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[发明专利]一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架-CN202110752145.7有效
发明人：高运周;李建均;黄远坤;王正帅 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-07-03 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架,目的是解决现有石英玻璃无法经受激光的多频次长周期照射而出现损伤破坏的技术问题。耐辐照石英玻璃的制备方法，包括如下步骤：S1，槽沉锭料预处理；S2，调节槽沉炉内至微正压氢气氛围，槽沉锭料置于槽沉炉内高温摊铺成摊成光学石英玻璃毛坯，同步预氢化处理；S3，维持炉内微正压氢气氛围，将光学石英玻璃毛坯随炉降温至一定温度；S4，增大氢气供给，提高炉内压力至一定压力后，对光学石英玻璃毛坯进行保温保压氢化处理；S5，维持氢气氛围，光学石英玻璃毛坯随炉慢降温，开炉得到成品。本发明提升了材料内部氢分子浓度，有效提高石英玻璃材料的耐辐照性能。
一种辐照石英玻璃制备方法坩埚

[发明专利]一种生产高品质合成石英玻璃的设备-CN202110581593.5有效
发明人：王正帅;王岗;裴磊;高运周 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产高品质合成石英玻璃的设备，包括炉本体，其内部设置有封闭的反应室；反应室具有排气通道；燃烧器，设置于反应室内上部，产生加热区，加热区中的含硅原料被加热生成松散体；加热器，设置于反应室内，并位于燃烧器下方，产生烧结区，在烧结区松散体被烧结成玻璃体；支撑柱，其一端位于反应室内，并伸入到加热区和烧结区内，其外壁与炉本体外壁构成密封；随着石英玻璃合成，支撑柱可沿着自身长度方向，以自身轴向中心为旋转轴，旋转并向远离燃烧器方向移动。该设备工艺简捷，操作简便，人力成本低，可以在同一台设备中完成从原料投入到玻璃化的全生产过程，成品具有更高的紫外透过率，有利于制备超高纯度产品。
一种生产品质合成石英玻璃设备

[实用新型]一种用于生产大尺寸石英玻璃的高效率燃烧器-CN202121151951.0有效
发明人：李建均;鹿云龙;高运周 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型为解决现有燃烧器中，中心物料在大料量投入时，不能充分反应问题，公开一种用于生产大尺寸石英玻璃的高效率燃烧器，包括：进料组件、护料气组件、供氧组件、供氢组件和保护气组件；所述进料组件具有直管状的进料通管，所述进料通管内部为贯通的输料流道，所述输料流道的末端呈内径逐渐缩小的锥台状，锥台状区域的锥角α为2~30°，高度H为3~20mm。本实用新型提供一种用于生产大尺寸石英玻璃的高效率燃烧器，将原进料通管的输料流道末端进行重新设计为直径逐渐收缩的锥台状，使得四氯化硅气相原料在进料通管出口端处形成聚焦，改善四氯化硅气相原料分布不均的情况，得以充分反应。
一种用于生产尺寸石英玻璃高效率燃烧

[发明专利]一种立式磨床-CN202210002528.7有效
发明人：鹿云龙;李大龙;陈昕;赵炳利;王正帅;高运周 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司;大有科工数字技术（北京）有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本发明为解决现有卧式磨床在对石英砣外圆面的磨削加工时，石英砣容易碎裂，且需要将石英砣切断加工的问题，提供一种立式磨床，属于机械设备技术领域。一种立式磨床，石英砣呈立式方式固定于立式磨床内，并由立式磨床对石英砣的外圆面进行磨削加工，所述立式磨床包括机架、装卡机构、传动机构和两套磨削机构；所述装卡机构具有装卡上组件和装卡下组件；所述传动机构设置所述机架上，其一部分可沿着与石英砣的轴长方向平行的方向上下移动；两套所述磨削机构水平相对设置，并分别与所述传动机构的可上下移动的部分连接。本发明中立式磨床可从整体上改变石英砣的受力分布情况，降低石英砣料的断裂风险，且石英砣磨削加工无需进行切断处理。
一种立式磨床

[实用新型]一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环及其安装结构-CN202121151948.9有效
发明人：李建均;鹿云龙;高运周 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： C03B8/04 文献下载
摘要：本实用新型为解决现有技术中导流挡环会改变沉积炉内温场，整体提高导流挡环上部炉膛温度，导致纵向温度梯度太小，对成砣非常不利的问题，公开一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环，其包括环本体；环本体具有锥状面的上导流面和下导流面。本实用新型还公开一种导流挡环的安装结构，包括导流挡环和导流槽。本实用新型提供一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环，通过对环本体上、下两个面的改进，以降低导流挡环安装后对炉膛内温场和气体流动的影响。本实用新型还提供了一种导流挡环的安装结构，可以实现导流挡环的快速安装，同时降低导流挡环对上部炉膛温场的影响。
一种石英玻璃沉积废气导流及其安装结构

[实用新型]一种生产合成石英玻璃用的智能终端系统-CN202121621197.2有效
发明人：鹿云龙;包方毅;邓维;高运周 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本实用新型涉及合成石英玻璃生产，提供一种生产合成石英玻璃用的智能终端系统，属于NFC技术领域，该智能终端系统包括依次连接的设备管理控制平台、工厂服务器、带NFC芯片组件的生产设备及移动终端，NFC芯片组件包括主控制模块及分别与其连接的设备信息模块、NFC模块、第一通信模块，NFC模块与移动终端无线连接，第一通信模块与工厂服务器有线连接。本实用新型设置的设备管理控制平台与移动终端配合，而且后者通过NFC模块对生产设备进行信息采集和工艺控制，获取的生产信息成本低且全面，从而实现大规模合成石英玻璃生产的智能监视和控制。
一种生产合成石英玻璃智能终端系统

[实用新型]一种沉积炉燃烧器的安装定位辅助组件-CN202121598153.2有效
发明人：鹿云龙;陈昕;李建均;黄远坤 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司;大有科工数字技术（北京）有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型属于沉积炉燃烧器领域。本实用新型公开了一种沉积炉燃烧器的安装定位辅助组件，用于沉积炉内的燃烧器安装，所述燃烧器的进料管为单根直管，包括激光定位工装和角度计算工装。所述激光定位工装与所述燃烧器的进料管连接，其发送的激光束与所述进料管的轴向中心线重合，用于标记所述燃烧器的上料流向；所述角度计算工装放置在所述沉积炉的下方，其朝向所述沉积炉的顶面具有基准中心；所述角度计算工装的顶面与所述沉积炉的轴向中心线垂直，所述基准中心与所述沉积炉的支撑柱的轴向中心线重合。该安装定位辅助组件可直观地观察到燃烧器的上料流向并计算出氢氧焰入射角。
一种沉积燃烧安装定位辅助组件

[发明专利]一种门式制坨机-CN202110752119.4在审
发明人：高运周;赵炳利;李大龙;邓维 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-07-03 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种门式制坨机，目的是解决现有悬臂式制坨机存在的结构不稳定的技术问题。包括沉积基础杆，还包括：门架，所述门架为框架结构；升降机构，设于所述门架内部；摆动机构，位于所述门架内部，所述摆动机构设于所述升降机构的输出端上；旋转机构，位于所述门架内部，所述旋转机构设于所述摆动机构的输出端上，所述旋转机构用于驱动所述沉积基础杆绕其轴线转动；其中，所述沉积基础杆设于所述旋转机构上。具有结构稳定和性能优良的优点。
一种门式制坨机

[发明专利]用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置-CN202110752142.3在审
发明人：李建均;高运周;黄远坤 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-07-03 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置，涉及光刻级熔石英玻璃材料生产领域。本发明的料架包括圆筒状的外壳，外壳内设有与其连接的杆状结构的支撑件，外壳上均匀布满若干进气孔；本发明的反应釜包括密闭容腔，密闭容腔中设有用于加热的加热组件，密闭容腔内设有料架；本发明的装置包括反应釜、用于对反应釜抽真空的真空系统、用于将氮气或氢气充入反应釜内的充气系统以及用于排出并燃烧反应釜内氢气的氢气燃烧系统，石英玻璃在支撑件上完成渗氢工艺。
用于石英玻璃工艺反应装置

[发明专利]一种提高石英玻璃均匀性的方法-CN202110752144.2在审
发明人：高运周;黄远坤;李建均;邓维 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-07-03 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高石英玻璃均匀性的方法,目的是解决现有技术中成品合成石英玻璃均匀性低的技术问题。该方法具体包括：预处理原料：原料经水解后制成合成石英玻璃的砣料；处理坨料，对坨料表面进行清洁，得到备用品；加工备用品，备用品进行槽沉成型、均化以及慢降温后，制成坯料，所述均化为坯料内部分子在热泳效应以及微正压下均匀分布的过程；制备成品，坯料进行成型加工处理后制成成品。
一种提高石英玻璃均匀方法

[实用新型]一种制砣机支撑杆的矫正机构及矫正系统-CN202121670112.X有效
发明人：鹿云龙;李建均;黄远坤 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B21D3/00 文献下载
摘要：本实用新型为解决现有技术中手动矫正支撑杆存在的费时费力的问题，公开了一种制砣机支撑杆的矫正机构，用于对制砣机的支撑杆进行位置调节，所述矫正机构包括第一缸体、缸盖、第二缸体、弹簧、柱塞和限位环，第一缸体、缸盖和第二缸体依次连接，柱塞穿设在第一缸体、缸盖和第二缸体组合结构内，弹簧和限位环安装在柱塞上，柱塞和缸盖构成滑动接触密封结构；向所述第二空腔内注入液压介质，可驱使柱塞向远离第一缸体的方向移动，抵住支撑杆后使其发生位移，实现调节。矫正系统包括矫正机构和液压站。本实用新型提供一种制砣机支撑杆的矫正机构及矫正系统，相比于现有手动扭螺栓调节的方式，效率和调节精度大大提升，劳动强度减轻。
一种制砣机支撑杆矫正机构系统

[实用新型]一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置-CN201920754112.4有效
发明人：曹海平;邓维;黄远坤 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置，属于合成石英玻璃制备技术领域，包括沉积炉和打砣机，所述沉积炉上设置观察孔，所述观察孔所在平面对应的沉积炉侧壁上相对安装激光发生器和激光接收器；装置还包括控制器和显示器，所述控制器与激光发生器和激光接收器进行通讯并控制沉积炉的原料进料量和打砣机的移动速度，所述显示器接受控制器的信号并显示沉积炉内状态。本实用新型提供了一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置，解决砣料砣径等径度差异、保护工作人员视力，减少不必要的误操作，提高砣料品质。
一种石英沉积自动稳定控制装置

[实用新型]一种石英砣转移用的吊具-CN201920809676.3有效
发明人：何海建;李建均;黄远坤;马祥;邓维;鹿云龙 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B66C1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英砣转移用的吊具，包括夹持机构和抱紧机构，所述夹持机构呈剪叉结构，朝向抱紧机构接触的两端与抱紧机构可拆卸式连接，所述抱紧机构固定在石英砣表面，其内径等于或者略小于石英砣的尺寸并具有微膨胀变形区。所述抱紧机构的数量为1~3个；当抱紧机构为2或3个时，呈上下位置关系间隔设置，所述夹持机构两端同时与全部抱紧机构连接。本实用新型为提供了一种石英砣转移用的吊具，采用机械机构抓取，可避免烫伤事故发生，转移安全系数高。
一种石英转移

[实用新型]一种紫外熔石英玻璃用打孔设备-CN201920809680.X有效
发明人：何海建;鹿云龙 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B28D1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种紫外熔石英玻璃用打孔设备，包括平板，所述平板下端中间位置固定水箱，所述平板上端安装两个夹持组件，所述平板后端中间位置固定L形杆，所述L形杆上端固定电动缸的缸体，所述电动缸的活塞杆穿过L形杆且固定打孔主机，所述打孔主机环形侧端固定固定环，所述固定环环形外端设有透明防护罩且透明防护罩能沿着固定环上下移动，所述透明防护罩设在两个夹持组件之间，本实用新型结构合理，具有灰尘遮挡功能，改善了工作环境，提高了打孔安全性。
一种紫外石英玻璃打孔设备

[实用新型]一种紫外熔石英玻璃抛光装置-CN201920799160.5有效
发明人：李建均;鹿云龙 -专利权人： 四川神光石英科技有限公司
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种紫外熔石英玻璃抛光装置，包括底板，所述底板上端开设滑槽，所述滑槽内部设有滑块且滑块能沿着滑槽左右移动，所述滑块上端固定支撑杆，所述支撑杆上端安装U形框，所述U形框上端转动安装螺纹杆一，所述螺纹杆一延伸至U形框内部且螺纹杆一下端转动安装压板，所述压板设在U形框内部且压板侧壁与U形框侧壁贴合，所述底板上端安装支撑框，所述支撑框内部设有导向杆，所述导向杆靠近底板中心位置的一端固定抛光结构，本实用新型结构合理，夹持效果好，改善抛光质量。
一种紫外石英玻璃抛光装置

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