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- [发明专利]树脂组合物-CN201780031559.2有效
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增田有希;奥田良治
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东丽株式会社
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2017-05-22
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2021-12-31
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C08L61/14
- 本发明提供即使为低温条件下的加热处理、也能够得到具有耐化学药品性、低应力性、高伸长率性的固化膜的树脂组合物。树脂组合物，其特征在于，含有(a)碱溶性树脂，所述(a)碱溶性树脂包含具有交联性基团的酚骨架和不具有交联性基团的酚骨架，并且重均分子量在1,000～50,000的范围内，其中，在上述具有交联性基团的酚骨架和上述不具有交联性基团的酚骨架的结构单元的合计100摩尔％中，上述具有交联性基团的酚骨架所占的含有比率在5～90摩尔％的范围内。
- 树脂组合
- [发明专利]感光性树脂组合物-CN201780036074.2有效
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早坂惇;马场修;奥田良治
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东丽株式会社
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2017-06-07
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2021-11-26
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G03F7/004
- 本发明提供感光性树脂组合物，其即使利用低温下的加热处理也可得到与金属材料(特别是铜)的密合性优异的固化膜，并且具有高的涂布性。感光性树脂组合物，其特征在于，含有(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂、(B)感光剂、(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物，其中，相对于(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂100质量份而言，包含0.1～15质量份的上述(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物。
- 感光性树脂组合
- [发明专利]树脂组合物-CN201780053902.3有效
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增田有希;桥本启华;奥田良治
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东丽株式会社
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2017-08-30
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2021-06-25
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C08G73/14
- 树脂组合物，其特征在于，含有(a)树脂、(b)抗氧化剂、(d)交联剂，其中，上述(a)树脂包含选自聚酰亚胺前体、聚酰胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、及它们的共聚物中的一种以上的树脂，上述(d)交联剂是在一分子中具有酚式羟基、并且在上述酚式羟基的两个邻位具有分子量为40以上的取代基的交联剂。提供树脂组合物，其可得到微细图案，且能够实现250℃以下的低温固化，同时可得到图案的面内均匀性优异、在可靠性评价(即实际使用的加速试验)后也具有高伸长率及与金属布线的高密合性的图案固化膜。
- 树脂组合
- [发明专利]正型感光性树脂组合物、由其形成的未固化及固化图案、使用其的半导体器件及其制造方法-CN201680049884.7有效
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马场修;龟本聪;奥田良治
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东丽株式会社
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2016-08-30
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2020-12-25
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G03F7/023
- 本发明的课题在于提供正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的树脂图案、及使用其的半导体的制造方法，所述正型感光性树脂组合物对汞灯的i线为高敏感度，对强酸性水溶液、强碱性水溶液的耐化学药品性优异，尤其是能够得到即使在O2灰化后的无电解电镀工序中与铝焊盘的密合可靠性也优异的固化树脂图案。正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性树脂、(b)醌二叠氮化合物，上述(a)碱溶性树脂包含：(a1)聚酰亚胺前体，所述聚酰亚胺前体在全部四羧酸残基中具有5～50摩尔％的通式(1)表示的四羧酸残基，在全部二胺残基中具有10～80摩尔％的通式(2)表示的二胺残基，并且在全部二胺残基中具有10～90摩尔％的式(3)表示的二胺残基；及/或(a2)与上述(a1)对应的聚酰亚胺。(通式(1)中，A表示不含杂原子的4价单环式或二环式芳香族烃基，且可以使用两种以上。)(通式(2)中，B表示选自O、S、SO2、CH2、CH(CH3)、C(CH3)2、C(CF3)2中的基团，且可以使用它们中的两种以上。)
- 感光性树脂组合形成固化图案使用半导体器件及其制造方法
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