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[实用新型]一种用于磁控溅射的阴极装置-CN202321530260.0有效
发明人：姚峥;李元丽;邓康梅;何兹丽;吕思敏 -专利权人： 佛山（华南）新材料研究院材料测试中心
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，中空的壳体与磁控溅射仪的电源负极电性连接，壳体内靶材上方还安装有磁体组、磁体安装板和旋转驱动组件；壳体的底部设有敞口；靶材的底面外露于敞口；磁体组包括两个螺旋形磁体；两个螺旋形磁体间隔并错位置放，两个螺旋形磁体的顶面分别抵接磁体安装板的底面；螺旋形磁体的底面和顶面分别为两个磁极端，两个螺旋形磁体的磁极方向相反，两个螺旋形磁体的底面的所在平面与靶材的底面的所在平面平行；向下延伸的旋转驱动组件的驱动端与磁体安装板的顶面连接。旋转的磁约束区域均匀地覆盖靶材的底面，可有效提高磁控溅射过程中的靶材的消耗均匀性，提高靶材的有效使用率。
一种用于磁控溅射阴极装置

[发明专利]一种用于磁控溅射的阴极装置-CN202310711189.4在审
发明人：姚峥;李元丽;邓康梅;何兹丽;吕思敏 -专利权人： 佛山（华南）新材料研究院材料测试中心
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，中空的壳体与磁控溅射仪的电源负极电性连接，壳体内靶材上方还安装有磁体组、磁体安装板和旋转驱动组件；壳体的底部设有敞口；靶材的底面外露于敞口；磁体组包括两个螺旋形磁体；两个螺旋形磁体间隔并错位置放，两个螺旋形磁体的顶面分别抵接磁体安装板的底面；螺旋形磁体的底面和顶面分别为两个磁极端，两个螺旋形磁体的磁极方向相反，两个螺旋形磁体的底面的所在平面与靶材的底面的所在平面平行；向下延伸的旋转驱动组件的驱动端与磁体安装板的顶面连接。旋转的磁约束区域均匀地覆盖靶材的底面，可有效提高磁控溅射过程中的靶材的消耗均匀性，提高靶材的有效使用率。
一种用于磁控溅射阴极装置

[实用新型]一种X射线衍射分析用封装装置-CN202223476231.9有效
发明人：姚峥;徐绍亮;吕思敏;邓康梅;何兹丽 -专利权人： 佛山（华南）新材料研究院材料测试中心
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种X射线衍射分析用封装装置，包括保护罩、样品台和夹持件，所述样品台由下至上依次包括底座和上盖，所述底座的顶部设有竖直的圆柱凸台，所述圆柱凸台的顶壁设有开口向上的样品槽，所述上盖套设于所述圆柱凸台滑动连接，所述上盖与所述保护罩固定连接，所述保护罩的底部包裹所述样品槽；所述夹持件用于夹持所述底座和上盖。本实用新型中保护罩固定安装在上盖的顶部，工作只需将上盖套设于圆柱凸台上，不仅可以实现保护罩包裹样品台的目的，还可以确保保护罩粘连在上盖的密封效果，从而可以解决了传统封装装置需要粘接窗口材料，导致样品台出现晃动和颠簸，造成样品洒出、偏离检测位置等不利于检测的问题出现。
一种射线衍射分析封装装置