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[发明专利]一种半导体光滑表面缺陷检测系统及方法-CN202310855811.9有效
发明人：郑飞;洪敬柱;吴绪波;何海双;陈志强 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体光滑表面缺陷检测系统及方法，属于半导体产品检测技术领域。本发明包括相机组件和光源组件，以及与相机组件相互传输信息的分析设备，光源组件包括多个灯珠，灯珠绕相机组件为中心周向阵列呈圆环形；灯珠划分为多组；光源组件中每组灯珠点亮照射待检样品；控制每组灯珠点亮照射待检样品，每一组灯珠点亮时，相机组件均拍摄一张待检样品的图像，并将图像发送给工控机；根据从相机组件获取的多张图像并根据每组灯珠的方位通过多图合成方法合成一张用于检测样品缺陷的图像，通过该图像根据缺陷处的灰度进行缺陷检测判断。通过合成一张图增强缺陷在图像上的效果，从而检测半导体光滑表面缺陷，并降低漏检率与误检率。
一种半导体光滑表面缺陷检测系统方法

[实用新型]一种引线框架多维检测装置-CN202321691208.3有效
发明人：郑飞;刘桂宝;张祥明 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种引线框架多维检测装置，属于半导体配件检测技术领域，包括平面检测机构和高度测量机构，所述平面检测机构和所述高度测量机构集成安装在一体化检测支架上；所述平面检测机构包括第一相机，用于检测所述引线框架平面尺寸；所述第一相机垂直固定在所述一体化检测支架的升降机构上，跟随所述升降机构上下移动；所述高度测量机构包括至少一个第二相机，用来检测所述引线框架的高度尺寸；所述第二相机倾斜固定在所述一体化检测支架的旋转机构上，跟随所述旋转机构转动。本实用新型引线框架多维检测装置不仅能够大大缩短检测时间，提高生产效率；而且能够有效降低设备工装使用量，节约成本。
一种引线框架多维检测装置

[实用新型]一种虚拟双目检测装置-CN202321071882.1有效
发明人：荣双全;许进;郑飞 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种虚拟双目检测装置，属于表面检测领域。一种虚拟双目检测装置，用于对待检测物体进行成像检测，包括：用于产生成像检测的光线的光源；两个并排设置的成像组件，用于接收光线并进行成像；位于所述光源和成像组件之间的光路偏折组件，用于接收待检测物体表面反射的光线并进行折射，使主光线平行射入成像组件。其通过光路偏折组件和成像组件的配合，不需倾斜设置两个成像组件便可以对半导体芯片管脚进行三维维度的检测，同时还可以对芯片封装上的2D字符进行2D检测，缩小了检测装置整体的体积，使得整体结构更加紧凑。
一种虚拟双目检测装置

[发明专利]一种芯片字符检测方法、装置、计算机设备及存储介质-CN202310892133.3有效
发明人：郑飞;孙峰 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G06V30/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片字符检测方法、装置、计算机设备及存储介质，属于芯片生产测试技术领域。针对现有技术中存在的在芯片字符检测时字符模糊扭曲导致检测精准度低等问题，本发明通过对黄金模板图像和字符测试图像预处理后获取预处理后的黄金模板图像上前景白点个数，计算获得预处理后的黄金模板图像和预处理后的字符测试图像之间的差异点进而选择出有效点个数，遍历坐标链表数组判断有效点在边缘图像上的波动性，统计波动次数，由此，利用得到的有效点个数、波动次数以及前景白点个数判断字符测试图像是否为字符正常图像，实现快速精确地检测芯片字符，提高芯片字符的识别效率，推进芯片生产及测试设备实现自动化检测，提升芯片产品质量。
一种芯片字符检测方法装置计算机设备存储介质

[发明专利]基于条纹投影3D成像的料盘内芯片形态的检测方法-CN202110801601.2有效
发明人：洪敬柱;李林林;郑飞 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于条纹投影3D成像的料盘内芯片形态的检测方法,其技术方案要点是成像采用离焦条纹投影技术和双目视觉相机标定技术降低误检率漏检率，解决生产中出现的空料、翘料、叠料等问题，同时使用三步相移算法及解包裹算法，获取较为完善的3D点云图像。使用误差补偿算法和滤波算法，将3D图像处理的更加完善。使用缺陷检测算法，筛选3D图片中的缺陷；设置四个相机，视野范围铺满整个料盘，一次检测即可解决整个料盘的问题。相比较2D检测方案速度更快。满足了客户需求，同时设计了一种全新的3D检测方法，本检测方法具备检测料盘内是否有产品和料盘内产品位置是否正确的3D检测功能，大大降低误检率和漏检率。
基于条纹投影成像料盘内芯片形态检测方法

[实用新型]一种塑封体四面检测光源-CN202321030913.9有效
发明人：鲁华武 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种塑封体四面检测光源，属于检测设备技术领域。本实用新型包括依次连接在一起的可拆卸组件、中间限光板、电路板和光源底板，所述的中间限光板、电路板和光源底板固定连接，且固定在基台中；本实用新型通过将光源设备拆分成可拆卸安装的两部分，将无需更换的部分固定在基台中，将需要根据塑封体尺寸更换的部分可拆卸的与固定部分连接，在需要更换时，从侧边将可拆卸部分与中间限光板分离，即可从侧边将散光板和顶部限光板拆出进行更换，不同开口和结构的散光板和顶部限光板可以兼容更多种类的塑封体尺寸，降低成本，增加模组的的使用范围，提高单款模组的兼容性；同时方便工作人员快速更换，降低操作难度。
一种塑封四面检测光源

[发明专利]一种双目视觉图像半全局匹配方法-CN202311009580.6在审
发明人：郑飞;郎斯喆;林贵成 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双目视觉图像半全局匹配方法，属于半导体检测技术领域。由于现有的匹配方法不能适应芯片引脚等表面光滑的物体的检测，本发明的一种双目视觉图像半全局匹配方法，通过选取图像的特征点，再对待匹配图像进行两次特征点的匹配，去除掉一次匹配中的噪声点，进而保证了特征点与匹配点的对应性，从而有效去除匹配效果欠佳的匹配点，提高匹配精度。
一种双目视觉图像全局匹配方法

[实用新型]一种晶圆缺陷检测装置-CN202320940904.7有效
发明人：刘桂宝;张祥明;刘圣祥 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆缺陷检测装置，属于晶圆检测技术领域。针对现有技术中存在的相机检测晶圆覆蓝膜后的表面质量和切割质量效率低下、检测不全面等问题，本实用新型提供的一种晶圆缺陷检测装置，在标定环上等距设置若干个标定板，标定环连接散光板，标定板、标定环以及散光板组成标定装置，电路板固定设置在第二光源零件上，电路板、第二光源零件组成背光装置，第一光源零件的一端连接所述标定装置，第一光源零件的另一端连接背光装置，标定装置、第一光源零件以及背光装置组成晶圆缺陷检测装置。通过将标定板固定在标定环上避免反复标定相机与晶圆的位置关系，从而节约检测时间，有效提高检测效率。
一种缺陷检测装置

[发明专利]一种基于光栅投影的芯片外观检测装置和方法-CN202310595408.7在审
发明人：郑飞;洪敬柱;陈志强;吴绪波;何海双 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光栅投影的芯片外观检测装置和方法，属于芯片检测技术领域，检测装置，包括数字投影设备、工业相机和工业相机镜头，数字投影设备的投影视野与工业相机的拍摄视野交叉形成公共视野，芯片位于公共视野中。检测方法包括以下步骤：搭建结构光三维测量系统，并标定系统参数；投影编码结构光图案到芯片表面，捕获变形的光栅图案，计算机处理条纹图像，结合标定系统参数获取芯片三维数据；映射芯片点云至二维图像，获取散热片和引脚位置的三维数据；细分引脚区域的点云，并分别与散热片所在平面比较，完成共面度和站立度指标的测量。本发明可以实时、全面和准确地对芯片外观进行检测。
一种基于光栅投影芯片外观检测装置方法

[实用新型]一种双镜头成像模组-CN202321354763.7有效
发明人：郑飞;荣双全;许进 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03B17/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双镜头成像模组，属于表面检测领域，其包括并排设置的两组由相机和镜头组成的成像组件，以及与成像组件相对设置的偏转棱镜，还包括与所述镜头和偏转棱镜连接的基座，基座具有至少接收光线一侧开口的内腔，和设置在内腔中限位偏转棱镜的压板，压板将内腔分为配合镜头接收成像光线的成像腔，和用于安装偏转棱镜的安装腔，压板上开设有通槽，以连通所述成像腔和安装腔。本实用新型中的双镜头成像模组，通过基座将成像组件和偏转棱镜连为一体，并且把棱镜置于基座的内腔中，提升了整体成像部分的密封性和防尘效果，并且一体化的结构设计，可以改善传统棱镜组件不稳定造成的误差，从而进一步提升成像系统的稳定性和整体性。
一种镜头成像模组

[发明专利]芯片引脚外观识别方法、装置、计算机设备及存储介质-CN202310624497.3有效
发明人：郎斯喆;郑飞 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G06V10/75 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片引脚外观识别方法、装置、计算机设备及存储介质，属于半导体检测技术领域。针对现有技术中存在的pin1引脚外观和其他引脚外观区分难度大等问题，本发明通过设定当前点，计算模板图像曲线上每个点的径向方向，通过当前点和径向方向确定径向直线，计算引脚感兴趣区域图像曲线与径向直线的拟合点，计算当前点和拟合点的欧式距离，累加当前点和拟合点的欧式距离，通过判断当前点和拟合点的欧式距离的大小从而确定引脚感兴趣区域图像中的引脚是否为pin1引脚，由此，当pin1引脚和其他引脚外观区分度很小并且在加工造成的引脚边缘轻微变形的情况下可以快速、鲁棒的检测出pin1引脚。
芯片引脚外观识别方法装置计算机设备存储介质

[实用新型]一种双相机视觉检测装置-CN202320634730.1有效
发明人：荣双全;刘圣祥;郑飞 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双相机视觉检测装置，属于光学系统技术领域。针对现有技术中存在的双相机视觉检测装备不能满足大景深、高精度视觉检测问题，本实用新型提供了一种双相机视觉检测装置，通过将第一相机设置于双远心镜头一端，将环形光源设置于双远心镜头另一端，将第二相机设置于双远心镜头一侧，将点光源设置于双远心镜头另一侧，从而使得双远心镜头、第一相机以及第二相机模拟双光路进行景深叠加，实现对芯片金线进行大景深、高精度检测，有效提高芯片金线的检测效率和识别精度。
一种相机视觉检测装置

[发明专利]一种晶圆缺陷检测装置及检测方法-CN202310446688.5在审
发明人：刘桂宝;张祥明;刘圣祥 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆缺陷检测装置及检测方法，属于晶圆检测技术领域。针对现有技术中存在的相机检测晶圆覆蓝膜后的表面质量和切割质量效率低下、检测不全面等问题，本发明提供的一种晶圆缺陷检测装置及检测方法，在标定环上等距设置若干个标定板，标定环连接散光板，标定板、标定环以及散光板组成标定装置，电路板固定设置在第二光源零件上，电路板、第二光源零件组成背光装置，第一光源零件的一端连接所述标定装置，第一光源零件的另一端连接背光装置，所述标定装置、第一光源零件以及背光装置组成晶圆缺陷检测装置。通过将标定板固定在标定环上避免反复标定相机与晶圆的位置关系，从而节约检测时间，有效提高检测效率。
一种缺陷检测装置方法

[实用新型]一种光学镜头-CN202320265996.3有效
发明人：荣双全;郑飞 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学镜头，属于光学系统技术领域。针对现有技术中存在的利用普通镜头拍摄的成像质量不能很好地解决倾斜拍摄等问题，本实用新型提供了一种光学镜头，沿光轴从物面至像面的方向依次为具有正光焦度的第一球面透镜、具有负光焦度的第二球面透镜、具有负光焦度的第三球面透镜、光阑以及具有正光焦度的第四球面透镜，所述第二球面透镜为胶合组透镜，所述胶合组透镜由平凸透镜和平凹透镜组成，所述光学镜头的光学后截距m≥60mm。由此，本实用新型提供的一种光学镜头景深大、长后截距、分辨率高，可以对整个倾斜视野范围清晰成像。
一种光学镜头

[发明专利]晶圆暗场检测装置及检测方法-CN202211477409.3在审
发明人：郑飞;李盘宇;李林林 -专利权人： 合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆暗场检测装置及检测方法，检测装置包括：固定组件、调节组件、成像组件和光源组件，固定组件包括第一固定件、第二固定件和多个第三固定件，调节组件包括实现成像组件在第一平面移动的第一调节件和实现光源组件在第二平面移动的第二调节件，光源组件包括多个线型光源和多个光源连接件，线型光源通过光源连接件固定在第三固定件上，用以向待检测晶圆提供光源，成像组件采集待检测晶圆的图像，并将图像传输至计算机，以便计算机进行图像分析并判定晶圆缺陷类型。该装置可方便快速调整角度来适应晶圆不同缺陷所需的光源角度，并且搭配成像组件(如线扫相机)可以提升检测数据的采集速度，缩短晶圆检测时间，提高检测精度。
暗场检测装置方法

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