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[发明专利]基板处理装置及方法-CN201080046511.7有效
发明人：朴昞慜;孔斗源;孙成官;赵晃新;郑成在;朴喜载 -专利权人：韩商SNU精密股份有限公司
申请日： 2010-10-04 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置及一种基板处理方法，其能够防止基板受热并有效地收集残余沉积材料。该基板处理装置包括：一腔室单元，包括一内部空间，该内部空间被划分成一引入段、一薄膜形成段及一卸出段；至少一个材料喷嘴单元，设置于该腔室单元的该薄膜形成段中，用以喷射一沉积材料至所传送的一基板；以及一冷却板单元，设置成围绕该腔室单元的该薄膜形成段并适以冷却该薄膜形成段的内部。此外，该基板处理装置更包括至少一个冷阱单元，该至少一个冷阱单元设置于该材料喷嘴单元的一下部，用以收集由该材料喷嘴单元喷射的全部沉积材料中未沉积于基板上而遗留的残余沉积材料。
处理装置方法

[发明专利]蒸镀装置、薄膜沉积装置及提供原料予其装置的方法-CN201080004944.6有效
发明人：尹亨硕;孙成官;姜敞晧;权铉九 -专利权人：韩商SNU精密股份有限公司
申请日： 2010-01-13 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀装置以及一种薄膜沉积装置及其原料填充方法。该薄膜沉积装置包括：一腔室，具有一内部空间；一基板传送构件，用以固定一基板并在该内部空间内移动该基板；以及数个蒸镀构件，用以供应一沉积原料至该基板，其中各该蒸镀构件被设置成容许其中央延伸线与移动的该基板的一表面形成一锐角。因此，可经由利用这些蒸镀构件沿相对于该基板倾斜的一方向提供蒸发的原料至该基板而形成一薄膜于该基板上，并经由选择性地控制仅一其原料已用尽的蒸镀构件而在不关闭整个装置的条件下填充该原料。
装置薄膜沉积提供原料方法

[发明专利]沉积仪器及利用该沉积仪器的沉积方法-CN200980135093.6有效
发明人：姜敞晧;权铉九;南宫晟泰;孙成官 -专利权人：韩商SNU精密股份有限公司
申请日： 2009-09-01 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：一传送腔室，连接至处理腔室；一基板承放部件，位于该处理腔室中，以承放一基板；一沉积源，面对该基板承放部件并储存一来源材料；以及一厚度测量部件，安装于该传送腔室中，以直接测量形成于该基板上的一沉积层的一实际厚度。利用采用该厚度测量部件的该沉积仪器可直接测量及监测该沉积层的实际厚度。因此，通过实时地监测该沉积层的实际厚度并修正用于控制该沉积层的实际厚度的沉积控制厚度，可准确地控制该沉积层的一厚度，进而可提高制作于该基板的一器件的可靠性及良率。
沉积仪器利用方法

[发明专利]沉积材料供应装置及包含所述沉积材料供应装置的基板处理装置-CN200980146469.3无效
发明人：尹亨硕;崔上和;孙成官;姜敞晧;权铉九;南宫晟泰;韩垧录 -专利权人：韩商SNU精密股份有限公司
申请日： 2009-11-13 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种沉积材料供应装置及一种包含所述沉积材料供应装置的基板处理装置，所述沉积材料供应装置不使所述有机材料劣化的条件下储存大量有机材料并汽化所需量的所述有机材料至基板。所述沉积材料供应装置包含：槽，其中储存空间与汽化空间互相连通，所述储存空间填充有原材料，所述原材料于所述汽化空间中汽化；运送单元，用以连续地或周期性地运送填充于所述储存空间中的所述原材料至所述汽化空间；加热单元，设置于所述槽的所述汽化空间的外侧，用以供应使所述原材料汽化的热量；以及冷却单元，设置于所述储存空间的外侧，以防止储存于所述储存空间中的所述原材料出现热劣化。
沉积材料供应装置包含处理