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[实用新型]一种温场升降旋转水冷机构-CN202320347466.3有效
发明人：冯玉冰;吴明森;马宁;刘林;郑红贤 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种温场升降旋转水冷机构，包括上端延伸至晶体生长炉炉内的旋转主轴，旋转主轴套置于主轴导向套中，主轴导向套下方设置波纹管，所述的波纹管套置于旋转主轴上，波纹管与主轴导向套之间设置氟橡胶O型密封圈，旋转主轴中同轴布置有进水管，进水管向下延伸，进水管的延伸端设置旋转接头，进水管与旋转主轴的内腔构成回水管路，旋转接头上与进水管联通有进水宝塔接头、与回水管路联通有回水万向宝塔接头；旋转主轴的下部套置有密封支承座，波纹管与密封支承座之间设置氟橡胶O型密封圈，所述的密封支承座与升降底板固连布置；升降底板的一侧设置带动旋转主轴转动的旋转单元，升降底板的另一侧设置带动旋转主轴上下移动的升降单元。
一种升降旋转水冷机构

[实用新型]晶体生长腔体手动输送切割夹具-CN202320347444.7有效
发明人：冯玉冰;吴明森;马宁;刘林;郑红贤 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶体生长腔体手动输送切割夹具，包括基架，基架的内侧设置夹持机构，基架的外侧设置手持机构；所述的夹持机构包括一侧设置的半圆固定板，半圆固定板的对侧设置活动半圆压板，所述的活动半圆压板上设置推进机构，所述的推进机构使得活动半圆压板相对半圆固定板相向或者相背运动；所述的手持机构包括夹持机构长度方向设置的左把手和夹持机构宽度方向设置的右把手。该种手动输送切割夹具，既提高了工作效率又消除了安全隐患，经后期验证取出后晶锭的良品率得到了很大提升，工作效率也得到提高。
晶体生长手动输送切割夹具

[实用新型]一种非标准形状透明晶体样品显微观测用样品托-CN202223506629.2有效
发明人：陈奇;阙晓丽;马宁 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种非标准形状透明晶体样品显微观测用样品托，包括圆环形样品腔和设置于圆环形样品腔一侧的固定轴，固定轴上设置连杆，连杆的伸长端设置可移动样品台，所述的连杆沿固定轴的轴高方向上下可移，固定轴与连杆之间设置紧固件；所述的环形样品腔的侧腔壁上开设供可移动样品台穿置的进出口，进出口两侧对称设置有进出孔，进出孔上设置有夹紧机构。对于非标准形状的透明晶体样品方便的显微观测，即可进行透明晶体样品的反射和投射光检测。
一种非标准形状透明晶体样品显微观测

[实用新型]一种碳化硅晶体生长用石墨坩埚-CN202223506666.3有效
发明人：陈奇;阙晓丽 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅晶体生长用石墨坩埚，包括：石墨坩埚腔体，石墨坩埚腔体内上下分置有生长区和原料区，原料区位于高温端，生长区位于低温端，原料放置于原料区，石墨坩埚盖位于生长区，石墨坩埚盖包括石墨坩埚内盖和石墨坩埚外盖，石墨坩埚内盖内部空间上下分置为长晶区和连接区，碳化硅籽晶固定于石墨坩埚内盖上侧内壁，碳化硅籽晶下方有籽晶托对其支撑，石墨坩埚内盖和石墨坩埚外盖之间设有保温层。避免了因敲击振动导致的晶体开裂问题，也避免了长时间高温处理去除外层石墨坩埚盖的麻烦。有效提升了碳化硅晶体成品率。
一种碳化硅晶体生长石墨坩埚

[发明专利]一种晶体切割控制多线切割片几何参数均匀性方法-CN202211691476.5在审
发明人：陈奇;阙晓丽 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶体线切割片几何参数均匀性方法，包括以下步骤：(1)选择多个待切割晶体，对选择的晶体进行平面研磨和外圆研磨的整形加工，制成标准圆柱形；(2)选择多个设定厚度的树脂块，加工成与待切晶体相同直径的圆柱形；(3)选择步骤(1)中的整形完成的晶体与步骤(2)中整形完成的树脂块，在粘胶台上按照树脂块‑晶体‑树脂块‑晶体‑树脂块‑晶体‑树脂块的顺序将晶体与树脂块粘接成整体；加设定压力保持设定时间；(4)将步骤(3)粘接加工完成的待切晶体粘接到多线切割机的工件支撑板上，加压力待冷却；(5)将步骤(4)中粘接好的工件支撑板安装到多线切割机上，进行晶体的多线切割。
一种晶体切割控制几何参数均匀方法

[实用新型]一种大尺寸晶片化学机械抛光用陶瓷盘-CN202223506664.4有效
发明人：陈奇;阙晓丽;马宁;汪世峰;王胜;胡俊峰 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大尺寸晶片化学机械抛光用陶瓷盘，包括陶瓷盘基底，从陶瓷盘基底上表面自陶瓷盘基底中心开始沿半径方向依次镀上或粘接导热圆A，导热环A/B，导热环B，导热环B/C，导热环C，导热环C/树脂；所述导热环A/B、导热环B、导热环B/C、导热环C、导热环C/树脂为同心的圆环形，所述导热圆A与所述的圆环形同心；所述的导热圆A、导热环A/B、导热环B、导热环B/C、导热环C、导热环C/树脂导热系数逐渐降低。可用于大尺寸晶片化学机械抛光的大批量稳定生产。
一种尺寸晶片化学机械抛光陶瓷

[实用新型]一种检验校正长晶炉温场与感应线圈等距同心的器具-CN202222973414.5有效
发明人：冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01N25/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种检验校正长晶炉温场与感应线圈等距同心的器具，包括检验校正单件，所述的检验校正单件包括呈弧形的发热筒靠山板，发热筒靠山板的左右两侧设置左右支撑插板，左右支撑插板之间设置连接板，左右支撑插板的内侧设置活动卡板，所述的活动卡板上沿其板宽方向开设第一连接槽，第一连接槽的槽宽等于感应线圈的厚度，发热筒靠山板的外侧与活动卡板的内侧形成第二连接槽。保证晶体生长过程中温场温度的一致性，进而保证晶体生长质量。
一种检验校正炉温感应线圈等距同心器具

[实用新型]一种手动刷洗衬底片器具-CN202222976333.0有效
发明人：马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种手动刷洗衬底片器具，包括刷洗底盘，靠近刷洗底盘的边缘设置支撑固定座，所述的支撑固定座包括前后两组，前组支撑固定座上设置刷洗轴前支撑，后组支撑固定座上设置刷洗轴后支撑，刷洗轴前支撑与刷洗轴后支撑之间架置有转动刷洗轴，转动刷洗轴上设置海绵滚筒刷；海绵滚筒刷的下方设置转盘，转盘上放置陶瓷盘，转动刷洗轴的一端设置驱动其转动的驱动机构，转动刷洗轴的转动带动海绵滚筒刷紧贴陶瓷盘同步转动。是一款适用性强，操作简单的手动刷洗器具，既节约了成本，让衬底片表面颗粒物大幅减少。
一种手动刷洗衬底器具

[实用新型]一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装-CN202221794116.3有效
发明人：冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： D06H7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，包括放置石墨毡制品圆料的工作台，工作台上方设置裁割单元，所述的裁割单元包括圆环定位圈板，圆环定位圈板的外周设置限位块，圆环定位圈板的上板面上设置支撑骨架，支撑骨架上架置有旋转切割机构，所述的旋转切割机构包括与圆环定位圈板同轴心布置的旋转芯轴，旋转芯轴的下端位于圆环定位圈板的上方，旋转芯轴的下端横置有旋转杠杆，旋转杠杆上设置刀片固定架，刀片固定架上设置刀片，所述的刀片沿刀片固定架高度方向可调，刀片侧设置紧固螺栓。
一种碳化硅石墨制品制作工装

[实用新型]一种坩埚起吊夹具-CN202221589498.6有效
发明人：冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B66C1/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种坩埚起吊夹具，包括第一L形活动臂和第二L形活动臂，第一L形活动臂的弯折处设置铰接端，第二L形活动臂的一自由边铰接于该铰接端，第二L形活动臂的另一自由边可自由转动至第一L形活动臂的竖置自由边的相对面；且第二L形活动臂、第一L形活动臂的相对面上设置夹钳；所述的铰接端设置活动臂限位锁定单元。本实用新型夹具适用半导体材料生产制备工况的坩埚，打开本实用新型夹具可以自上而下夹持在坩埚外侧壁，也可以从侧面直接夹持坩埚外侧壁。这样，通过本实用新型夹具将坩埚从发热筒中取出，不会破坏坩埚内的温藏，且操作简便，避免双手直接接触坩埚，从而有效避免烫伤的安全事故。
一种坩埚起吊夹具

[发明专利]一种碳化硅晶圆双面研磨中双面去除量的测定方法及应用-CN202210995865.0在审
发明人：冯玉冰;马宁;王胜;顾仁军;汪世峰;胡俊锋;严芹 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种碳化硅晶圆双面研磨中双面去除量的测定方法及应用。其中，测定方法，包括下述步骤：(1)待测碳化硅晶圆切割片，进行大角度倒边，所述的大角度大于40°；(2)测量倒边后的碳化硅晶圆片的双面倒边弧对应弦长度值；(3)倒边后的碳化硅晶圆片在双面研磨设备上，进行晶圆双面研磨加工；(4)双面研磨工艺完成后，取下研磨晶圆片，测量研磨后的双面倒边弧对应弦长度值；(5)根据双面研磨前后倒边弧对应弦长度值，准确计算晶圆双面去除量。
一种碳化硅双面研磨去除测定方法应用

[实用新型]一种手动式碳化硅温场制作工装-CN202221794145.X有效
发明人：冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种手动式碳化硅温场制作工装，包括放置石墨毡的工作台，工作台上方设置分割单元，所述的分割单元包括压板，压板的上面的中心位置立置有定芯轴，定芯轴上转动铰接有旋转连接杆，旋转连接杆的自由端设置刀片固定架，刀片固定架上开设安装槽，安装槽中设置有刀片，所述的刀片位于安装槽中上下可调，安装槽上设置紧锁螺栓；刀片固定架的上面立置有手柄。得到的石墨毡制品尺寸大小一致、切口角度一致，进而保证碳化硅温场保温效果的一致，工艺的可重复性高，保证晶体生长的稳定。
一种手动式碳化硅制作工装

[实用新型]一种半自动石墨毡分割器-CN202221794153.4有效
发明人：冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B65H35/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半自动石墨毡分割器，包括左右两侧对称设置的U形支架，U形支架的U型口朝上，U形支架的U型口上架置有轴承，轴承之间架置有碳毡简芯轴，U形支架之间位于碳毡简芯轴的下方设置分割单元；所述的分割单元包括底板，底板上设置与所述的碳毡简芯轴平行设置的两组导向滚筒，导向滚筒与底板之间的间距等于石墨毡的厚度，底板的两侧设置左右挡板，左右挡板的间距等于石墨毡原料的宽度，两组导向滚筒之间设置刀架杆，所述的刀架杆与所述的导向滚筒平行布置，刀架杆上沿其杆长方向设置多组刀架，所述的刀架与刀架杆之间设置锁紧单元。
一种半自动石墨分割

[实用新型]一种数显坩埚开盖固定环形夹具-CN202221589479.3有效
发明人：冯玉冰;马宁;吴明森;郑红贤;刘林 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种数显坩埚开盖固定环形夹具，包括固定于工装台上的坩埚固定环形夹，坩埚固定环形夹上方设置坩埚开盖环形夹；所述的坩埚固定环形夹包括环形夹底盘，环形夹底盘上立置有插销，插销上转动铰接有下哈呋环，下哈呋环与环形夹底盘之间设置垫块，下哈呋环的下环面紧贴垫块布置，下哈呋环的对接端设置下锁紧单元，所述的下锁紧单元之间设置下锁紧螺钉，所述的下锁紧螺钉的拧端设置下数显扭力扳手；所述的坩埚开盖环形夹包括与所述的插销平行设置的圆柱销，圆柱销上转动铰接有上哈呋环，上哈呋环的对接端设置上锁紧单元，所述的上锁紧单元之间设置上锁紧螺钉，所述的上锁紧螺钉的拧端设置上数显扭力扳手；坩埚开盖环形夹上设置旋动手柄。
种数坩埚固定环形夹具

[实用新型]一种手持式坩埚夹具-CN202120300415.6有效
发明人：郑建生;吴明森;方筱燕;邵治宇 -专利权人： 合肥露笑半导体材料有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B65G7/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及工装夹具技术领域，公开了一种手持式坩埚夹具，包括定把手、动把手，所述定把手的左端与动把手的左端转动连接，所述定把手的右端向下弯折延伸形成定夹臂，所述动把手的左端向下弯折延伸形成动夹臂，所述定夹臂、动夹臂的下端均设有坩埚夹持块，所述坩埚夹持块呈弧形，所述坩埚夹持块的外弧面上固定有连接座，两个坩埚夹持块上的连接座与定夹持臂、动夹持臂一一对应转动连接。本实用新型具有结构简单、使用方便、夹持稳定的有益效果。
一种手持坩埚夹具

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