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[发明专利]一种ZTO靶材及其制备方法-CN202310738271.6在审
发明人：侯宇航;周贤界;徐红星;关泽汉;卢晓鹏 -专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种ZTO靶材及其制备方法，属于镀膜材料技术领域。该制备方法为将ZnO粉末和SnO2粉末分别球磨形成各自的浆料；将两种浆料混合，加入去离子水、分散剂和粘结剂，二次球磨混料后，喷雾干燥得到混合造粒粉，进行冷等静压，获得素坯；在真空条件下对素坯进行热压烧结，随炉冷却至室温，获得氧化锌锡靶材半成品；对氧化锌锡靶材半成品进行后处理得到靶材成品。本发明通过用不同的球磨处理得到适当粒径的ZnO和SnO2粉末，同时选择合适的分散剂和粘结剂，分别对两种粉末颗粒进行塑性包裹、表面改性，结合三段热压烧结工艺，得到气孔少、内部组织晶粒均匀细、纯度和致密度高、不容易开裂且机加工性能优良的氧化锌锡陶瓷靶材。
一种 zto 及其制备方法

[发明专利]一种高导电性氧化钛靶材及其制备方法-CN202310204104.3在审
发明人： 关泽汉;周贤界;黄勇彪 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C04B35/46 文献下载
摘要：本发明提供一种高导电性氧化钛靶材及其制备方法，属于半导体光电材料领域。该方法为：将氧化铌和氧化钛粉末混合后加入分散剂和水，球磨、烘干研磨后得到混合粉末颗粒；随后进行煅烧、过筛处理、真空热压烧结，冷却后进行机加工后处理即得。以质量百分比计，所得靶材包括90～99％的TiO2和1～10％的Nb2O5，杂质含量≦0.01％。制备方法原料易得，工艺操作简单，使用常规真空热压烧结及加工设备就能完成大规模的工业化生产。同时所得靶材可用作太阳能电池光电器件和显示屏用的薄膜原材料，导电性良好，内部组织晶粒均匀且细小、纯度高、致密度高，不存在间隙缺陷，不容易开裂，机加工性能优良；在满足良好的镀膜性能的同时，有利改善膜层的导电性和透光率。
一种导电性氧化钛靶材及其制备方法

[发明专利]在纯钆表面形成钆铜合金层的材料及制备方法-CN201510643962.3在审
发明人：吴红艳;黄珂;李胤;张跃文;关泽汉;戚茂伟;张梦玮 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2015-10-08 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明为了提高磁制冷机中磁热材料的耐腐蚀问题，提供一种在纯钆表面形成钆铜合金层的材料及制备方法，本发明方法通过在所镀的铜靶及纯钆位置各加一阴极电源，以腔室为阳极，形成双阴极结构，通过控制铜靶的溅射量及纯钆的温度，从而使铜与钆通过相互扩散实现纯钆表面的合金化，这种自扩散增强了表面涂层与基体的结合，所得到的钆‑铜合金涂层即不影响纯钆的导热性，也提高了表面的耐蚀性。该方法通过在纯钆表面制备一种钆铜合金涂层，不仅提高了合金涂层与基体的结合，而且大幅度提高了钆的表面耐蚀性能，本发明无需大量合金元素参与，制备工艺简单，生产成本低，便于工业化生产。
表面形成铜合金材料制备方法