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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]硅环-CN201511026767.2在审
  • 刘同玉;严超逸 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2015-12-31 - 2016-06-01 - H01L21/683
  • 本发明公开了一种用于承载晶圆的硅环，在俯视平面上呈中心镂空的圆环状，其环体的横截面环体内侧与外侧具有不同的厚度，使得环体上具有两级台阶，环体靠内侧的厚度小于外侧的环体厚度，晶圆放在内侧环体的台阶上，而厚度较大的外侧环体利用台阶对放置在内侧环体上的晶圆形成固定；所述的环体横截面呈横放的“凸”字形，从中心线上两侧对称，环体的正反两面均能承载晶圆。
  • 硅环
  • [发明专利]工艺腔部品的清洗方法-CN201210483235.1无效
  • 刘同玉;严超逸;刘东升 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2012-11-23 - 2014-06-04 - B08B3/02
  • 本发明公开了一种工艺腔部品的清洗方法，步骤包括：1）将液态CO2制作成所需规格的干冰颗粒；2）将干冰颗粒用机械方式送入压缩空气管道，与压缩空气混合、加速，然后和压缩空气一起喷射到被清洗部品表面。本发明用干冰高速冲击部品表面，利用干冰气化带来的热力学和材料物理性能的改变，来清除部品表面的刻蚀生成物，达到清洗部品的目的，如此不仅提高了清洗的效率，而且减少了部品表面的磨损，延长了部品的使用寿命，对操作人员和环境也不会有伤害。
  • 工艺腔部品清洗方法
  •  1 
  • 共 3 条
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