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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]形状测量设备及其控制方法-CN202180034827.2在审
  • 增田光;森井秀树 - 株式会社东京精密
  • 2021-04-28 - 2023-01-13 - G01B5/20
  • 提供了一种能够容易地检测出在测量目标的形状测量中出现异常的原因的形状测量设备及其控制方法。本发明涉及：位移检测设备，用于检测触点的位移；相对移动机构，用于使位移检测设备相对于测量目标相对地移动，以允许触点跟踪测量目标的待测表面；位置检测传感器，用于检测位移检测设备相对于测量目标的相对位置；相机，用于捕获接触器的图像，并输出接触器的图像；以及同步控制单元，用于在相对移动机构执行相对移动的同时，允许彼此同步并重复地执行三个动作，该三个动作包括由位置检测传感器检测相对位置、由位移检测设备检测位移、以及由相机捕获图像。
  • 形状测量设备及其控制方法
  • [发明专利]半导体器件的检查装置和其所使用的吸盘台-CN201210518234.6有效
  • 安田胜男;增田光;根井秀树 - 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
  • 2012-12-05 - 2013-06-05 - G01R31/26
  • 本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。
  • 半导体器件检查装置使用吸盘
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  • 共 3 条
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