专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种激光退火设备自动检焦装置-CN202223372710.6有效
  • 姜仔达;袁果 - 北京华卓精科科技股份有限公司
  • 2022-12-13 - 2023-07-14 - C21D1/26
  • 本实用新型提供了一种激光退火设备自动检焦装置,包括一种激光退火设备自动检焦装置,包括激光系统、衬底、与所述激光系统配合用于放置所述衬底的片台、用于检测所述激光系统的光斑的形貌仪、测距感应器、图像采集及控制系统;所述激光系统与所述片台之间的距离可调节,所述激光系统与所述形貌仪之间的距离可调节,所述测距感应器用于测量激光系统的激光镜头到所述形貌仪、所述片台或所述衬底的距离;所述激光系统、测距感应器、形貌仪、片台均与图像采集及控制系统信号连接。基于本实用新型的技术方案,通过采集激光光路照射到形貌仪的光斑,通过在高度调整及测距感应器的反馈调节确定最小光斑位置并保存为样本光斑,实现焦距的自动检测;通过与样本光斑的对比,实现工艺的稳定性监控,并针对不同片厚产品实现自动调节焦点。
  • 一种激光退火设备自动装置
  • [实用新型]一种膜厚测量装置-CN201220112063.2有效
  • 赵冉;姜仔达;唐华 - 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
  • 2012-03-22 - 2012-10-10 - G01B11/06
  • 本实用新型公开了一种膜厚测量装置,包括:机台,分别安装在机台两对焦灯固定轴端部的上对焦灯和下对焦灯;两对焦灯相对设置,并分别位于待测膜所在产线的上下两侧;上对焦灯还连接有CCD;下对焦灯上方设置有可移动的反射拨片。本实用新型中,反射拨片为铝制金属片,由支撑架支撑和移动,以反射透过待测膜的光,进行基板下方膜厚测量;铝制反射拨片,表面光滑,反射率高,价格便宜;反射拨片位置可调,在不进行膜厚测量时,可将其调至不影响机台工作的位置,提高机台空间利用率;该装置同时还能对基板上方膜厚进行测量,实时监测产线的生产工艺流程,及时发现生产产品中的不良,提高生产效率。
  • 一种测量装置

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