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[发明专利]一种脆性材料自然裂片装置及其方法-CN202111593358.6在审
发明人：林学春;韩世飞;于海娟;何超建;左杰希;宁超宇;杜家宝 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本公开提供一种脆性材料自然裂片装置及其方法，脆性材料裂片装置包括吸附台、激光系统、光束聚焦系统以及三维位移系统，将大能量脉冲激光聚焦在脆性材料内部，当焦点处功率密度达到一定值时，材料被气化形成蒸汽，蒸汽的扩展使得材料实现自然裂片。本公开主要特点是脉冲激光在材料内焦点位置处形成的蒸汽不断向周围扩展，在扫描完成后整个晶圆出现翘曲，即可实现材料的自然裂片。
一种脆性材料自然裂片装置及其方法

[发明专利]一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置及其方法-CN202111059052.2在审
发明人：林学春;韩世飞;于海娟;何超建;宁超宇;陈雪纯 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，包括激光器、光束扩束准直系统、衍射元件以及光束聚焦系统；激光器用以发射激光，光束扩束准直系统设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束；衍射元件用以使激光产生多个衍射级次；光束聚焦系统用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点。本发明是通过引入特定衍射光学元件，并在聚焦光路上加上高频振荡的滤光片，控制在材料内部焦点的聚焦先后顺序，在材料纵向位置上激光一次扫描即可形成多个改质层，从而提高大大提高冷裂效率。
一种激光加工脆性材料焦点裂片装置及其方法

[发明专利]双激光裂片方法和装置-CN202210826507.7在审
发明人：韩世飞;林学春;于海娟;何超建;宁超宇;李心瑶 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本发明公开了一种双激光裂片方法和装置，该方法和装置为对脆性材料进行裂片的方法和装置，利用超短脉冲激光束的高峰值功率和“冷加工”的特点在材料非线性吸收，使得材料的局部位置发生爆破，形成微裂纹实现材料改质，然后利用短脉冲激光束或连续激光束的热特性实现材料内部裂纹的均匀扩展，最终获得表面粗糙度较低的材料表面。由于材料表面粗糙度较低，在进行研磨和抛光时可大大减小后续的加工时间，这样对加工效率有质的提升，同时降低了生产成本。
激光裂片方法装置

[发明专利]一种载丝带制备装置及制备方法-CN202210545302.1在审
发明人：张爱华;刘元龙;白洋伟;王杰;何超建;朱亮;王正鹏;陶发祥 -专利权人：兰州理工大学
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B29C65/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种电爆喷涂技术领域的载丝带制备装置及制备方法，旨在解决现有技术中不能有效生产制备满足电爆炸条件的载丝带的问题。其包括框架、导向机构和转动设置于框架上的压丝轮盘，导向机构用于将金属丝导入热塑性带上的凹槽内，框架靠近压丝轮盘的外缘处设置有加热机构和成型压轮；热塑性带在导入金属丝后绕设于压丝轮盘上，并在经过加热机构的加热软化后，被成型压轮挤压而产生塑性变形；本发明适用于载丝带的制备，能够达到快速连续地完成载丝带的生产制备的效果，且其生产效率高，工作稳定性好，使用效果佳。
一种丝带制备装置方法

[发明专利]激光碟片晶体的键合方法-CN202110270804.3在审
发明人：林学春;苗张旺;于海娟;何超建;左杰希;韩世飞 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01S3/06 文献下载
摘要：本发明提供一种激光碟片晶体的键合方法，该键合方法包括：将碟片增益介质放置在环形未掺杂介质中，其中，碟片增益介质为圆台型或棱台型；利用压块在碟片增益介质的上端面施加压力，使碟片增益介质和环形未掺杂介质紧密贴合，得到激光碟片晶体；其中，碟片增益介质的侧面和环形未掺杂介质的内表面完全重合；将激光碟片晶体置于加热炉中，在预设温度条件下进行加压扩散键合，得到键合后的激光碟片晶体。
激光碟片晶体方法

[发明专利]超快激光连续裂片装置及方法-CN202011159285.5在审
发明人：林学春;何超建;于海娟;苗张旺;韩世飞 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：一种超快激光连续裂片方法，包括以下步骤：将超快激光光源的激光从材料抛光的上表面聚焦到距离底部一定厚度处进行扫描加工，扫描间隔控制可变，形成改质层；将所述改质层以下的部分通过冷裂，从改质层处裂开并从待冷裂材料主体剥离下来；将待冷裂材料下移一个晶片厚度，也就是将超快激光聚焦点上移一个晶片厚度，重复上述加工过程，即实现超快激光连续裂片。本发明提出的方法只需一次对材料的上表面进行抛光/研磨等工序，连续裂片过程中不需要材料抛光、研磨等工序，当材料底部形成破裂层后进行后续处理可直接得到高质量的晶圆薄片，降低加工成本的同时，提高了冷裂效率。
激光连续裂片装置方法

[发明专利]一种时域形貌可控的猝发脉冲光纤放大装置-CN201610795494.6有效
发明人：于海娟;林学春;邹淑珍;张玲;刘燕楠;何超建;齐瑶瑶;陈寒 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：一种时域形貌可控的猝发脉冲光纤放大装置，包括：猝发脉冲激光信号源，输出猝发脉冲激光信号；光纤放大器，对所述猝发脉冲激光信号进行放大，输出放大猝发脉冲激光信号；以及任意脉冲发生系统控制所述猝发脉冲激光信号源及所述光纤放大器，使得所述放大猝发脉冲激光信号的时域形貌与所述的猝发脉冲激光信号的时域形貌相同。
一种时域形貌可控猝发脉冲光纤放大装置

[发明专利]可控多脉冲被动锁模的皮秒激光器-CN201910189235.2有效
发明人：林学春;何超建;于海娟;张景园;邹淑珍;张玲;齐瑶瑶;陈寒;杨莹莹 -专利权人：中国科学院半导体研究所;中国科学院大学
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01S3/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种可控多脉冲被动锁模的皮秒激光器，包括：泵浦源，用于提供泵浦光；耦合装置，其输入端与泵浦源的输出端连接；激光谐振腔，其位于耦合装置的输出光路上，其包括激光分束装置、被动锁模器和激光反射器；其中，所述激光分束装置位于激光运行光路上；所述被动锁模器位于所述激光分束装置的一延伸光路上；所述激光反射器位于所述激光分束装置的另一光路上。当激光分束器不发生工作时，不提供附加的强光信号，则激光谐振腔内只有一个强光信号，实现稳定的调Q锁模激光输出；当激光分束器工作时，激光反射器返回光向激光谐振腔中提供了更多的强信号光，则可以产生多脉冲，则产生可控调Q锁模的激光脉冲输出。
可控脉冲被动激光器

[发明专利]脉冲泵浦主动调Q输出双脉宽脉冲的激光器-CN201710424903.6有效
发明人：林学春;何超建;于海娟;邹淑珍;张玲;齐瑶瑶;陈寒;杨莹莹 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： H01S3/11 文献下载
摘要：一种脉冲泵浦主动调Q输出双脉宽脉冲的激光器，包括：一脉冲泵浦源：一耦合装置，其输入端与脉冲泵浦源的输出端连接；一激光谐振腔，其位于耦合装置的输出光路上；一光电传感器，其位于激光谐振腔的输出光路上；一控制器，其输入端与光电传感器的输出端连接，该控制器的一输出端口1与激光谐振腔一输入端连接，该控制器的另一输出端口2与脉冲泵浦源的输入端连接。本发明可产生脉冲泵浦控制的宽脉冲和主动调Q控制的窄脉冲交替输出的特性。
脉冲主动输出双脉宽激光器

[发明专利]双脉宽锁模激光器-CN201810527527.8有效
发明人：于海娟;林学春;何超建;邹淑珍;赵鹏飞;刘燕楠;齐瑶瑶 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H01S3/11 文献下载
摘要：一种双脉宽锁模激光器，包括：一泵浦源；一传能光纤，其一端与泵浦源的输出端连接；一泵浦光整形系统，其一端位于传能光纤的光路上；一激光晶体、一二分之一玻片、一薄膜偏振片和一耦合输出镜，均位于泵浦光整形系统的光路上；一双色平面镜片，其位于泵浦光整形系统和激光晶体之间；一第一凹面反射镜，其位于双色平面镜片的反射光路上；一第二凹面反射镜，其位于凹面反射镜的光路上；一半导体可饱和吸收镜，其位于第二凹面反射镜的反射光路上；一标准具和一第二耦合输出镜，其依序位于薄膜偏振片的反射光路上。本发明在同一激光器中，无需任何外部调制器件，仅通过半导体可饱和吸收镜被动锁模技术，获得两种脉冲宽度脉冲序列。
双脉宽锁模激光器

[发明专利]一种时域包络形貌可调的猝发脉冲激光再生放大器-CN201610797854.6有效
发明人：林学春;于海娟;邹淑珍;张玲;刘燕楠;何超建;齐瑶瑶;陈寒 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：一种时域包络形貌可调的猝发脉冲激光再生放大器，包括：猝发脉冲激光信号源，输出猝发脉冲；放大系统，接收所述猝发脉冲并放大，输出高能猝发脉冲；隔离系统，设置于所述猝发脉冲激光信号源与所述放大系统之间，防止高能猝发脉冲返回至猝发脉冲激光信号源；控制系统，对猝发脉冲激光信号源进行调制并控制放大系统，使所述高能猝发脉冲的时域包络形貌可调。
一种时域包络形貌可调猝发脉冲激光再生放大器

[发明专利]脉冲串产生与时域形貌控制的结构-CN201710424943.0在审
发明人：林学春;齐瑶瑶;于海娟;邹淑珍;陈寒;张玲;何超建;李备 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：一种脉冲串产生与时域形貌控制的结构，包括一1×N光纤信号分束器；N条光纤，其一端均与1×N光纤信号分束器的输出端连接；一N×1光纤信号合束器，其输入端与N条光纤的另一端连接；该1×N光纤信号分束器的输入端与一输入光纤连接，该N×1光纤信号合束器的输出端与一输出光纤连接。本发明可以简单方便的获得皮秒或纳秒脉冲串并进行时域形貌的调控，结构简单、稳定、易于实现并降低了成本。
脉冲产生时域形貌控制结构

[发明专利]一种N×1反向合束耦合装置及耦合系统-CN201610544413.5在审
发明人：林学春;齐瑶瑶;于海娟;张玲;陈寒;何超建 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01S5/40 文献下载
摘要：一种N×1反向合束耦合装置及耦合系统，该N×1反向合束耦合装置包括：N支低数值孔径光纤、高数值孔径光纤和曲面反射镜；所述N支低数值孔径光纤和高数值孔径光纤(4)位于所述曲面反射镜的同一侧，所述曲面反射镜将所述N支数值孔径光纤输出的光反射并耦合输入至所述高数值孔径光纤，该N×1反向合束耦合装置简单方便的获得耦合光源，降低成本。
一种反向耦合装置系统

[发明专利]基于扇形周期极化晶体可调谐蓝光激光装置-CN201510923025.3在审
发明人：张玲;林学春;于海娟;赵鹏飞;吴鹏;袁仙丹;杨盈莹;赵伟芳;张志研;梁浩;何超建;齐瑶瑶;陈寒;陈晴;王磊 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2015-12-14 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： H01S3/106 文献下载
摘要：一种基于扇形周期极化晶体可调谐蓝光激光装置，包括：一红外半导体激光器；一准直聚焦系统，该准直聚焦系统位于红外半导体激光器的输出光路上；一扇形周期极化晶体，该扇形周期极化晶体位于准直聚焦系统的光路上。本发明可以获得404nm-N/2nm和404nm+N/2nm之间的可调谐蓝光激光输出。
基于扇形周期极化晶体调谐激光装置

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