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[发明专利]具有半导体装置和结构的系统-CN201080046099.9无效
发明人：兹维·奥尔巴克;布赖恩·克龙奎斯特;伊斯雷尔·拜恩格拉斯;J·L·德容;迪帕克·C·谢卡尔;泽夫·沃尔曼 -专利权人：莫诺利特斯3D^TM有限公司;兹维·奥尔巴克
申请日： 2010-10-08 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： H01L23/538 文献下载
摘要：系统包括一个半导体器件。该半导体器件：一个单独的第一结晶硅层，包括初级晶体管、第一对齐标记以及至少一层金属层(用来覆盖单独的第一结晶硅层)。上述金属层主要由铜或铝组成，也可包括少量其它材料；一个单独的第二结晶硅层，覆盖在上述金属层上。单独的第二结晶硅层包含多个二级晶体管，呈大体平行的带状布置。其中，每个条带都包含一部分二级晶体管，这些晶体管沿条带的中心轴线布置，前后一致。
具有半导体装置结构系统

[发明专利]测试衬底的回收方法和装置-CN200410038324.0无效
发明人： 伊斯雷尔·拜恩格拉斯;保罗·V·米勒 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2004-05-19 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了通过从数据库中读取在各个测试衬底上进行的工艺步骤，并从多个为回收各个测试衬底的回收工艺中选择一个回收工艺来回收测试衬底。标识在每个测试衬底上进行的工艺及为每个测试衬底所选择的回收工艺的信息可被存储在测试衬底历史数据库中。将各个测试衬底分类，并置入具有分配给其内的测试衬底的共同回收工艺的组内。每个存放经分类的测试衬底的箱标记有标识信息。标识存放在各个箱中的测试衬底和为这些测试衬底所选择的回收工艺的信息可存储在这些箱的数据库中。回收操作员可从箱中取出经分类的测试衬底，从提供给操作员的数据库中读取分配给每个测试衬底的回收工艺，以在回收各个测试衬底之前核对哪个回收工艺已分配给该测试衬底。
测试衬底回收方法装置