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[实用新型]单波长光电信号转换装置-CN201720670078.3有效
发明人：张德培 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-06-10 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：单波长光电信号转换装置，包括通光柱体、透镜固定座、滤光片固定座、光电倍增管固定块和光电倍增管。所述的透镜固定座安装在通光柱体中；所述的滤光片固定座与通光柱体连接；所述的通光柱体与光电倍增管固定块固定；所述的光电倍增管固定块与通光柱体、光电倍增管连接；所述的光电倍增管与光电倍增管固定块相连，实现光信号向电信号的转换。本实用新型有益效果是设计一款单波长光电信号转换装置，巧妙的完成晶圆刻蚀、镀膜工艺阶段光电信号转换。
波长光电信号转换装置

[实用新型]一种晶圆承载台-CN201720670153.6有效
发明人：王子菲 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-06-10 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种晶圆承载台，包括旋转轴；所述旋转轴上固定有一个晶圆承载台；所述晶圆承载台上设有8个圆环形开口晶圆槽；所述8个圆环形开口晶圆槽呈正方形排列，两两一边，晶圆槽开口方向与其所在的一边垂直向外；所述晶圆槽向内设有至少两挡台阶，以放置不同尺寸的晶圆；本实用新型所述的晶圆承载台，一次可放置8片晶圆，可提供2片晶圆进行同步加工，且可在2片晶圆加工好之后旋转承载台，将其移出加工位，执行下一个工序，并同时将2片待加工的晶圆旋转至加工位进行同步加工，本实用新型所述的晶圆承载台节省了晶圆加工过程中的等待过程，大大加快了加工效率。
一种承载

[实用新型]一种应用于晶圆定位的激光发生器-CN201720670188.X有效
发明人：刘旭亮 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-06-10 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：一种应用于晶圆定位的激光发生器，它包括直流电源、光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路、激光二极管、光学镜组件；其特征在于所述的光强稳定电路分别与光强调节电路和激光驱动电路相连；所述的直流电源分别与光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路相连；所述的激光驱动电路与激光二极管相连；所述的激光二极管安装在光学镜组件上方。
一种应用于定位激光发生器

[实用新型]晶圆定位激光二极管平行光源发射装置-CN201720849076.0有效
发明人：张德培 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：晶圆定位激光二极管平行光源发射装置，包括激光二极管、透镜上卡槽、平凹透镜一、外筒圆柱、平凸透镜二、透镜下卡槽、内筒圆柱、平凸透镜三和盖板。所述的外筒圆柱内有上下两个阶梯型槽，上梯形槽用于放置平凸透镜一，下梯形槽用于放置平凸透镜二；所述的透镜上卡槽与外筒圆柱相连，透镜上卡槽内有贯穿孔洞，用于固定激光二极管；所述的透镜下卡槽内有椭圆形槽并有穿孔，透镜下卡槽放置在外筒圆柱内；所述的平凸透镜三放置在外筒圆柱底部端口，通过盖板与外筒圆柱固定。优点精准的发射出平行光源，用于晶圆定位。
定位激光二极管平行光源发射装置

[实用新型]一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统-CN201720349067.5有效
发明人：刘旭亮 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01V8/20 文献下载
摘要：一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体、驱动电机、晶圆盒、红外发射器、红外接收器、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器分别与同步驱动控制电路和红外接收器相连；所述的前置放大电路分别与模拟转换开关电路和红外接收器相连；所述的同步时序发生电路分别与模拟转换开关电路和同步驱动控制电路相连；所述的模拟转换开关分别与前置放大电路、同步驱动控制电路、同步时序发生电路、输出放大电路相连。
一种基于红外探测晶圆片数同步信号检测系统

[实用新型]全波长晶圆刻蚀终点检测装置-CN201720455534.2有效
发明人：张德培 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：全波长晶圆刻蚀终点检测装置，它由光纤、数据探测模块和电源模块组成。光纤连接刻蚀机台与数据探测模块，实现光信号采集；数据探测模块与电源模块相连，实现数据采集和光电信息转换；电源模块与数据探测模块、机台相连，为数据采集模块供给电源，并将经过光电信息转换后的讯息传递给机台。本实用新型的优点体现在首先，实现在全波长（200‑800 nm）范围内进行晶圆刻蚀实时终点探测；其次，采用平谱面全息凹面光栅和CCD探测器组合设计，实现高分辨率、高信噪比光谱曲线。
波长刻蚀终点检测装置

[实用新型]一种多工位晶圆烘烤装置-CN201720348684.3有效
发明人：王子菲 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种多工位晶圆烘烤装置，它包括加热器、晶圆传输手臂、多工位晶圆中转承载台、晶圆提升机构。所述晶圆传输手臂将晶圆传输转移至多工位晶圆中转承载台上，所述多工位晶圆中转承载台旋转将晶圆转移至晶圆提升机构上方，所述晶圆提升机构抬升并物理接触晶圆底面的中心区域，并继续抬升至使晶圆贴近上方加热器底面的加热位置，对晶圆进行烘烤。本实用新型可使晶圆在烘烤装置里进行烘烤时，同时进行多片晶圆烘烤，提高单位时间晶圆烘烤产率。
一种多工位晶圆烘烤装置

[实用新型]一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路-CN201720349051.4有效
发明人：刘旭亮 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，它包括CPLD模块、CCD控制信号驱动模块、电源及过流保护器、电压变换器、CCD传感器、数据存储器、单片机控制模块、A/D转换模块、信号放大电路、以太网/USB通讯模块；其特征在于所述的CPLD模块中的CPLD芯片型号为5M1270Z TQ144；所述的单片机控制模块中的单片机芯片型号为PIC32MZ‑144；所述的CCD传感器型号为S11155‑2048‑01；所述的单片机控制模块分别与数据存储器、电源及过流保护器、以太网/USB通讯模块、电压变换器、A/D转换模块相连；所述的CCD传感器分别与CCD控制信号驱动模块、电压变换器、信号放大电路相连；所述的CPLD模块分别与数据存储器、CCD控制信号驱动模块、电压变换器相连。
一种波长蚀刻终点探测控制系统电路

[实用新型]反应腔信号探测光纤接头紧固装置-CN201720215877.1有效
发明人：张德培 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： G02B6/40 文献下载
摘要：反应腔信号探测光纤接头紧固装置，包括固定外壳、C型卡簧一、弹簧、光纤束接头、C型卡簧二和转换器。所述的固定外壳外形呈阶梯圆柱状，内部有圆形孔洞贯穿；所述的光纤束接头外形呈圆柱状，外侧有两个环形槽，用于固定C型卡簧；所述的转换器圆柱形主体部分内部两侧有螺纹，用于与固定外壳固定；转换器内部中间位置两侧均有环形切除斜坡，用于与光纤束接头配合。装配时，通过C型卡簧和弹簧将固定外壳和光纤束接头固定，将装配好的接头通过转换器对接。此装置优点固定光纤接头，通过转换器对接两个光纤接头，确保光纤束接触面对接紧密。
反应信号探测光纤接头紧固装置

[实用新型]一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置-CN201720215589.6有效
发明人：王子菲 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G01B11/03 文献下载
摘要：一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置，它包括底座、导向杆、滑套、横梁、滑块、激光位移传感器、水准仪，所述底座呈半圆弧形，底座两端分别与导向杆竖直连接固定，所述导向杆顶端均水平安装一圆形水准仪，且导向杆顶端水平安装有一尺形横梁组成一门形框架，所述导向杆上均设一滑套，所述滑套通过水平安装的半圆弧形横梁保持同步滑动，所述尺形横梁和半圆弧形横梁上均安装至少一滑块，且尺形横梁上的滑块上方水平固定一条形水准仪，所述所有滑套和滑块一侧均设一锁紧螺钉，且均安装一激光位移传感器，使用时通过激光位移传感器数据即可测量机械手臂末端执行器定位精度。本实用新型经济实用，移动方便，使用灵活，适用多种工作场合。
一种机械手臂末端执行定位精度测量装置

[实用新型]增强型腔体内信号探测三束光纤装置-CN201720216032.4有效
发明人：张德培 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G02B6/38 文献下载
摘要：增强型腔体内信号探测三束光纤装置，包括固定座后板、固定座前板、光纤和光纤接头。所述的固定座后板与外接设备固定；所述的固定座后板与固定座前板配合，固定光纤；所述的固定座前板上有矩形槽口，用于水平摆放三根光纤束；所述的光纤接头用于固定光纤，光纤接头端三根光纤束呈品字形摆放。
增强体内信号探测光纤装置

[实用新型]提高溅射镀膜等离子体中离子浓度的永磁装置-CN201720215958.1有效
发明人：张德培 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：提高溅射镀膜等离子体中离子浓度的永磁装置，包括马蹄形磁铁、心形环、环心固定件、固定圆盘、动平衡块、霍尔传感固定块和轴固定柱。所述的马蹄形磁铁外形呈马蹄状，外侧是半圆弧，内侧是直槽口，其材料可采用铝镍钴合金5，此实用新型中，可采用多个马蹄形磁铁组合使用；所述的心形环是心形环状，环上有螺纹孔，用于固定马蹄形磁铁，其材料可选用304型号不锈钢；所述的环心固定件呈类椭圆形，上面有螺纹孔，用于与马蹄形磁铁固定，其材料可选用304型号不锈钢；所述的固定圆盘，外形呈圆形，固定圆盘上面有螺纹孔，固定圆盘在马蹄形磁铁上方，与马蹄形磁铁固定。此装置用于溅射沉积中，使等离子体内电子呈螺旋式运动，借着电子与分子间碰撞次数增加，增加等离子体中离子浓度，提高溅射镀膜的沉积速率。
提高溅射镀膜等离子体离子浓度永磁装置

[实用新型]一种晶圆定位系统-CN201720214100.3有效
发明人：睢智峰 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆定位系统，包括光源、透镜组合一、透镜组合二、光探测器、晶圆、定位腔旋转盘。晶圆放置于定位腔旋转盘上，晶圆边缘有小槽，光源和透镜组合一在晶圆边缘上形成了一个沿着晶圆径向的平行线光源，平行线光源光线一半照射在晶圆边上，另一半会无阻拦的透过透镜组合二聚焦在光探测器上。通过分析光强随晶圆旋转角度变化曲线，判断晶圆中心和晶圆边缘小槽位置，保证确保每片晶圆进入刻蚀腔后，晶圆中心与刻蚀腔内圆形静电吸盘的中心重合，小槽的方向始终一致，以便下一步晶圆刻蚀工艺的顺利进行。
一种定位系统

[实用新型]一种防止污染物质进入马达内部的改进装置-CN201720214596.4有效
发明人：潘学勤 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： H02K5/10 文献下载
摘要：一种防止污染物质进入马达内部的改进装置，它由密封部件组成。所述装置是由密封部件配合转子轴装配在马达盖子的密封槽里面；密封部件被固定在马达盖子和转子轴中间，当马达与含润滑油的变速箱之类的装置连接并工作时，由于密封部件的作用保护马达内部，不会导致因马达的工作外部环境而污染马达内部，从而避免马达因外界污染物质进入马达内部引起的故障。
一种防止污染物质进入马达内部改进装置

[实用新型]钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置-CN201621380986.0有效
发明人：张德培;睢智峰 -专利权人： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置，包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换。所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连，另一端与A/D转换相连，通过A/D转换接收输出端的反馈信号。所述的数字可调电阻连接在终点控制器放大器两端，且与单片机核心控制模块相连。单片机核心控制模块根据输出端反馈信号，判断输出信号是否超出内部预设范围，从而调用不通过指令调节数字可调电阻阻值，最后使得输出值满足预设范围。
化学沉积等离子清洁终点控制器增益自动调节装置