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[发明专利]基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法-CN200510077906.4有效
发明人：桥本光治 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-06-13 - 公布日： 2005-12-28 - 主分类号： B65G49/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法，基板被支承在第二可动构件上所设置的多个基板支承销上。接着，第一及第二可动构件相互移动，使得多个基板支承销接近第一可动构件上所设置的多个基板支承销。接着，在基板被保持于基板支承销之间的状态下，第一及第二可动构件被翻转。而且，第一及第二可动构件相对移动，使得多个基板支承销相互离开。
翻转装置方法运送处理

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN200410056045.7无效
发明人：麻籍文 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2004-08-05 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置在机体的基板搬运出入口的相反侧的侧面上设置有透射窗。电离器设置在清洗处理部的透射窗侧的外部。透射窗由聚亚胺类树脂或者丙烯类树脂等构成。从电离器照射的微弱X射线通过透射窗，到达清洗处理部的基板搬运出入口、闸门、旋转紧固件、保护件等。旋转紧固件具有多个导电性固定销。
处理装置方法

[发明专利]图像记录装置和图像记录方法-CN200510070489.0有效
发明人：川端元顺;长正道;福山克树 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-05-13 - 公布日： 2005-12-07 - 主分类号： B41C1/02 文献下载
摘要：在图像记录装置中，在多个单位图像中发生的缺陷不会在结果图像中重叠。本发明的图像记录装置包括把为了形成1个结果图像而重叠的多个单位图像对多个记录媒体分别记录的扫描部。扫描部使多个单位图像的位置不同，所以多个单位图像中发生的缺陷位置不同，缺陷不会在结果图像中重叠。
图像记录装置方法

[发明专利]投影光学系统和图形描画装置-CN200510065570.X无效
发明人：小八木康幸 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-18 - 公布日： 2005-12-07 - 主分类号： G02B27/18 文献下载
摘要：投影光学系统(6)包括把以焦点(P1)为中心的凹面镜(611)作为背面镜而形成的凹凸透镜612即第一反射镜构件(61)和把在基准点(P1)与第一反射镜构件(61)之间并大致以基准点(P1)为中心的凸面镜(621)作为背面镜而形成的凹凸透镜(622)即第二反射镜构件(62)。来自物体侧的光与中心轴(J1)平行地入射在第一反射镜构件(61)上被凹面镜(611)，凸面镜(621)、凹面镜(611)反射后被与中心轴(J1)平行地引导出后形成像。借此可以使在凹面镜与凸面镜之间反射3次的投影光学系统(6)中通过凹面镜(612、622)抑制像差。
投影光学系统图形描画装置

[发明专利]图像记录设备、切口形成设备及其使用方法-CN200510067074.8有效
发明人：北胁史郎;和田宜伦 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-27 - 公布日： 2005-11-30 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：冲孔器41a至41d的每个冲杆44对直接位于其下的板P进行冲孔，以形成切口。然后，冲孔器41c和41d的制动销47邻接于切口的最深部分，从而板P被进一步插入。冲孔器41a和41b的每个冲杆44对直接位于其下的板P进行冲孔，以形成较深的切口。换而言之，冲孔器41能够沿着板P的一个端面形成不同深度的切口，由此能够实现以适当的方式将板P定位于记录鼓5上的各种方法。
图像记录设备切口形成及其使用方法

[发明专利]板检验设备及方法-CN200510073758.9有效
发明人：水野雄次 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-05-24 - 公布日： 2005-11-30 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明涉及一种板检验设备及方法，其中可旋转地构造第一检验台(2)和第二检验台(3)，并设置有四个A面检验吸附台(22)和四个B面检验吸附台(32)。A面检验吸附台(22)和B面检验吸附台(32)与其相应的旋转轴之间的距离通过气缸(23)和气缸(33)的伸出/收缩操作来改变。板供给部(7)中的板(S)被吸附和固定到A面检验吸附台(22)上，并在由A面检验头(4)获取其A面的图像之后，传送到第二检验台(3)。该板(S)被吸附并固定到B面检验吸附台(32)上，并在由B面检验头(5)获取其B面的图像之后，抛到板容纳部(8)。板检验设备(1)并行执行上述处理。
检验设备方法

[发明专利]基板检查装置-CN200510065573.3无效
发明人：水田靖生;胁田典宏 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-18 - 公布日： 2005-11-30 - 主分类号： H04N1/04 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种能够将基板上的图形清晰地摄像的基板检查装置。摄像头(10)具有CCD行传感器(20)、6个第一照明装置(30)、一对第二照明装置(40)。第二照明装置(40)配置在第一照明装置(30)中的LED排列设置方向的两侧，其配置方式为，从第二照明装置(40)射出的光投影到基准平面(abcd)上时的该光对基板表面的照射角度，与从第一照明装置(30)射出的光投影到基准表面(abcd)上时的该光对基板表面的照射角度不同。
检查装置

[发明专利]板捡拾设备及其使用方法-CN200510073757.4无效
发明人：水野雄次 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-05-24 - 公布日： 2005-11-30 - 主分类号： B65H3/08 文献下载
摘要：本发明的板捡拾设备将粘附构件臂73突入板箱71，同时粘附构件74朝向下(步骤S51)；并使位于装载的板S顶端上的板S的上表面与粘附构件74相接触(步骤S52)。然后，升降台72向下移动(步骤S53)，从而将插入构件76的另一端突入板箱71(步骤S54)。这样，插入构件76的另一端插入顶端板S与其它板S之间的间隙，并且顶端板S被A面检查吸附台22吸附(步骤S58)。
捡拾设备及其使用方法

[发明专利]影像记录材料供应设备及方法-CN200510067424.0有效
发明人：泰地亮 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-22 - 公布日： 2005-11-23 - 主分类号： G03D3/08 文献下载
摘要：为了更换自动装载部(4)中的暗匣(9)，执行将暗匣(9)撤回到暗匣容纳部(3)的操作，同时执行将新的暗匣(9)从暗匣容纳部(3)插入到自动装载部(4)的操作。因此，通过自动装载部(4)进行暗匣更换操作所需的时间是用于撤回暗匣的时间和用于插入暗匣的时间之中的较长的时间。因此，可以缩短自动装载部(4)必须停止传输影像记录材料的时间。
影像记录材料供应设备方法

[发明专利]辅助选择图案单元用于图案匹配的装置、方法和程序-CN200510065047.7有效
发明人：佐野洋;早川有美;今村淳志;西原荣治 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-11 - 公布日： 2005-11-23 - 主分类号： G01B11/03 文献下载
摘要：提供一种辅助选择图案单元用于图案匹配的装置和方法，该装置包括：图案单元提取器(51)，由计算机执行其功能之一，从基准图像中提取多个图案单元，基准图像的一区域被显示在显示器(45)上；输入部分(46)，接受操作者从多个图案单元之中选出一个图案单元作为基准单元的选择；鉴别校验器(52)，检查所选图案单元是否可区别于其他图案单元和是否可用作为用于图案匹配的基准图案单元。将检查结果通报给操作者，通过参照鉴别校验器(52)所进行的检查结果，从基准图像中的图案单元之中选出一个适当图案单元，作为基准图案单元。因此，能够防止在图案匹配中检测目标图像相对于基准图像的位置时所用基准图案单元的错误识别。
辅助选择图案单元用于匹配装置方法程序

[发明专利]缺陷检测装置和方法以及接线区域提取装置和方法-CN200510065123.4有效
发明人：佐野洋;西原荣治;永田泰史;今村淳志 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-08 - 公布日： 2005-11-16 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：在表示图案(包括衬底上形成的接线)的基准二进制图像中，对于具有与对应于接线区域的像素值相同的像素值的特定区域进行侵蚀，以获取侵蚀图像，并将保留于侵蚀图像中的特定区域进行放大至与该侵蚀几乎相同的程度，以获取侵蚀和放大的图像。随后，产生该侵蚀和放大图像与基准二进制图像之差的图像，作为表示接线区域的接线图像。由此，可容易地提取作为细微图案区域的接线区域。通过基于该接线图像，为接线区域和其他区域设定各个不同的缺陷检测灵敏度，并根据这些缺陷检测灵敏度，检测一检查图像中的缺陷，可适当地检测衬底上的图案缺陷。
缺陷检测装置方法以及接线区域提取

[发明专利]印刷数据处理装置和方法、及其程序-CN200510065045.8有效
发明人：今井澄;吉野公敏 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-11 - 公布日： 2005-11-09 - 主分类号： B41F33/16 文献下载
摘要：内容文件转换器将输入至印刷数据处理装置的内容文件转换成中间文件。然后，中间文件的数据被记录于由页面序列表产生器所产生的页面序列表中。布局信息选择器选择用于印刷的印刷机所适用的布局信息表。链接处理器在可印刷表面上的各部分中布局中间文件。因此，即使用于印刷的印刷机尚未被确定，仍可记录中间文件的数据。
印刷数据处理装置方法及其程序

[发明专利]图像记录装置-CN200510065572.9有效
发明人：冈本浩志;和田宜伦 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-04-18 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种图像记录装置，包括：记录滚筒，其在印刷版安装在其外周部上的状态下进行旋转；记录头，其对安装在记录滚筒上的印刷版进行图像记录；旋转编码器，其检测出记录滚筒的旋转角度位置；第一、第二传感器，其可检测出安装在记录滚筒上的印刷版；检出范围设定电路，其对应于印刷版的材质信息、印刷版的反射率信息、形成在印刷版上的定位孔的有无及种类设定第一、第二传感器的检出范围；判定电路，其根据记录滚筒的旋转位置和由检出范围设定电路设定的检出范围取入第一、第二传感器的信号，判定安装在记录滚筒上的印刷版的端缘位置。
图像记录装置

[发明专利]光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置-CN200510052635.7无效
发明人：山本正昭;小堀由高 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-03-07 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置，是将薄膜掩膜(1)承载在承载台(2)上，从以追随摄像部(3)的形式而安装着的空气喷出部件(6)通过喷嘴(7)向摄像部(3)的扫描位置的附近喷出空气。利用向扫描位置的附近喷出的空气，在使薄膜掩膜(1)上的扫描位置周边与承载台(2)紧密接触的同时，由摄像部(3)对薄膜掩膜(1)进行扫描，对薄膜掩膜(1)的检查区域进行摄像。这样，能够使用便宜的装置对薄膜掩膜等的柔性的薄板基板进行正确的检查。
光学外观检查方法以及装置

[发明专利]去除基板上有机污染物的装置和方法与测量基板上薄膜厚度的装置和方法-CN200510054346.0无效
发明人：中泽喜之;河野元宏;北岛敏和;矶大介 -专利权人： 大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-03-10 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在膜厚度测量装置(1)的主体中，设置一有机污染物去除器(3)，用于去除吸附到基板(9)上的有机污染物。该有机污染物去除器(3)包括一内部保持清洁的腔体(31)。在腔体(31)中设置有：一加热板(32)，用于加热基板；一冷却板(33)，用于冷却基板；以及一传送臂(34)，用于在腔体(31)中将该基板(9)从该加热板(32)移动到该冷却板(33)。以此结构，能够使基板(9)保持在腔体(31)内的清洁环境中，从而在从去除吸附到基板(9)上的有机污染物的时刻到完成冷却的时刻的时间段期间，能够抑制有机污染物再吸附到基板上。
去除基板上有机污染物装置方法测量薄膜厚度