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[发明专利]原子层沉积装置和原子层沉积方法-CN202210319589.6在审
发明人：周向前 -专利权人： 前微科技（上海）有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子层沉积装置和原子层沉积方法，原子层沉积装置包括第一反应床主体、第二反应床主体、一对第一高压装置、一对第二高压装置和一对工作装置，第一反应床主体和第二反应床主体沿第一方向相对间隔设置，待加工件可操作地位于第一反应床主体和第二反应床主体之间，且可操作地沿第二方向移动；第一高压装置和第二高压装置分别具有第一出气口和第二出气口，各第一出气口和各第二出气口沿第一方向相对设置；工作装置具有目标气体出口，一对工作装置的两个目标气体出口沿第一方向相对间隔设置。通过第一高压装置和第二高压装置所喷射出的气体能够沿夹持住待加工件，因此第一高压装置和第二高压装置不用与待加工件直接接触污染待加工件。
原子沉积装置方法

[实用新型]一种电缆及采用该电缆的用电设备-CN202221917795.9有效
发明人：周向前 -专利权人： 前微科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电缆及采用该电缆的用电设备。所述电缆包括沿相同方向并行延伸并且相互绝缘的至少一对导线，每对所述导线中的两根导线沿电缆延伸方向各自卷绕前进且卷绕方向相反。通电时每对导线中的电流方向相反，使得每对导线中的两根导线产生的感应磁场方向相反，从而实现所述电缆周围磁场的降低。本实用新型可以消除众多应用场景中电缆中的电流带来的周围磁场，从而达到减少其影响电缆周围人们的身体健康和对周围其他装置的磁场干扰的效果。
一种电缆采用用电设备

[发明专利]操作装置与两个工件之间的分布式间距补偿方法-CN202210146129.8在审
发明人：周向前 -专利权人： 前微科技（上海）有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种操作装置与两个工件之间的分布式间距补偿方法，涉及测量和控制技术以及精密制造技术领域。操作装置包括：控制系统、至少一个间距补偿单元、第一支撑层、操作工件以及多个传感器；传感器用于测量操作工件与被测工件待操作表面上的对应位置之间的距离；控制系统用于根据各传感器测量得到的距离，控制各间距补偿单元对操作工件上对应的目标部分与被测工件之间的距离进行调整，以使操作工件与被测工件相对的两个面的形状匹配；目标部分为操作工件与间距补偿单元重叠的部分。本发明中，使得操作工件的下表面与被测工件的待操作表面之间的距离保持相对一致，便于操作工件对被测工件进行测量或加工等操作，提升了操作工件的测量和加工精度。
操作装置两个工件之间分布式间距补偿方法

[发明专利]操作装置与两个工件在相对运动中的间距补偿方法-CN202210138238.5在审
发明人：周向前 -专利权人： 前微科技（上海）有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G05B19/404 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种操作装置与两个工件在相对运动中的间距补偿方法，涉及测量、控制以及精密加工技术领域。操作装置中，控制系统控制第一工件组合体与第二工件组合体在第一方向上相对运动并带动第一传感器运动到目标测量位置，通过第一传感器测量第一工件组合体与第二工件组合体之间的第一距离；控制系统控制第一工件组合体与第二工件组合体在第一方向上相对运动并带动第二传感器运动到目标测量位置，通过第二传感器测量第一工件组合体与第二工件组合体之间的第二距离；控制系统基于第一距离减去第二距离的第一差值，生成控制信号；间距补偿装置根据控制信号调整第一工件组合体与第二工件组合体之间在第二方向上的垂直间距。本发明提升了操作装置的测量或加工精度。
操作装置两个工件相对运动中的间距补偿方法