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[发明专利]基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法-CN202010361030.0有效
发明人：石井博;太田明;镰野直幸 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
基板载置装置方法电子器件制造

[发明专利]移动体支承装置、包含其的真空蒸镀装置及蒸镀方法-CN201810657050.5有效
发明人：渡边一弘;太田明;小野岛升 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置，包括：真空腔室；移动体，所述移动体能够移动地设置在所述真空腔室内；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述移动体之间，一端部连结于所述移动体，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，且在沿着所述转动的轴的方向上能够相对移动，构成所述真空腔室的面具有开口，所述旋转移动部具有通过所述开口而与所述真空腔室的外部连通的中空部分，所述真空蒸镀装置包括力赋予机构，所述力赋予机构设置在所述旋转移动部的所述另一端部侧，在沿着所述转动的轴的方向且从所述真空腔室的内侧朝向外侧的方向上对所述旋转移动部提供力。
移动支承装置包含真空方法

[发明专利]减压容器、处理装置、处理系统、以及制造平板显示器的方法-CN201810051045.X有效
发明人：森纯平;太田明 -专利权人：佳能株式会社;佳能特机株式会社
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本发明还涉及一种处理装置、一种处理系统、以及一种制造平板显示器的方法。
减压容器处理装置系统以及制造平板显示器方法

[发明专利]基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法-CN202010369462.6在审
发明人：石井博;太田明;镰野直幸 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
基板载置装置方法电子器件制造

[发明专利]基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法-CN201810485128.X有效
发明人：石井博;太田明;镰野直幸 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法，抑制将基板载置于载置体时的每个基板的偏差。基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件，其特征在于，所述多个支承件的一部分的支承件间的距离与其它的支承件间的距离不同。或者，基板载置装置具备：包括支承基板的周缘的多个支承件的支承部件；使所述多个支承件中的至少一部分与其它的支承件独立地移动的支承件移动部件；以及将基板载置在载置体之上的载置部件。
基板载置装置方法电子器件制造

[实用新型]减压容器、处理装置、以及处理系统-CN201820090183.4有效
发明人：森纯平;太田明 -专利权人：佳能株式会社;佳能特机株式会社
申请日： 2018-01-19 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种减压容器，其包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本实用新型还涉及一种处理装置和一种处理系统。
第一表面四边形形状肋部本实用新型侧边延伸处理系统处理装置减压容器基部角部外壁成对

[发明专利]散热膜、热辐射层用分散液、散热膜的制造方法以及太阳能电池-CN201480077953.6在审
发明人：梅田雄纪;坂东诚二;川崎加瑞范;加藤俊彦;蛯名武雄;林拓道;中村考志;太田明;内藤贵 -专利权人：住友精化株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所;赛拉美星株式会社
申请日： 2014-04-16 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： B32B15/08 文献下载
摘要：本发明提供一种散热膜，其是通过将基于红外辐射的散热性、电绝缘性以及耐热性优异的热辐射层层积于传热性优异的金属膜上而成的，该散热膜具有高的机械强度和挠性。另外，提供用于制造该散热膜的热辐射层用分散液、使用该热辐射层用分散液的散热膜的制造方法、以及使用该散热膜而成的太阳能电池。一种散热膜，其为具有传热层和层积于该传热层的挠性的热辐射层的散热膜，上述传热层为金属膜，上述热辐射层含有水不溶性无机化合物和耐热性合成树脂，上述热辐射层中的上述水不溶性无机化合物的含量相对于上述热辐射层整体为30重量％～90重量％，上述热辐射层的热辐射率为0.8以上，且绝缘击穿强度为10kV/mm以上。
散热热辐射分散制造方法以及太阳能电池

[发明专利]制备水泥基材料的添加剂的方法，添加剂和包含添加剂的混合物-CN201180070888.0在审
发明人： X·侯;杉山知巳;J·克鲁格;太田明 -专利权人：建筑研究和技术有限公司
申请日： 2011-05-17 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C04B24/38 文献下载
摘要：本发明涉及由糖基材料制备水泥基材料的添加剂，特别是用于净浆、灌浆、砂浆和混凝土应用的外加剂以及用作通过研磨生产水泥的水泥添加剂的方法。方法包括使糖基材料经受磺化处理的步骤。
制备水泥基材添加剂方法包含混合物

[发明专利]散热片-CN200310120921.3无效
发明人：町田政广;太田明;清水光一郎;出牛雄一;野末正仁 -专利权人：冲电气工业株式会社;赛拉美星株式会社
申请日： 2003-12-16 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： H01L23/36 文献下载
摘要：提供不受冷却对象的零部件的形状与配置的制约且容易制造的散热片。此散热片具有挠性而构成为：在具有导热性的挠性吸热层表面形成具有红外辐射效应的挠性热辐射膜，而在此吸热层的背面则形成由导热性粘合剂组成的粘合层。
散热片

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