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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]肖特基二极管制备方法及肖特基二极管-CN202310286156.X在审
发明人：沈涛 -专利权人： 天津万汇亿创科技有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/34 文献下载
摘要：本发明提供一种肖特基二极管制备方法及肖特基二极管。该方法包括：利用高温热氧化工艺对当前N+型氧化镓晶锭进行氧化处理，得到形成在当前N+型氧化镓晶锭上表面的N‑型氧化镓漂移层；在N‑型氧化镓漂移层的上表面制备阳极电极；对当前N+型氧化镓晶锭进行裁切，得到预设厚度的N+型氧化镓衬底和第一N+型氧化镓晶锭；在N+型氧化镓衬底的下表面制备阴极电极；将第一N+型氧化镓晶锭作为当前N+型氧化镓晶锭，跳转到“利用高温热氧化工艺对当前N+型氧化镓晶锭进行氧化处理”，直至当前N+型氧化镓晶锭的厚度小于预设厚度，得到多个肖特基二极管。本发明能够有效解决外延氧化镓层导致的二极管器件性能差、成品率低和生产成本高等问题。
肖特基二极管制备方法

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