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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种安装工具-CN201920652370.1有效
发明人：魏远哲;刘焰平 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种安装工具，用于静电吸盘的安装，安装工具包括：一环形架，环形架上设有多个安装孔，多个安装孔沿环形架的周向均匀设置；多个挂钩，均布于环形架的周向外侧，挂钩包括钩挂部，多个挂钩的钩挂部朝向环形架的同一面；一环形凸缘，设置于环形架与钩挂部同向的一面的外沿。本实用新型技术方案的有益效果在于：提供一种静电吸盘的安装工具，使上电极和分气盘之间距离均匀，避免聚合物聚集在缝隙内而影响刻蚀制程的良率。
环形架安装工具钩挂本实用新型静电吸盘安装孔挂钩半导体制造技术周向均匀设置环形凸缘分气盘聚合物同一面电极均布刻蚀良率同向外沿制程

[实用新型]一种拆除工具-CN201821971571.X有效
发明人：魏远哲;刘焰平 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种拆除工具，用于拆除安装在底座上的静电吸盘，其中包括：一环体；环体的内壁下部至少设置一个导向槽，导向槽于环体的内壁的下缘设置一开口，导向槽用以于环体旋转时引导嵌入导向槽中的物体向上运动；环体的上部分设着力点，用以供使用者旋转环体时施力。本实用新型的技术方案有益效果在于：利用环体移除静电吸盘，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。
环体导向槽静电吸盘本实用新型拆除工具拆卸内壁下部向上运动旋转环体不均匀拉伤内壁施力下缘移除底座分设嵌入生产成本着力点背面肌肉开口拆除

[实用新型]一种拆卸工具-CN201720947660.X有效
发明人： 刘焰平;闫文帅;李旋 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-08-01 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拆卸工具，属于半导体制造技术领域，适用于拆卸固定在静电吸盘上的冷硅环，静电吸盘上环设有一通过均布的多个螺钉固定的耦合环，冷硅环设置在耦合环上，拆卸工具包括支架，呈圆筒状，可转动地套设于静电吸盘上；若干拆卸装置，每个拆卸装置包括固定部件和连接固定部件的刮片；刮片用于于对应螺钉的位置插入耦合环和冷硅环之间；固定部件固定于支架的上端面上。上述技术方案的有益效果是环绕静电吸盘设置可转动的支架，将多个拆卸装置的刮片伸入到耦合环和冷硅环之间，再将拆卸装置固定在支架上，通过转动支架使多个刮片同时分离冷硅环和导热胶，拆卸过程中刮片和冷硅环受力均匀不易损坏，减小静电吸盘的维护成本。
一种拆卸工具

[发明专利]电子画板、手写笔及电子画板输入和显示手写信息的方法-CN201410028204.6在审
发明人：朱北海;刘明;刘焰平;庄坤领 -专利权人：国基电子（上海）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：一种电子画板、手写笔及电子画板输入和显示手写信息的方法，用于显示和输入手写信息，包括输入板、手写笔、若干个感应器以及显示设备。通过按压压力感应器产生压力数据以输入所述手写信息，颜色调配器产生颜色数据，微控器将所述压力数据和颜色数据转换为无线信号，对应位置的感应器接收所述无线信号并将所述无线信号转换为控制信号，显示设备用于根据所述控制信号和感应器的位置显示所述手写信息，不需要通过数据线与计算机连接，产品体积小，便于携带，而且具备颜色选择功能，能显示多种颜色。
电子画板手写输入显示信息方法

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