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- [实用新型]一种修整头摆动装置-CN202321186804.6有效
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孙中臣
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天津锦通昌科技有限公司
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2023-05-17
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2023-10-24
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B24B53/017
- 本实用新型公开一种修整头摆动装置，涉及化学机械抛光技术领域，包括：第一驱动电机、第二驱动电机、中心轴、基座以及上盖，上盖、基座中部拼接形成传动腔体，上盖与基座均与中心轴转动连接，第一驱动电机与第二驱动电机均通过法兰连接在基座上，第一驱动电机的输出端伸入传动腔体内依次通过齿轮、减速器与上盖传动连接，第二驱动电机的输出端依次通过减速器、齿轮与中心轴的输入端传动连接，中心轴的输出端设置有同步带轮；将第一驱动电机与第二驱动电机设置在基座上，同时将相应的传动系统设置在传动腔体内，结构简单，同时可减少摆臂对应修整头端部重量，提高使用寿命及加工精度，结构的紧凑性高，空间占用率高。
- 一种修整摆动装置
- [发明专利]一种可拆卸式刀具机构-CN202310954441.4在审
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孙中臣
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天津锦通昌科技有限公司
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2023-08-01
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2023-10-13
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B23B27/00
- 本发明公开一种可拆卸式刀具机构，主轴连接有驱动其移动的机架，轴头上安装有刀具，主轴和轴头之间连接有可拆卸配合的连接公端和连接母端，连接公端和连接母端均呈环状结构，连接母端转动套接在主轴端部的外周侧，且其内周壁上沿周向等间隔设有若干插块，连接公端套接在轴头端部的外周侧，并随轴头插接在连接母端内，连接公端的外周壁上沿周向等间隔设有若干定位块，相邻两定位块之间具有供相应插块穿过的第一间隔，且插块穿过第一间隔，并随连接母端转动后插接在定位块与主轴端面之间的第二间隔中，通过设置连接公端和连接母端，使得主轴和轴头可拆卸设置，以能够在需要更换刀具时，快速拆分主轴和轴头，保证了对刀具更换的便捷性。
- 一种可拆卸刀具机构
- [实用新型]一种抛光垫修整装置-CN202321197999.4有效
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孙中臣
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天津锦通昌科技有限公司
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2023-05-17
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2023-10-13
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B24B53/017
- 本实用新型公开一种抛光垫修整装置，涉及化学机械抛光设备技术领域，包括伸缩部，伸缩部包括设置有法兰盘的中心轴，中心轴外周面竖直设置有限位凸棱，中心轴外周套设有套轴，套轴的上端面与法兰盘的下端面固定连接，中心轴与套轴之间包围形成伸缩腔，伸缩腔内设置有滑动套，滑动套的上端开设有盲孔，中心轴的下部滑动设置于盲孔中，盲孔内部设置有始终与限位凸棱配合的限位凹槽。本实用新型通过在中心轴上设置法兰盘，使套轴与法兰盘固定连接，保证了中心轴和套轴这一整体的牢固性和稳定性。通过在中心轴和盲孔中设置互相配合的限位凸棱和限位凹槽，使中心轴可将扭矩有效传递给滑动套，实现了滑动套可在中心轴上轴向滑动的同时可随中心轴转动。
- 一种抛光修整装置
- [实用新型]一种抛光垫修整装置-CN202321187276.6有效
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孙中臣
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天津锦通昌科技有限公司
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2023-05-17
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2023-09-22
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B24B53/017
- 本实用新型公开了一种抛光垫修整装置，包括中心键轴、驱动机构，所述驱动机构包括从上到下依次连接套设在中心键轴外壁上的法兰轴和支撑环以及套设在法兰轴外壁的直驱电机主体，法兰轴与中心键轴键连接，支撑环与法兰轴外壁之间从上到下依次设置有第一环状空腔和第二环状空腔，中心键轴上开设有第一气路，第一气路的一端用于与压力控制机构连通，另外一端与第一环状空腔连通，第二环状空腔内设置有弹簧；本实用新型通过驱动机构与中心键轴连接，并通过驱动机构中的法兰轴和支撑环与中心键轴的外壁形成用于驱动修整机构的气路，达到使得整个修整装置结构紧凑，减轻了整个修整装置的重量，同时缩短了驱动机构对中心键轴的控制行程，提高了控制效率。
- 一种抛光修整装置
- [实用新型]一种内置冷却盘管的抛光盘-CN202321278954.X有效
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孙中臣
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天津锦通昌科技有限公司
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2023-05-25
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2023-09-19
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B24D13/02
- 本实用新型公开一种内置冷却盘管的抛光盘，涉及抛光设备技术领域，包括铸造成型的盘体，盘体内预埋有用于盛装冷却介质的冷却盘管，冷却盘管呈盘旋状布置，冷却盘管的布置范围覆盖盘体，冷却盘管相邻的管体之间固定设置有若干根导热条，冷却盘管具有出水口和入水口，出水口和入水口穿过盘体与外界连通。本实用新型通过在铸造成型的盘体内预埋冷却盘管，并在相邻的管体之间设置导热条，实现了冷却盘管的外圈与内圈的冷却介质之间热量的直接传导，使内外圈冷却介质在温度趋于相同的基础上对周围的盘体进行冷却，实现盘体各个区域温度的均匀性，有效减小温度变化对化学机械抛光效果造成的影响。
- 一种内置冷却抛光
- [发明专利]一种抛光垫修整装置-CN202310554150.6在审
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孙中臣
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天津锦通昌科技有限公司
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2023-05-17
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2023-07-21
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B24B53/017
- 本发明公开一种抛光垫修整装置，涉及化学机械抛光设备技术领域，包括伸缩部，伸缩部包括设置有法兰盘的中心轴，中心轴外周面竖直设置有限位凸棱，中心轴外周套设有套轴，套轴的上端面与法兰盘的下端面固定密封连接，中心轴与套轴之间包围形成伸缩腔，伸缩腔内设置有滑动套，滑动套的上端开设有盲孔，中心轴的下部滑动设置于盲孔中，盲孔内部设置有始终与限位凸棱相配合的限位凹槽。本发明通过在中心轴上设置法兰盘，使套轴与法兰盘固定连接，保证了中心轴和套轴这一整体的牢固性和稳定性。通过在中心轴和盲孔中设置互相配合的限位凸棱和限位凹槽，使中心轴可将扭矩有效传递给滑动套，实现了滑动套可在中心轴上轴向滑动的同时可随中心轴同步转动。
- 一种抛光修整装置
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