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[发明专利]一种用于微制造的多层薄膜残余应力和杨氏模量在线测试结构及在线提取方法-CN202010984434.5有效
发明人： 姚冠文;周再发;黄庆安;杜雨桐;徐步青;程思敏 -专利权人：东南大学
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明属于微机电技术领域，公开了用于微制造的一种单层薄膜的杨氏模量的在线测试结构、和一种多层薄膜残余应力和杨氏模量的在线测试结构及在线提取方法。单层薄膜的杨氏模量测试结构由一组薄膜材料不同的横拉悬臂梁结构和接触电极组成。横拉悬臂梁结构包括，由单层薄膜作为上电极和驱动电极作为下电极。多层薄膜的杨氏模量和残余应力测试结构包括顶层金属电极，多层两端固支梁结构和底层电极。一组测试结构的多层两端固支梁结构，两端固支梁通过加固锚区和衬底连接。使用静电驱动测量各测试结构的吸合电压。将接触电压和吸合电压送入提取程序计算，即可得各层薄膜的残余应力和杨氏模量。本发明测试方法简单，且能满足工艺线在线测试的精度要求。
一种用于制造多层薄膜残余应力杨氏模量在线测试结构提取方法

[发明专利]一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试结构及其测试方法-CN202110639892.X有效
发明人： 姚冠文;周再发;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试结构，其测试结构为由多层薄膜组成的复合悬臂梁和复合两端固支梁；本发明还公开了一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试方法，该方法使用静电驱动测量各测试结构的吸合电压；将吸合电压送入提取程序计算，即可得各层薄膜的残余应力和杨氏模量；本发明测试方法简单，且能满足工艺线在线测试的精度要求。
一种应用悬臂梁固支梁结构多层薄膜残余应力杨氏模量测试及其方法

[发明专利]铁电-磁隧道结器件和新型存储器件的数据读取方法-CN202210908734.4在审
发明人：刘飞;王宇宸;张力公;姚冠文;刘晓彦;康晋锋 -专利权人：北京大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本发明提供铁电‑磁隧道结器件和新型存储器件的数据读取方法，其中铁电‑磁隧道结器件包括依次层叠的第一铁磁层、铁电层、第二铁磁层、绝缘层和第三铁磁层；其中，第一铁磁层和第二铁磁层采用相同的铁磁性金属材料，第一铁磁层和铁电层的界面与第二铁磁层和铁电层的界面具有对称结构；铁电‑磁隧道结器件通过外部电场控制铁电层的电极化状态翻转实现自旋电流极性变化，从而实现铁电‑磁隧道结器件的高低阻值状态变化。通过上述方式，本发明的器件通过电场控制铁电层的电极化状态翻转实现自旋电流极性变化从而实现器件的高低阻值状态变化，可以实现快速低功耗电写入和无损磁读取操作，是一种具有快速、低功耗等优点的新型存储器件。
隧道器件新型存储数据读取方法

[发明专利]多铁隧道结器件、自旋阀器件和自旋极化电流的调控方法-CN202210908773.4在审
发明人：刘飞;王宇宸;张力公;姚冠文;刘晓彦;康晋锋 -专利权人：北京大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本发明提供多铁隧道结器件、自旋阀器件和自旋极化电流的调控方法，其中多铁隧道结器件，包括依次层叠的第一铁磁层、铁电层以及第二铁磁层；其中，第一铁磁层和第二铁磁层采用相同的铁磁性金属材料；第一铁磁层和铁电层之间的界面、第二铁磁层和铁电层之间的界面具有对称结构，多铁隧道结器件用于通过磁电耦合效应实现自旋极化电流的产生与调控。通过上述方式，本发明基于铁磁层和铁电层之间的界面处所产生的磁电耦合效应，通过外部电场改变铁电层极化方向进而调控自旋电流的极化方向，提高了反转自旋隧穿电流极化状态的速度，也降低了调控自旋隧穿电流极化状态的所需的能量，为自旋电子学应用领域带来新的机遇。
隧道器件自旋极化电流调控方法