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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]光刻光源装置和光刻机-CN202321287017.0有效
  • 李海虹;初守庆 - 广东中图半导体科技股份有限公司
  • 2023-05-25 - 2023-10-27 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种光刻光源装置和光刻机，属于光刻机技术领域。光刻光源装置包括承载架，承载架包括环形主体、第一安装座和若干个沿所述环形主体径向延伸的连接导杆，所述连接导杆的第一端与所述环形主体的内壁面连接，所述连接导杆的第二端与所述第一安装座的外壁面连接，所述第一安装座用于安装第一LED光刻光源；若干个第二安装座，滑动设置于所述连接导杆上，所述第二安装座用于安装第二LED光刻光源；聚散度调节组件与若干个所述第二安装座传动连接，用于驱动若干个所述第二安装座同时靠近或远离所述第一安装座。本实用新型能够调节光源的发散度，使得经过曝光后光刻胶组成图案的厚度均匀，提高产品的良品率。
  • 光刻光源装置
  •  1 
  • 共 1 条
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