“倪党生”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果45个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种使用化学蒸汽和化学气体的混合物对集成电路基片进行湿法处理的方法与装置-CN202080079888.6有效
发明人： 倪党生 -专利权人：上海思恩电子信息科技有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明提供一种使用新鲜的化学蒸汽和化学气体的混合物对集成电路（IC）基片进行湿法处理的方法和装置，其可以包括将基片装入具有一个可90o旋转的中段的封闭的工艺腔体（401）；封闭工艺腔体（402）；用预设温度的氮气调节工艺腔体的温度（403）；将新鲜的化学气体和化学蒸汽的混合物按顺序注入工艺腔体，以使得湿法工艺的新鲜化学品现场冷凝（404）；使化学蒸汽或液态化学品的混合物循环，并在工艺腔体内旋转至少一个磁力棒，以均匀地处理基片（405）；对基片进行去离子水冲洗，并在必要时开启可调节的经过多种调制的兆声能量（406）；将溶剂异丙醇蒸汽注入工艺腔体内，以用于Marangoni干燥（408）；在工艺腔体内用热氮气来完全干燥基片和工艺腔体（409）；以及卸下经过处理的基片（410）。
一种使用化学蒸汽气体混合物集成路基进行湿法处理方法装置

[发明专利]均匀刻蚀基片的集成电路芯片湿处理装置及方法-CN201810288503.1有效
发明人： 倪党生 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提出一种均匀刻蚀基片的集成电路芯片湿处理装置及方法，承载体通过圆柱体连接结构挂载在振动装置上；圆柱体连接结构包括设置于振动装置的下端的第一圆柱体、设置于承载体的上端的第二圆柱体，第二圆柱体可转动连接在第一圆柱体上且可相对第一圆柱体上下运动；转动传动机构连接承载体，以带动承载体通过圆柱体连接结构而相对振动装置转动；抖动机构连接承载体，以带动承载体通过圆柱体连接结构而相对振动装置上下抖动，且承载体的上下抖动的范围小于等于第二圆柱体可相对第一圆柱体上下运动的范围。本发明的均匀刻蚀基片的集成电路芯片湿处理装置及方法，可提升基片刻蚀的均匀性。
均匀刻蚀集成电路芯片处理装置方法

[实用新型]一种用于生瓷片分层逐片取料的装置-CN202121318628.8有效
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于生瓷片分层逐片取料的装置，包括储料仓以及位于储料仓上方的取料手爪X向轴，所述取料手爪X向轴上安装有取料手爪Z向轴，取料手爪Z向轴的滑座上设置有安装架，所述安装架两侧均设置有支撑板，安装架两侧分别安装有第一料片层分离机构与第二料片层分离机构，支撑板上分别安装有第一吸盘手爪以及第二吸盘手爪，所述储料仓上通过支架安装有压缩气体吹气喷嘴以及吹气式静电消除器。本实用新型通过改善生瓷片在分层逐片取料时由于层间粘连问题，导致的取料异常和取料效率低等问题，实现准确可靠的单片生瓷片的取料工作，提高生瓷片单片取料的效率和准确性。
一种用于瓷片分层逐片取料装置

[实用新型]一种用于多种不规则石英管的清洗设备-CN202121319012.2有效
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B08B9/023 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于多种不规则石英管的清洗设备，包括外壳以及设置在外壳内的刷洗腔和清洗腔，刷洗腔和清洗腔内分别设置有刷洗机构和清洗机构，清洗机构和刷洗机构以及外壳形成设备主体部分，所述设备主体部分内部安装有水路系统、气路系统和电气控制器，所述清洗机构包括夹持结构以及清洗机构的执行机构；还包括设置在外壳内的水路系统，所述水路系统包括设置在清洗腔内的喷淋设备、喷淋管以及喷嘴。本实用新型自动化程度高，可根据不同工艺条件进行不同的清洗步骤；且可同时对多种规格石英管同时清洗，清洗效率高，可实现连续生产；可实现内外壁无死角的刷洗；大量减少了操作人员数量，降低了人工成本。
一种用于多种不规则石英管清洗设备

[实用新型]一种工作台可移动并且具备预热、收边功能的压机-CN202121319006.7有效
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H05K3/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了热压机技术领域的一种工作台可移动并且具备预热、收边功能的压机，包括框架、上热压模块与下热压模块，上热压模块与下热压模块由框架支撑；框架包括上固定板、活动板与下固定板，上固定板与下固定板的四角分别设置有导柱，框架还包括有气液增压缸、浮动接头与导套，气液增压缸安装与上固定板的顶部。本实用新型通过框架、气液增压缸、上热压模块、下热压模块、导向轴、模组、定位机构和导向条的配合，可实现堆叠工位、加压工位、成品排出工位的交替移动，降低了工作人员的劳动强度，并有效提高了热压机的作业效率。
一种工作台移动并且具备预热功能

[实用新型]一种用于清洗方形硅片的专用夹具-CN202121270395.9有效
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B08B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了硅片加工清洗技术领域的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，包括夹具机体、定位螺母、活动钳口与固定钳口，夹具机体，夹具机体的顶部设置有十字悬臂，十字悬臂的顶部均匀开设有倒T形槽，固定钳口设置为空心圆柱体，倒T形槽的底部均匀开设有螺纹孔，活动钳口设置于倒T形槽的上部定位螺母贯穿螺纹孔将活动钳口与固定钳口螺接固定。本实用新型通过十字悬臂、定位螺母、活动钳口、固定钳口、排液孔、螺纹孔和T形槽的配合，实现对方形硅片快速夹紧，且能够夹持不同规格的硅片，提高了方形硅片清洗作业的工作效率。
一种用于清洗方形硅片专用夹具

[实用新型]一种全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的装置-CN202120805327.1有效
发明人：蔡永礼;倪党生;卢刘振;朱伟然 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B08B9/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的装置，用于清洗片盒本体，片盒本体的底部装载固定有承载架，包括箱体，箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门；箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，化学液喷雾罐和水蒸汽发生器均连通到清洗管路上，冲洗管路连通有水泵，而烘干管路连通有热风机；本实用新型能很大程度的减少片盒清洗时化学液以及冲洗DI去离子水的浪费，极大地降低了生产成本，且效果更佳。
一种全自动化学喷雾 di 水蒸汽组合清洗装置

[发明专利]一种用于生瓷片分层逐片取料的装置-CN202110658570.X在审
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于生瓷片分层逐片取料的装置，包括储料仓以及位于储料仓上方的取料手爪X向轴，所述取料手爪X向轴上安装有取料手爪Z向轴，取料手爪Z向轴的滑座上设置有安装架，所述安装架两侧均设置有支撑板，安装架两侧分别安装有第一料片层分离机构与第二料片层分离机构，支撑板上分别安装有第一吸盘手爪以及第二吸盘手爪，所述储料仓上通过支架安装有压缩气体吹气喷嘴以及吹气式静电消除器。本发明通过改善生瓷片在分层逐片取料时由于层间粘连问题，导致的取料异常和取料效率低等问题，实现准确可靠的单片生瓷片的取料工作，提高生瓷片单片取料的效率和准确性。
一种用于瓷片分层逐片取料装置

[发明专利]一种工作台可移动并且具备预热、收边功能的压机-CN202110658539.6在审
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H05K3/46 文献下载
摘要：本发明公开了热压机技术领域的一种工作台可移动并且具备预热、收边功能的压机，包括框架、上热压模块与下热压模块，上热压模块与下热压模块由框架支撑；框架包括上固定板、活动板与下固定板，上固定板与下固定板的四角分别设置有导柱，框架还包括有气液增压缸、浮动接头与导套，气液增压缸安装与上固定板的顶部。本发明通过框架、气液增压缸、上热压模块、下热压模块、导向轴、模组、定位机构和导向条的配合，可实现堆叠工位、加压工位、成品排出工位的交替移动，降低了工作人员的劳动强度，并有效提高了热压机的作业效率。
一种工作台移动并且具备预热功能

[发明专利]一种用于多种不规则石英管的清洗设备-CN202110658685.9在审
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B08B9/023 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于多种不规则石英管的清洗设备，包括外壳以及设置在外壳内的刷洗腔和清洗腔，刷洗腔和清洗腔内分别设置有刷洗机构和清洗机构，清洗机构和刷洗机构以及外壳形成设备主体部分，所述设备主体部分内部安装有水路系统、气路系统和电气控制器，所述清洗机构包括夹持结构以及清洗机构的执行机构；还包括设置在外壳内的水路系统，所述水路系统包括设置在清洗腔内的喷淋设备、喷淋管以及喷嘴。本发明自动化程度高，可根据不同工艺条件进行不同的清洗步骤；且可同时对多种规格石英管同时清洗，清洗效率高，可实现连续生产；可实现内外壁无死角的刷洗；大量减少了操作人员数量，降低了人工成本。
一种用于多种不规则石英管清洗设备

[发明专利]全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置及其方法-CN202110422155.4在审
发明人：蔡永礼;倪党生;卢刘振;朱伟然 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B08B9/30 文献下载
摘要：本发明公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置，用于清洗片盒本体，片盒本体的底部装载固定有承载架，包括箱体，箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门；箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，化学液喷雾罐和水蒸汽发生器均连通到清洗管路上，冲洗管路连通有水泵，而烘干管路连通有热风机；本发明还公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的方法，包括以下步骤：S1系统自检；S2片盒清洗；S3片盒冲洗；S4片盒烘干。
全自动化学喷雾 di 水蒸汽组合清洗盒装及其方法

[实用新型]一种用于异形件的吹扫装置-CN202021277876.8有效
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于异形件的吹扫装置，包括面板，所述面板底端固定连接有模组安装板，所述模组安装板内侧设置有线性模组，所述线性模组一侧设置有坦克链，所述模组安装板外侧固定连接有接漏盘，所述坦克链顶端设置有吹扫连接板，且所述吹扫连接板处于线性模组顶端，所述吹扫连接板一端固定连接有挡边，所述挡边内侧设置有旋转气缸；本实用新型的有益效果是：通过机械手旋转一定角度，使异形件的夹套间隙与吹扫部件喷嘴对应，吹扫平台底部旋转机构旋转带动喷嘴沿一定半径进行360旋转吹扫，从而实现了异形件清洗后的有效吹扫取干。
一种用于异形装置

[实用新型]一种用于有效清洗异形工件的装置-CN202020645548.2有效
发明人：白鹏虞;倪党生;王文和 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于有效清洗异形工件的装置，涉及精密异型工件处理技术领域，针对传统的槽体清洗方法不能有效地清洗异型件缝隙间的狭小空间的问题，现提出如下方案，包括外部花篮部件和机械手部件，所述外部花篮部件包括花篮主体、机械手钩子和圆弧定位片，所述花篮主体两侧均设置有侧板，所述花篮主体一侧连接有花篮齿轮，所述花篮齿轮的一侧连接有齿轮轴，所述齿轮轴上带有凹槽并与机械手钩子底部连接的挂钩对应。本实用新型可以有效解决异型圆柱形件吹扫后还残留化学液的问题，极大提高了多种异型件表面的洁净度，有效增加了异型圆柱形清洗工艺的产量，降低了生产成本，并且它又是一个简单且易于推广的装置。
一种用于有效清洗异形工件装置

[实用新型]一种全自动有机清洗设备-CN202020645634.3有效
发明人：白鹏虞;倪党生;王文和 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动有机清洗设备，包括所述清洗台面的顶面设有上料台、工位槽、一号吹扫平台、二号吹扫平台和下料台，所述清洗台面设有移动机械手，所述机械手的一侧设有移动连接板，所述清洗台面的下方设有操作腔，所述移动连接板位于操作腔内，所述操作腔内设有第一移动机构，所述工位槽包括超声清洗槽、超声溢流槽和有机浸泡槽，所述机械手上设有旋转机构，所述旋转机构带动花篮转动。本实用新型可以有效的实现异形部件自动去油、漂洗、喷淋、脱水、翻转、定位吹扫等功能，可以把人从恶劣、危险的工作环境中解放出来，减少人工带入的污染，避免噪音对人体的影响，可以减少人力，降低产品生产成本。
一种全自动有机清洗设备

[发明专利]一种用于异形件的吹扫装置-CN202010632951.6在审
发明人：王文和;倪党生;卢刘振 -专利权人：上海思恩装备科技股份有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于异形件的吹扫装置，包括面板，所述面板底端固定连接有模组安装板，所述模组安装板内侧设置有线性模组，所述线性模组一侧设置有坦克链，所述模组安装板外侧固定连接有接漏盘，所述坦克链顶端设置有吹扫连接板，且所述吹扫连接板处于线性模组顶端，所述吹扫连接板一端固定连接有挡边，所述挡边内侧设置有旋转气缸；本发明的有益效果是：通过机械手旋转一定角度，使异形件的夹套间隙与吹扫部件喷嘴对应，吹扫平台底部旋转机构旋转带动喷嘴沿一定半径进行360旋转吹扫，从而实现了异形件清洗后的有效吹扫取干。
一种用于异形装置

1
2
3
下一页»
尾页
共 45 条