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[发明专利]感光性树脂组合物-CN201780036074.2有效
发明人：早坂惇;马场修;奥田良治 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供感光性树脂组合物，其即使利用低温下的加热处理也可得到与金属材料(特别是铜)的密合性优异的固化膜，并且具有高的涂布性。感光性树脂组合物，其特征在于，含有(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂、(B)感光剂、(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物，其中，相对于(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂100质量份而言，包含0.1～15质量份的上述(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物。
感光性树脂组合

[发明专利]正型感光性树脂组合物、由其形成的未固化及固化图案、使用其的半导体器件及其制造方法-CN201680049884.7有效
发明人： 马场修;龟本聪;奥田良治 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的树脂图案、及使用其的半导体的制造方法，所述正型感光性树脂组合物对汞灯的i线为高敏感度，对强酸性水溶液、强碱性水溶液的耐化学药品性优异，尤其是能够得到即使在O2灰化后的无电解电镀工序中与铝焊盘的密合可靠性也优异的固化树脂图案。正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性树脂、(b)醌二叠氮化合物，上述(a)碱溶性树脂包含：(a1)聚酰亚胺前体，所述聚酰亚胺前体在全部四羧酸残基中具有5～50摩尔％的通式(1)表示的四羧酸残基，在全部二胺残基中具有10～80摩尔％的通式(2)表示的二胺残基，并且在全部二胺残基中具有10～90摩尔％的式(3)表示的二胺残基；及/或(a2)与上述(a1)对应的聚酰亚胺。(通式(1)中，A表示不含杂原子的4价单环式或二环式芳香族烃基，且可以使用两种以上。)(通式(2)中，B表示选自O、S、SO2、CH2、CH(CH3)、C(CH3)2、C(CF3)2中的基团，且可以使用它们中的两种以上。)
感光性树脂组合形成固化图案使用半导体器件及其制造方法

[发明专利]树脂组合物、其固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法-CN201780015445.9有效
发明人： 马场修;早坂惇;奥田良治 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C08L79/08 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够抑制薄膜形成部中的表面粗糙、维持薄膜形成部的绝缘可靠性的树脂组合物、其固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。用于实现上述目的的本发明的构成如下所述。即，树脂组合物，其含有(a)选自碱溶性聚酰亚胺、碱溶性聚苯并噁唑、碱溶性聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物中的至少一种树脂、以及(b)碱溶性酚醛树脂，上述(b)的树脂的碱溶解速度(Rb)与上述(a)的树脂的碱溶解速度(Ra)之比(Rb/Ra)满足0.5≤Rb/Ra≤2.0的关系。还为该树脂组合物的固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。
树脂组合固化图案使用半导体电子部件半导体器件制造方法

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