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- [发明专利]蒸气收集方法及设备-CN200480010895.1有效
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克雷格·A·米勒;尼马尔·K·贾殷;威廉·B·科尔布
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3M创新有限公司
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2004-03-08
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2006-05-24
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F26B13/00
- 用于处理移动的不定长基片(12)的设备(10a)及方法。该设备(10a)具有定位于所述基片(12)的表面(14)附近的控制表面(15),从而在所述控制表面(15)和所述基片(12)之间限定出一控制间隙(G)。第一腔(17)定位于所述控制表面(15)附近,该第一腔(17)具有气体引入装置(21)。第二腔(16a)定位于所述控制表面(15)附近,该第二腔(16a)具有气体排出装置(18a)。所述控制表面(15)和所述两个腔(17、16a)一起限定出一区域,在该区域中,气体的质量流量受到控制,从而显著地减小了对气相组分的稀释程度。通过引入受控气流(M1’),从而由于该系统中的压力梯度而减少了不受控的周围气流的流量,实现了上述目的。
- 蒸气收集方法设备
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