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[发明专利]一种纵长形反应腔体及其化学气相沉积装置-CN202210349977.9在审
发明人： 周楚秦;张海龙;庞云玲;姜勇 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种纵长形反应腔体及其化学气相沉积装置，该纵长形反应腔体包含：纵长方向延伸的顶壁、底壁和侧壁围绕而成的腔体，腔体两端分别为进气开口和排气开口；腔体内部空间包括进气区域、排气区域和反应区域，各区域沿纵长方向排列；反应区域下方的底壁上设置有延伸管，旋转轴从延伸管伸入反应区域以支撑托盘和基片，使得基片在反应区域中旋转；反应腔体两个侧壁内表面竖直且互相平行；顶壁在反应区域向上拱起，使得基片上沿纵长方向上分布的多个点到顶壁的距离不同。其优点是：该纵长形反应腔体的顶壁在反应区域处向上拱起，以使其具有较高的机械强度，从而具有更强的承压能力，同时基片上方的气体流场较为稳定，保证了薄膜沉积的均匀性。
一种纵长形反应及其化学沉积装置

[实用新型]一种纸币分类机-CN201621084585.0有效
发明人：阚彦邦;周楚秦;叶芯 -专利权人：阚彦邦
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种纸币分类机，包括桌体、控制装置、纸币分类装置、纸币分类平台和纸币存储盒；其特征在于所述的纸币分类装置包括模组、吸管、吸管支架、真空泵和颜色传感器；所述模组由X模组与Y模组组成，所述X模组水平安装在桌体的前端，所述Y模组通过X滑块竖直安装在X模组上；所述X模组的端部与Y模组的端部上分别设有X步进电机与Y步进电机；所述吸管支架通过Y滑块安装在Y模组上，吸管支架下端设有颜色传感器；吸管支架端部设有通孔，所述吸管的下端从吸管支架的通孔中穿过，吸管的上端与设在桌体上的真空泵相连；所述X步进电机、Y步进电机、颜色传感器和真空泵分别与控制装置连接。
一种纸币分类机

[实用新型]方便面冲泡售货机-CN201621078586.4有效
发明人：阚彦邦;周楚秦;叶芯 -专利权人：阚彦邦
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G07F11/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便面冲泡售货机，包括机壳、面桶存储室、投币室、调味粉存储室、干菜存储室、酱料存储室、热水存储室和电控装置；所述机壳的上部从左往右依次为投币室、调味粉存储室、干菜存储室、酱料存储室和热水存储室，机壳中部为长方体形的凹腔，所述长方体形的凹腔在机壳的前面和右面开口，下面为接物台，上面设有与各存储室对应的调味粉、干菜、酱料和热水接口；机壳的下部包括面桶存储室，所述面桶存储室包括均匀分布的多个长方体形储物柜；所述电控装置用于接收外界用户购买指令，并控制投币室、各存储室以及储物柜协同工作。本方便面冲泡售货机内部结构和控制系统简单，工作可靠、故障率低，制造成本低，易于实施。
方便面冲泡售货