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[发明专利]采用增材制造进行半导体设备模块加工-CN202080074441.X在审
发明人：塞耶达利雷萨·托尔巴蒂萨拉夫;库尔特·艾伦·克恩;丹尼斯·史密斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提出了用于制造用于半导体制造系统的喷头的方法、系统和计算机程序。一种方法包括在由第一材料制成的面板上钻出第一孔的操作，其中第一孔具有第一直径。此外，该方法包括用第二材料包覆第一孔和面板以用第二材料覆盖第一孔和面板的操作。此外，该方法包括钻出与第一孔同心的第二孔，从而产生具有涂覆有第二材料的孔的部件。第二孔具有小于第一直径的第二直径。此外，该方法包括利用该部件制造喷头的操作，其中气体可通过喷头中的面板的第二孔输送。
采用制造进行半导体设备模块加工

[发明专利]用于衬底处理的质量流量控制器-CN201910174486.3在审
发明人：苏达卡尔·戈帕拉克里希南;彼得·雷默尔;约翰·哈罗夫;丹尼斯·史密斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及用于衬底处理的质量流量控制器。提供了用于将工艺气体输送到处理室的方法和装置。一种质量流量控制器包括：第一流送管线，其用于引入工艺流体；和入口阀，其沿所述第一流送管线设置以用于控制所述工艺流体的流率。所述质量流量控制器包括：用于将载体流体引入所述质量流量控制器的第二流送管线；以及微机电系统(MEMS)科里奥利传感器，其用于提供用于所述工艺流体与所述载体流体的混合物的密度信号和质量流率信号。所提供的所述质量流量控制器包括：出口阀，其用于控制由所述质量流量控制器输出的所述混合物的质量流率；以及控制器，其用于基于所述密度信号操作所述入口阀，以及用于基于所述质量流率信号操作所述出口阀。
质量流量控制器工艺流体质量流率信号衬底处理密度信号混合物出口阀入口阀科里奥利传感器方法和装置微机电系统工艺气体载体流体质量流率控制器引入流率流体输出

[发明专利]深层肿块高温治疗用的单极相控阵列加热装置-CN03824281.8有效
发明人：艾伦·J·芳恩;约翰·蒙;丹尼斯·史密斯 -专利权人：效思因公司
申请日： 2003-08-29 - 公布日： 2005-10-26 - 主分类号： A61N1/40 文献下载
摘要：一种单极相控阵列高温治疗加热装置，发射射频能量，该射频能量使患者体内目标区域的温度升高。所述加热装置包括：多个发送电场辐射的单极元件；金属波导，它带有反射射频的接地平面，接地平面上有多个用以安装单极元件的圆形小孔，并且所述金属波导形成用以容纳待治疗患者身体的窗口；波形发生器，该发送器通过相应的相位及功率计权网络向每个单极辐射元件提供电场源；至少一个电场探头，所述电场探头位于患者身体表面上，以检测来自各单极元件的电场；以及控制电路，该控制电路接受来自电场探头的反馈信号，调节输送给各个单极元件的相位及功率，以在患者身体表面上形成一个或多个自适应零电场区域，并在患者体内待进行高温治疗的目标组织处形成聚焦电场。
深层肿块高温治疗单极相控阵加热装置

[发明专利]对体内导管邻近组织进行热压迫治疗的设备和方法-CN02142696.1无效
发明人：约翰·孟;丹尼斯·史密斯 -专利权人：效思因公司
申请日： 2002-09-17 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： A61N5/02 文献下载
摘要：一种用来对体内导管邻近组织进行温热治疗的方法及设备，从而防止体内导管由于水肿而阻塞，其用温暖循环流体来维持体内导管管壁的温度，并对待治疗组织加压以增加其放射热的效率。一个带有能量发射源的导尿管被插入到体内导管内并定位在待治疗组织区域内，这使得能量发射源可将能量发射到待治疗组织中。温度超过30℃的流体循环进入并通过该导尿管以对该导尿管附近的体内导管的管壁加温。该循环流体还使一个加压囊膨胀到一定压强以对待治疗组织加压。温度超过30℃的温暖流体在体内导管周围循环使得体内导管的管壁保持温暖，以及对待治疗组织加压的二者共同作用可形成一个天然的斯滕特固定模，其在导尿管及加压囊撤除后仍得以保留。
体内导管邻近组织进行压迫治疗设备方法

[发明专利]用于紧急呼吸保护的烟雾过滤装置-CN95194784.2无效
发明人： 丹尼斯·史密斯;卡伦·尼尔森;弗兰兹·G·莫顿 -专利权人：生命保护股份有限公司
申请日： 1995-08-31 - 公布日： 2002-02-27 - 主分类号： A62B23/02 文献下载
摘要：一种保护消防员在生命危急时刻不受烟雾吸入的侵害的方法，包括制成一装有过滤媒质（134）的可记录使用情况的滤毒器（120）。这种装置可提供过滤系统先前使用情况的标志，并且可防止消防员在不被许可的情况下使用该装置。$#!
用于紧急呼吸保护烟雾过滤装置