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[发明专利]光栅设计参数确定方法、系统及电子设备-CN202310821031.2在审
发明人：蔡建栋;冯稼泰;吴梅忆;仲银鹏 -专利权人：深圳综合粒子设施研究院
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种光栅设计参数确定方法、系统及电子设备，该方案提供了一种快速求解、可形成可视化焦点空间位置及可评估像差产生来源的方式，基于追踪光线斜率实现计算光栅线距参数、聚焦位置和接收角度的计算过程，从而解决了现有技术的光栅在设计过程中还存在的设计参数获取困难的问题。
光栅设计参数确定方法系统电子设备

[发明专利]密封连接装置-CN202310731404.7在审
发明人：朱庆浩;蔡建栋;仲银鹏 -专利权人：深圳综合粒子设施研究院
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16L27/08 文献下载
摘要：本发明适用于精密设备技术领域，提供了一种密封连接装置，包括第一法兰件、第二法兰件以及驱动机构。与现有技术中采用密封法兰刚性对接的连接方式相比，可以在两个仪器的连接部位需要调整时候，通过驱动机构驱动第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动来实现调整，同时在第一法兰件与第二法兰件相对转动的同时，还可以通过外部负压装置保持密封腔内真空度的恒定，通过密封腔内部真空环境的隔离而在一定程度上避免仪器内部的真空环境在第一法兰件与第二法兰件相对转动时被破坏，使精密仪器在保持真空状态下进行调整更方便。并且本发明结构简单、操作安全稳定，调节方便可靠性强，可适用于不同指标的大型精密仪器。
密封连接装置

[实用新型]六维运动并联机构及科学精密仪器设施-CN202223073033.8有效
发明人：朱庆浩;蔡建栋;李钦明;仲银鹏;张未卿 -专利权人：深圳综合粒子设施研究院
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种六维运动并联机构及科学精密仪器设施，其中六维运动并联机构包括：运动平台、支撑平台、多个并联调姿机构以及多个并联调姿支撑机构，运动平台设于支撑平台的上方；并联调姿机构包括双作用连接器和两个万向连接器，其中一个万向连接器与运动平台转动连接，另一个万向连接器与支撑平台转动连接，双作用连接器连接并且能够调整两个万向连接器之间的距离；并联调姿支撑机构包括支撑杆和支撑底座，支撑杆凸设于运动平台上，支撑底座设于支撑平台上，支撑杆能够调整凸出长度并且抵于支撑底座上，支撑底座用于限位支撑杆；该六维运动并联机构结构简单、调节灵活、安装便捷、工作稳定、安全高效且应用前景广阔。
运动并联机构科学精密仪器设施

[发明专利]六维运动并联机构及科学精密仪器设施-CN202211444655.9在审
发明人：朱庆浩;蔡建栋;李钦明;仲银鹏;张未卿 -专利权人：深圳综合粒子设施研究院
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种六维运动并联机构及科学精密仪器设施，其中六维运动并联机构包括：运动平台、支撑平台、多个并联调姿机构以及多个并联调姿支撑机构，运动平台设于支撑平台的上方；并联调姿机构包括双作用连接器和两个万向连接器，其中一个万向连接器与运动平台转动连接，另一个万向连接器与支撑平台转动连接，双作用连接器连接并且能够调整两个万向连接器之间的距离；并联调姿支撑机构包括支撑杆和支撑底座，支撑杆凸设于运动平台上，支撑底座设于支撑平台上，支撑杆能够调整凸出长度并且抵于支撑底座上，支撑底座用于限位支撑杆；该六维运动并联机构结构简单、调节灵活、安装便捷、工作稳定、安全高效且应用前景广阔。
运动并联机构科学精密仪器设施

[发明专利]GT35球碗曲面沉积TiN膜工艺方法-CN202110907484.8在审
发明人： 仲银鹏;王昊;李文卓 -专利权人：陕西航天时代导航设备有限公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种GT35球碗曲面沉积TiN膜工艺方法，包括以下步骤S1.预热；S2.刻蚀；S3.打底；S4.沉积TiN过渡层；S5.沉积TiN功能层，启动Ti靶材同时通入饱和状态氮气，保持炉压和温度，反复该步骤，且每次沉积前需要使前次沉积的功能层冷却至炉内温度从而消除功能层内应力，直至沉积达到规定厚度完成功能层沉积；S6.冷却出炉：零件随炉冷却至80℃以下取出；在沉积功能层时逐层沉积，且每次均需要冷却处理，从而消除功能层内应力。
gt35 曲面沉积 tin 工艺方法