，所述第一滑块内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一侧转动连接有第二滑块，所述第二滑块内部转动连接有转动杆。该晶圆片加工载台，滑杆向一侧运动带动卡块向一侧运动，带动弹簧伸长，此时第一固定块和第二固定块失去限位，此时可以转动第一固定块和第二固定块，以此来调节第一固定块和第二固定块的角度，进而更加稳定的对晶圆片本体进行固定，此结构有益于对不同大小尺寸的晶圆片本体进行固定，并且对晶圆片本体固定得更加稳定，方便对晶圆片本体的加工。
一种晶圆片加工

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