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[发明专利]一种半导体光滑表面缺陷检测系统及方法-CN202310855811.9有效
发明人：郑飞;洪敬柱;吴绪波;何海双;陈志强 -专利权人：合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体光滑表面缺陷检测系统及方法，属于半导体产品检测技术领域。本发明包括相机组件和光源组件，以及与相机组件相互传输信息的分析设备，光源组件包括多个灯珠，灯珠绕相机组件为中心周向阵列呈圆环形；灯珠划分为多组；光源组件中每组灯珠点亮照射待检样品；控制每组灯珠点亮照射待检样品，每一组灯珠点亮时，相机组件均拍摄一张待检样品的图像，并将图像发送给工控机；根据从相机组件获取的多张图像并根据每组灯珠的方位通过多图合成方法合成一张用于检测样品缺陷的图像，通过该图像根据缺陷处的灰度进行缺陷检测判断。通过合成一张图增强缺陷在图像上的效果，从而检测半导体光滑表面缺陷，并降低漏检率与误检率。
一种半导体光滑表面缺陷检测系统方法

[发明专利]一种基于光栅投影的芯片外观检测装置和方法-CN202310595408.7在审
发明人：郑飞;洪敬柱;陈志强;吴绪波;何海双 -专利权人：合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光栅投影的芯片外观检测装置和方法，属于芯片检测技术领域，检测装置，包括数字投影设备、工业相机和工业相机镜头，数字投影设备的投影视野与工业相机的拍摄视野交叉形成公共视野，芯片位于公共视野中。检测方法包括以下步骤：搭建结构光三维测量系统，并标定系统参数；投影编码结构光图案到芯片表面，捕获变形的光栅图案，计算机处理条纹图像，结合标定系统参数获取芯片三维数据；映射芯片点云至二维图像，获取散热片和引脚位置的三维数据；细分引脚区域的点云，并分别与散热片所在平面比较，完成共面度和站立度指标的测量。本发明可以实时、全面和准确地对芯片外观进行检测。
一种基于光栅投影芯片外观检测装置方法

[实用新型]一种单镜头芯片引脚3D检测系统-CN202220431383.8有效
发明人：郑飞;洪敬柱;何海双 -专利权人：合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单镜头芯片引脚3D检测系统，属于半导体检测技术领域，包括：光源组件、棱镜组件、相机组件、固定板组件和安装组件；其中，相机组件包括一个相机和一个镜头；其中，所述光源组件设置在固定板组件底部，所述相机组件设置在所述固定板组件顶部，所述棱镜组件设置在所述光源组件、所述相机组件之间，所述固定板组件与所述安装组件滑动连接。利用单相机与棱镜搭建双目立体视觉系统，既能避免传统单目相机计算3D数据精度低，又能解决基于现场机台空间狭小的问题，在保证检测精度的基础上，降低硬件经济成本。
一种镜头芯片引脚检测系统

[发明专利]基于单镜头的芯片引脚翘曲的3D检测方法及系统-CN202210194591.5在审
发明人：郑飞;洪敬柱;何海双 -专利权人：合肥图迅电子科技有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于单镜头的芯片引脚翘曲的3D检测方法及系统，其中方法包括：通过光源组件、棱镜组件、相机组件和工控机搭建双目视觉检测模型，其中，相机组件包括一个相机和一个镜头；棱镜组件在光源组件开启时，将芯片引脚的第一侧和第二侧反射至镜头；相机采集镜头中的芯片引脚反射成像并将获得的芯片引脚图像发送给工控机，其中，芯片引脚图像包括芯片引脚第一侧图像和第二侧图像；工控机接收芯片引脚图像并进行处理，获得芯片引脚三维视图，并根据芯片引脚三维视图判断引脚是否翘曲。本发明利用单相机搭建的双目立体视觉系统进行检测，既能避免传统单目相机计算3D数据精度低，又解决现场空间狭小的问题，降低了硬件成本。
基于镜头芯片引脚检测方法系统

[发明专利]基于微分变换的数控机床在机测量系统综合误差补偿方法-CN201910011892.8有效
发明人：杨洪涛;李莉;陈邦晟;范禄源;张宇;何海双 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G05B19/404 文献下载
摘要：本发明公布了一种基于微分变换的数控机床在机测量系统综合误差补偿方法，应用于在机测量误差补偿领域，包括对在机测量各运动部件的误差进行分析，并将误差等效成相对于理想矩阵的微分算子。为了实现利用机床本体的三轴运动补偿各项误差，将传统机床多体系统建模中刀具与工件运动链，简化成沿单一方向传递运动链，并计算各运动部件之间的矩阵关系，最终推导出在机测量系统的综合误差模型。利用矩阵之间的传递关系将各刚体误差等效成机床本体三轴的线性误差，利用三轴机床的联动，对测量系统的光栅热误差、示值误差、导轨系统的阿贝误差、测头系统的安装误差进行补偿。此种建模精度更高、更符合在机测量的实际工况，能够较好消除在机测量系统中多误差源的影响，提高在机测量系统的测量精度。
基于微分变换数控机床测量系统综合误差补偿方法

[发明专利]一种基于菲涅尔透镜的聚光装置-CN201810907764.7有效
发明人：张铈岱;何海双;庞勇军 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： F24S23/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于菲涅尔透镜的聚光装置，由菲涅尔透镜、光电传感器、散热片、冷却管、循环泵、水箱、电机、传动装置、控制芯片等部件构成。整体装置固定于基础之上，根据各地区的纬度，与水平面形成特定的角度，仅菲涅尔透镜阵列按特定的速度做横向、纵向的两轴联动进行追日跟踪，始终保持阳光聚焦于单个或多个聚光目标物之上。底部的换热装置可将目标物因聚光而产生的热量传递给冷流体。该装置对基础的要求更加灵活，对传动和驱动装置的载荷大幅降低，可有效地提升追日跟踪精度，成本也可更加低廉，对施工、校准、后期维护都更加便捷。
一种基于菲涅尔透镜聚光装置

[实用新型]新型多功能测控一体化教学实验平台-CN201920530891.X有效
发明人：张宇;杨洪涛;范禄源;何海双;张荣荣;徐傲 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G09B23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型多功能测控一体化教学实验平台，包括光栅尺固定支架、接近开关固定板、光栅读数头衔接板、导轨，所述光栅尺固定支架上安装有光栅传感器，所述光栅读数头衔接板两端分别连接光栅传感器、滑台载物板，所述滑台载物板上放置有压力传感器，所述接近开关固定板上安装有电感式接近开关，所述导轨底面上安装有温度传感器，导轨两侧安装有直动型限位开关。本实用新型通过安装在丝杠滑台周围的多个传感器实现不同性质物理量的多参数同步测量和数据无线传输，弥补了传统测试仪器的缺陷；通过在一维工作台上设置两种限位开关实现滑台的超行程报警、自动循环往复运动，便于调试和使用，有良好的经济效益和社会效益，适合推广使用。
导轨滑台本实用新型光栅传感器光栅读数头固定支架接近开关限位开关固定板光栅尺衔接板载物板物理量电感式接近开关数据无线传输循环往复运动传感器实现温度传感器一体化教学传统测试实验平台同步测量超行程多参数丝杠滑有压力传感器直动测控调试报警

[发明专利]一种测量拨叉孔轴线位置度的气动装置-CN201910446709.7在审
发明人：张荣荣;杨洪涛;何海双;张宇;范禄源;徐傲 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：一种测量拔叉孔轴线位置度的气动装置。主要包括：气动塞规、系统安装支架、机电传动结构、物理检测设备和数据采集装置。所述气动塞规进行测量时是将压力的变化量转换成尺寸量或位移量，从而实现对拨叉孔直径的测量；所述系统安装支架主要用于各电气设备的安装；所述机电传动结构主要用于实现丝杠滑台等一系列机械结构的传动；所述物理检测设备主要用于检测拨叉空间定位时的压力、气动塞规测量时气压；所述数据采集装置主要用于采集拨叉空间定位时的压力、气动塞规测量时的气压。本发明结构简单、操作方便、能实现测量过程中的自动定位、自动测量以及数据的自动处理。
测量气动塞规机电传动结构数据采集装置空间定位气动装置物理检测系统安装拨叉孔拨叉支架气压变化量转换测量过程电气设备机械结构轴线位置自动测量自动处理自动定位孔轴线丝杠滑位移量位置度拔叉传动采集检测

[发明专利]一种基于视觉的移动支架-CN201910389248.4在审
发明人： 何海双;訾保威;张荣荣;张宇 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于视觉的移动支架，它包括带底座的支架主体，支架主体上设有控制面板、摇臂结构和夹持移动装置的夹具，它还设有检测模块和运动控制模块，所述的摇臂结构与所述的夹具之间设有万向关节，所述的摇臂结构与支架主体之间设有能够控制摇臂结构转动的驱动电机，所述的控制面板包括若干个控制按键，所述的检测模块包括设在夹具下方的相机组件和设在立柱上的人体感应组件，所述的相机组件和人体感应组件将处理的距离信号转换为电信号输入到控制电路，所述的控制电路连接设在底座和摇臂上的驱动电机的运动控制模块，并控制驱动电机转动，从而控制摇臂转动且带动底座跟随人体移动，从而达到最舒适的姿势观看移动设备。
夹具摇臂结构支架主体底座转动人体感应组件运动控制模块检测模块控制电路控制面板控制摇臂驱动电机相机组件移动支架视觉夹持移动装置控制驱动电机电信号输入距离信号控制按键人体移动万向关节移动设备立柱摇臂姿势转换观看

[发明专利]新型多功能测控一体化教学实验平台-CN201910314027.0在审
发明人：杨洪涛;张宇;范禄源;何海双;张荣荣;徐傲 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G09B23/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型多功能测控一体化教学实验平台，包括光栅尺固定支架、接近开关固定板、光栅读数头衔接板、导轨，所述光栅尺固定支架上安装有光栅传感器，所述光栅读数头衔接板两端分别连接光栅传感器、滑台载物板，所述滑台载物板上放置有压力传感器，所述接近开关固定板上安装有电感式接近开关，所述导轨底面上安装有温度传感器，导轨两侧安装有直动型限位开关。本发明通过安装在丝杠滑台周围的多个传感器实现不同性质物理量的多参数同步测量和数据无线传输，弥补了传统测试仪器的缺陷；通过在一维工作台上设置两种限位开关实现滑台的超行程报警、自动循环往复运动，便于调试和使用，有良好的经济效益和社会效益，适合推广使用。
导轨滑台光栅传感器光栅读数头一体化教学固定支架接近开关实验平台限位开关固定板光栅尺衔接板载物板测控物理量电感式接近开关数据无线传输循环往复运动传感器实现温度传感器传统测试同步测量超行程多参数丝杠滑有压力传感器直动调试报警

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