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[发明专利]一种半导体无色镀膜的均匀性检测设备-CN202311025271.8有效
发明人：宁德;周冬;吴唯;田涵湫;傅亦斐;李伟民;王军;李文杰;栗永利;杨春雷 -专利权人：派镀科技（深圳）有限公司
申请日： 2023-08-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明涉及半导体镀膜的技术领域，公开了一种半导体无色镀膜的均匀性检测设备，包括镀膜室和测量室，所述镀膜室和测量室的内部分别设置有靶材a和靶材b，以及与所述靶材a和靶材b对应的半导体托盘和测量托盘。在镀膜室和测量室内创造同等的镀膜条件，包括压力、磁场和气氛状况，并且将测量室中的靶材b替换为有色材料，并且利用同步组件配合连接件同步实现调节半导体托盘和测量托盘的偏转角度，通过在测量室内设置激光器和光电检测器检测有色地靶材b溅射到待测体上的厚度情况，以此得到镀膜室内无色的靶材a对半导体的镀膜厚度情况，进而实时调整同步组件来修正无色镀膜不均匀的问题。
一种半导体无色镀膜均匀检测设备

[发明专利]一种阵列式光电型激光功率计及其制备方法-CN202211429092.6在审
发明人：章文丽;宁德;吴唯;钱玖通;杨春雷;李伟民;冯叶;钟国华;傅亦斐;栗永利;周冬 -专利权人：派镀科技(深圳)有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列式光电型激光功率计及其制备方法，涉及激光功率探测器技术领域，激光功率计包括：从下到上依次叠层设置的衬底、底电极层、吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极层；底电极层与上电极阵列连接，顶电极层与背电极阵列连接；上电极阵列包括多个按照第一方向均匀排列的电极，背电极阵列包括多个按照第二方向均匀排列的电极，第一方向在水平面的投影与第二方向在水平面的投影互相垂直；底电极层包括多个沿第一方向按照第一预设宽度划分的像素区域；窗口层包括多个沿第二方向按照第二预设宽度划分的光电信号采集区域；吸收层的材料为Cu2CdxZn1‑xSnSe4，0x1。本发明提高了激光功率计的探测波长和灵敏度。
一种阵列光电激光功率及其制备方法

[实用新型]一种真空镀膜腔室-CN202222768574.6有效
发明人：宁德;周冬;吴唯;田涵湫;傅亦斐;李伟民;王军;李文杰;栗永利;杨春雷 -专利权人：派镀科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜的技术领域，公开了一种真空镀膜腔室，通过设置腔室本体、底板、圆台、旋转电机、加热元件、可调节支架，腔室本体位于底板上方，与底板可拆卸连接，用于对腔室本体内部的结构进行替换或者调整。旋转电机安装于底板底部，圆台安装于底板上方，旋转电机用于驱动圆台旋转。加热元件设置在底板上方，用于镀膜结束后对腔室内部进行加热稳固。可调节支架用于安装需要镀膜的工件，可调节支架与圆台可拆卸连接，用于对工件进行替换或调整，同时圆台旋转也使得可调节支架上的工件受热更均匀。
一种真空镀膜

[实用新型]一种真空镀膜冷却装置-CN202222765941.7有效
发明人：宁德;周冬;吴唯;田涵湫;傅亦斐;李伟民;王军;李文杰;栗永利;杨春雷 -专利权人：派镀科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： F25B21/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜的技术领域，公开了一种真空镀膜冷却装置，通过在真空镀膜腔体外表面设置导水管及半导体散热片，在不同的温度状态下水冷或水冷加风冷的方式，快速降低真空镀膜腔体表面温度，提高冷却效果，同时，本实用新型采用回收管、回收箱及电磁阀组，有效实现冷却水的循环利用，减少水资源浪费。
一种真空镀膜冷却装置

[实用新型]一种具有防尘功能的真空镀膜设备-CN202221243300.9有效
发明人：宁德;傅亦斐;周冬;王军;李伟民;马明;吴唯;栗永利;杨春雷 -专利权人：派镀科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体的说是一种具有防尘功能的真空镀膜设备，包括主体设备和设置在主体设备内部的对中机构，所述对中机构包括滑动组件；所述滑动组件包括斜槽块、滑动杆及除尘器，通过对产品主体夹持的结构设计,当产品主体进行除尘后，可以进一步的打开第二驱动电机，第二驱动电机驱动通过第二螺纹杆的转动带动连接杆沿第二固定槽的内壁滑动，连接杆的运动通过拉动杆的运动与固定杆的作用带动夹持块对产品主体进行夹持，以使得提高产品主体在镀膜时的稳定性，同时，夹持块的运动与调节可以对不同尺寸的产品主体进行镀膜工作，通过对不同尺寸的产品主体进行镀膜，实现对设备工作灵活性的控制操作。
一种具有防尘功能真空镀膜设备