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[发明专利]基片处理系统和基片处理方法-CN202310143848.9在审
发明人：平瀬圭太;齐藤幸良;寺本聪宽;田中幸二;武井奖太;御所真高;北村和晃;池田真一;栗崎俊介;木村裕二 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能够抑制在基片形成的图案的倒塌的基片处理系统和基片处理方法。基片处理系统包括：送入送出部，其能够送入送出收容有多个基片的盒；批次处理部，其将包含多个上述基片的基片组以使上述基片各自直立的状态一并进行处理；单片处理部，其将上述基片组的上述基片以水平的状态逐一地进行处理；和接口部，其从上述批次处理部向上述单片处理部交接上述基片，上述接口部具有：将上述基片以使其与纯水接触的状态保持为水平的待机部；和从上述批次处理部向上述待机部交接上述基片的输送机构。
处理系统方法

[发明专利]搬送装置、搬送方法和存储介质-CN201880011695.X有效
发明人：牧准之辅;森弘明;寺本聪宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种在通过利用马达的旋转驱动力使支承着被搬送体的支承部移动来搬送该被搬送体时能够可靠地检测搬送状态的异常的技术。搬送装置(F3)利用支承部(21)来支承并搬送被搬送体(W)，搬送装置(F3)构成为具备：驱动机构(3)，其包括马达(35)和直动体(30)，所述支承部(21)设置于该直动体(30)，并且该直动体(30)通过该马达(31)的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部(6)，其在所述支承部(21)移动的期间获取关于所述马达(31)的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。
装置方法存储介质

[发明专利]基片处理系统、液量测量方法和计算机可读存储介质-CN202111325339.5在审
发明人：桾本裕一朗;上山昇太;寺本聪宽;西山雄太;畠山真一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供能够容易且简单地测量基片的处理中使用的处理液的释放量的基片处理系统、液量测量方法和计算机可读存储介质。基片处理系统包括：相对于载置台的载置部可拆装的测量单元；用于处理液的测量的测量治具；包含供给部的液处理单元，该供给部构成为能够对测量治具供给处理液；输送机构，其构成为能够在测量单元与液处理单元之间输送测量治具；和控制部。控制部执行以下处理：将测量单元内的测量治具从测量单元输送到液处理单元的处理；从供给部向测量治具释放处理液的处理；将测量治具从液处理单元输送到测量单元的处理；和基于测量单元中的测量值计算处理液的释放量的处理。
处理系统测量方法计算机可读存储介质

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN202110274735.3在审
发明人：牧准之辅;寺本聪宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供能够维持生产率并且检查传送带的状态的基片处理装置和基片处理方法。基片处理装置包括：对基片实施规定处理的处理单元；输送单元，其具有保持基片的保持部及包括传送带并且通过使该传送带移动来使保持部在第1方向上移位的驱动部；能够获取与因保持部的移位而产生的传送带的振动相应的振动信号的测量单元；和控制单元。控制单元包括：实施工艺处理的处理控制部，工艺处理包括用处理单元对包含基片的多个基片依次实施规定处理的第1处理及用输送单元进行对处理单元的多个基片各自的送入送出的第2处理；从测量单元获取振动信号的信号获取部；和基于振动信号来判断传送带的状态的状态判断部。信号获取部在执行工艺处理时获取振动信号。
处理装置方法

[实用新型]基板处理装置-CN202022466852.3有效
发明人： 寺本聪宽;辻桥辰彦;井手康盛 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及基板处理装置。在使收纳了基板的基板处理容器暂时待机的保管部保管比以往更多的基板收纳容器。用于处理基板的基板处理装置具有：基板收纳容器载置部，其在基板处理装置载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳要处理的基板；以及保管区域，其配置为靠近基板收纳容器载置部，用于保管基板收纳容器，保管区域使在水平方向上载置并保管多个基板收纳容器的保管部具有上下多层，位于最上部的保管部能够在其与顶部行驶车之间交接基板收纳容器，顶部行驶车在基板处理装置的上方移动，处于位于最上部的保管部的下侧的其他保管部以与载置并保管在位于最上部的保管部的基板收纳容器不同的朝向载置并保管基板收纳容器。
处理装置

[发明专利]基板处理装置和基板收纳容器保管方法-CN202011195798.1在审
发明人： 寺本聪宽;辻桥辰彦;井手康盛 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置和基板收纳容器保管方法。在使收纳了基板的基板处理容器暂时待机的保管部保管比以往更多的基板收纳容器。用于处理基板的基板处理装置具有：基板收纳容器载置部，其在基板处理装置载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳要处理的基板；以及保管区域，其配置为靠近基板收纳容器载置部，用于保管基板收纳容器，保管区域使在水平方向上载置并保管多个基板收纳容器的保管部具有上下多层，位于最上部的保管部能够在其与顶部行驶车之间交接基板收纳容器，顶部行驶车在基板处理装置的上方移动，处于位于最上部的保管部的下侧的其他保管部以与载置并保管在位于最上部的保管部的基板收纳容器不同的朝向载置并保管基板收纳容器。
处理装置收纳容器保管方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201910989235.0在审
发明人： 寺本聪宽;榎木田卓;土山正志;佐佐木庆介 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，该基板处理装置减少使收纳有基板的基板处理容器暂时待机的保管部所占的地面专有面积。对基板进行处理的基板处理装置具有：保管部，其设置于所述基板处理装置的最上部，载置用于收纳基板的基板收纳容器；搬入搬出部，其在所述基板处理装置中载置所述基板收纳容器，并且与基板处理装置的处理部侧之间进行基板的搬入和搬出；以及移载装置，其与所述保管部之间直接或间接地进行所述基板收纳容器的交接，其中，所述移载装置能够与在所述基板处理装置的上方移动的顶面行驶车之间进行所述基板收纳容器的交接。
处理装置方法

[外观设计]搬送基板用保持垫-CN201830581243.8有效
发明人：时松彻;寺本聪宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： 09-99 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：搬送基板用保持垫。2．本外观设计产品的用途：本产品是在半导体制造装置中配置于搬送基板的搬送臂上用于保持基板的保持垫。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
外观设计基板半导体制造装置搬送臂配置图片

[外观设计]搬送基板用保持垫-CN201830581475.3有效
发明人：时松彻;寺本聪宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： 09-99 文献下载
摘要：1．外观设计产品的名称：搬送基板用保持垫。2．外观设计产品的用途：本产品是在半导体制造装置中配置于搬送基板的搬送臂上所使用的保持垫。本产品与搬送臂所搬送的基板的边缘部接触并将基板吸引保持住，防止基板偏离位置或脱落，并且通过使圆锥状部沿着基板面弯曲而使环状凸部与基板接触能够进行吸引保持，进而能够确实地保持存在翘曲的基板。3．外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4．指定的图片或照片：设计1立体图1。5．基本设计：设计1是基本设计。
基板外观设计搬送臂半导体制造装置环状凸部基板接触基板吸引偏离位置圆锥状部边缘部基板面翘曲配置吸引图片

[实用新型]基板输送装置-CN201820264171.9有效
发明人：林德太郎;原田浩树;寺本聪宽;时松徹;安倍昌洋;石丸和俊 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。
基板基板保持部基板输送装置检测错位交接本实用新型位置决定部交接位置模块接收实际位置输送基板高地移动自由

[发明专利]基板输送装置、基板输送方法以及存储介质-CN201810155440.2在审
发明人：林德太郎;原田浩树;寺本聪宽;时松徹;安倍昌洋;石丸和俊 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置、基板输送方法以及存储介质。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。
基板基板保持部基板输送装置检测存储介质基板输送错位交接位置决定部交接位置模块接收实际位置输送基板高地移动自由

[发明专利]基板交接装置和基板交接方法-CN201310093785.7有效
发明人：饭田成昭;寺本聪宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板交接装置、基板交接方法和存储介质，能够抑制基板交接装置的高度。基板交接装置，对于形成于间隔壁的开口部，使形成于基板搬送容器的前表面的基板取出口从该间隔壁的一面一侧与所述开口部相对，从所述间隔壁的另一面一侧取下所述基板搬送容器的盖体，进行基板的交接，该基板交接装置包括门，其从所述间隔壁的另一面一侧对所述开口部进行开闭；进退部，其用于使所述门在封闭所述开口部的第一位置与从该位置向前方离开的第二位置之间进退；和转动机构，其使所述门在第二位置与偏离所述开口部的前方区域的第三位置之间，绕沿着该门的进退方向的转动轴转动。通过采用这样的结构，无需使门升降，能够抑制装置的高度。
交接装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201310041341.9有效
发明人： 寺本聪宽;林德太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-01 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置，通过获得保通持部件上的基板的偏差量，在偏差量处于容许范围的状态下，将基板交接到其它的模块。当叉（3A）从一个模块（加热模块）接收到晶片（W）时，求出距离叉（3A）上的基准位置的偏差量，当该偏差量处于容许范围时，利用输送臂（A3）将晶片（W）向其它的模块（温度调节模块）输送，当检测值在容许范围外时，向暂置模块（71）输送。在暂置模块（71）中，输送臂（A3）交接该晶片（W），接着进行接收，所以能够在偏差量处于容许范围的状态下向温度调节模块交接基板，以使得上述偏差量处于容许范围。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201310048990.1有效
发明人：林德太郎;道木裕一;森弘明;寺本聪宽 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-07 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在组件或向各组件搬送基板的基板搬送机构中的任一个发生故障的情况下防止对基板继续进行不良的处理的技术。本发明的装置包括：多个接受目标组件，基板保持部从该多个接受目标组件接受基板；检测由基板保持部保持的基板的保持位置与在该基板保持部预先设定的基板的基准位置的偏移量的传感器部；存储部，其将在从各接受目标组件接受基板时检测出的偏移量，按每个接受目标组件以时间序列进行存储；和推定部，其基于在存储部存储的各接受目标组件的偏移量的时间序列数据，推定在各接受目标组件中的任一个或基板搬送机构是否发生故障。由此，能够早期地应对。
处理装置方法

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