专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果5个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]晶圆的测试方法、测试装置以及晶圆测试系统-CN202211029504.7在审
  • 李维泽;李泽育;黄绍铭;冉薇 - 合肥新晶集成电路有限公司
  • 2022-08-26 - 2022-09-23 - H01L21/66
  • 本申请提供了一种晶圆的测试方法、测试装置以及晶圆测试系统,该方法包括:获取目标折射率,目标折射率为待测晶圆的多晶硅薄膜的折射率,待测晶圆包括控片以及覆盖控片的多晶硅薄膜;至少根据目标折射率以及数据信息,确定待测晶圆的电性数据,其中,数据信息包括多个历史折射率以及对应的历史电性数据,历史折射率为历史多晶硅薄膜的折射率,历史电性数据为包括历史多晶硅薄膜的历史晶圆的电性数据。本申请实现了根据多晶硅薄膜的光学数据确定其电性数据的效果,避免了晶圆流片后再对晶圆进行WAT测试,来确定晶圆多晶硅薄膜的质量,造成多晶硅薄膜质量监控滞后的问题,避免了多晶硅薄膜异常无法及时发现并处理,造成大量不良品的问题。
  • 测试方法装置以及系统

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top