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[发明专利]一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法-CN202310805825.X在审
发明人：梁建汉;周清峰;万竹桉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法，其中，该气体传感器包括堆叠设置的如下部分：基底，其具有隔热腔；支撑层，配置在基底上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；加热组件，配置在支撑层上，具有加热丝；介电层，配置在加热组件上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；检测电极，配置在介电层上；传感层，配置在检测电极上，沉积有气敏材料；其中，支撑层和介电层中的至少一个的聚热区具有沿堆叠方向贯通的若干通孔，且支撑层和介电层各自层内的通孔孔径以从聚热区向周侧延伸方向逐渐变化的方式配置。
一种基于微机系统蓝宝石气体传感器及其制造方法

[发明专利]一种集成纳米管阵列的仿生嗅觉传感器及其制备方法-CN202310812489.1在审
发明人：周清峰;万竹桉;宋志龙;梁健汉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成纳米管阵列的仿生嗅觉传感器及其制备方法。仿生嗅觉传感器包括由绝缘材料制成的三维基底、多元界面层、电极、绝缘层和加热层。三维基底设置有若干贯穿三维基底且呈阵列排布的通道。通道内壁通过设置传感材料层形成纳米管，将三维基底顶部与底部电导通。仿生嗅觉传感器还包括沿通道轴向设置在三维基底顶部的若干第一电极和设置在三维基底底部的若干第二电极。本发明在第一电极和三维基底间设置多元界面层以调节第一电极和纳米管之间的载流子传输，并且基于多元界面层中组分的梯度变化使得仿生嗅觉传感器中生成具有不同响应特征的传感像素，从而增加仿生嗅觉传感器的像素多样性。
一种集成纳米阵列仿生嗅觉传感器及其制备方法

[发明专利]一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法-CN202310812491.9在审
发明人：周清峰;梁健汉;万竹桉;宋志龙 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法。嗅觉气味阵列传感器至少包括：具有通孔阵列的基板；设置在通孔内壁通过与测定对象反应而使电阻变化的传感膜；向传感膜施加电压的电极；调节电极与传感膜之间载流子传输的调制层。电极包括沿基板厚度方向设置在基板顶部的若干第一电极和设置在基板底部的若干第二电极。第一电极和第二电极在基板厚度方向上的投影的重叠区域覆盖若干传感膜以形成用于传感的像素。在嗅觉气味阵列传感器检测气体的情况下，第一电极和第二电极构成的网格可以传输反映各个像素的传感膜与气体发生反应后电阻变化情况的电流。
一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法

[发明专利]一种气体检测装置及方法-CN202310846970.2在审
发明人：周清峰;廖树伟;万竹桉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N27/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体检测装置及方法。气体检测装置至少包括：第一传感器，其基于光电离子技术对有机挥发性气体进行间歇性检测，以采集第一气体数据；第二传感器，其基于半导体技术对有机挥发性气体进行连续检测，以采集第二气体数据。本发明融合了第一传感器和第二传感器，并且通过使第一传感器间歇性工作，降低了第一传感器的使用频率，从而延长了第一传感器的使用寿命。用于处理数据的处理模块至少能够基于第一气体数据以及在相同时间点采集的第二气体数据构建校准模型，处理模块基于校准模型对第二传感器实时采集的第二气体数据进行校准，从而得出气体检测装置对有机挥发性气体的检测结果。
一种气体检测装置方法

[发明专利]一种基于双通多孔基底的半导体气体传感器-CN202310374892.0在审
发明人：宋志龙;周清峰;万竹桉;朱广森 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于双通多孔基底的半导体气体传感器，其至少包括：第一电极，在通电的状态下用于传导感测反应时的电学变化；第二电极，用于配合第一电极形成电流通路；传感层，由表面沉积有用于检测气体的气敏材料的双通多孔基底组成，双通多孔基底由多个纳米管阵列形成。第一电极和第二电极按照第三方向上交叉不叠加的方式分别交错设置在传感层两侧，使得传感层上的纳米管至少一个管口能够与外部保持联通。本发明对感测电极进行改进，避免了由于感测电极布置时会覆盖纳米孔导致部分纳米孔无法进行气体检测的现象，提高了半导体气体传感器的检测效率。
一种基于多孔基底半导体气体传感器

[发明专利]一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器-CN202310867322.5在审
发明人：周清峰;万竹桉;梁健汉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器，包括依次堆叠的如下部分：基体，构造有空腔；加热层，具有与空腔重叠的加热丝；介电层，具有与加热丝重叠的有源区；检测层，具有与有源区重叠的感应区域；以及气敏层，部分覆盖感应区域，包含气敏材料；其中，有源区悬浮并包含于基体的空腔中，且空腔两端配置有与有源区间隔相对且在堆叠方向观察下至少部分覆盖有源区的阻挡层，其中，阻挡层配置为接收来自有源区的逃散热量并至少部分地将其返送回空腔。通过将有源区配置在空腔内并借助于阻挡层的作用，使得有源区能够长期维持在适宜的恒定工作温度状态下并减少热源浪费，以提高传感器设备的响应速率及检测准确性，有利于气敏反应的进行。
一种基于微机系统 sic 半导体气体传感器

[发明专利]一种基于单通多孔基底的半导体气体传感器-CN202310383610.3在审
发明人：梁健汉;周清峰;万竹桉;朱广森 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于单通多孔基底的半导体气体传感器，其至少包括传感层，由于基于沉积的气敏材料对气体进行检测。传感层能够划分为对目标检测气体基于第一温度下的感测反应进行检测的功能区和用于将除目标检测气体外的至少部分杂质气体基于小于第一温度下的感测反应进行过滤的非功能区，功能区和非功能区通过若干悬架连接，其中，悬架能够通过热传导的方式将功能区上的热量传导至非功能区。本发明通过在传统传感区域外设计能够减少杂质气体的非功能区，减少了检测过程中杂质气体对检测结果的影响，提高了传感器的检测灵敏度与准确性。
一种基于多孔基底半导体气体传感器

[发明专利]一种高性能气体传感器气敏催化材料负载方法及系统-CN202310174388.6在审
发明人：梁健汉;宋志龙;霍耀广;万竹桉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B01J37/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种高性能气体传感器气敏催化材料负载方法及系统，其中，所述方法至少包括以下步骤：化学浴沉积前驱液配置：将两种或两种以上的能够基于反应获得催化颗粒的化合物溶于醇溶液；催化颗粒沉积：基于前驱液采用水热法在气敏颗粒形成的层结构表面生长催化颗粒；基于第一方法下的旋涂法鼓励所述催化颗粒在层结构表面分散均匀且限制催化颗粒的团聚趋势。本发明通过基于旋涂法对纳米管内壁上的金属修饰颗粒进行沉积，鼓励金属颗粒以小尺寸的直径分布在层结构表面，使得层结构表面能够沉积形成更多的反应活性点位，从而达到提高传感器感测性能的目的。
一种性能气体传感器催化材料负载方法系统

[实用新型]一种气体传感器测试装置-CN202223283120.6有效
发明人：范智勇;宋志龙;万竹桉 -专利权人：香港科技大学
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体传感器测试装置，涉及气体传感器测试技术领域，包括测试模块和测试壳；测试壳具有测试腔，且测试壳上具有能够连通测试腔的通气口和测试口，测试口用于使气体传感器进入测试腔内且测试口能够封闭，通气口用于通入测试气体，测试模块位于测试腔外并用于与气体传感器通信连接；本实用新型提供的气体传感器测试装置，减小测试成本，提升测试效率。
一种气体传感器测试装置

[发明专利]一种适用于多单元气体传感器阵列的信号采样系统-CN202110383045.1有效
发明人：李华曜;王乐;刘欢;李龙;万竹桉;郭泽旭;李天坤 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开一种适用于多单元气体传感器阵列的信号采样系统，属于气体传感器信号采样领域，其包括控制电路子系统、测试回路子系统和电源子系统，控制电路子系统包括控制终端、中控芯片和复用芯片，控制终端与中控芯片通过数据线连接，复用芯片与中控芯片连接，测试回路子系统包括二级控制电路、多单元气体传感器阵列测试腔室和数据采集模块，二级控制电路连接复用芯片和多单元气体传感器阵列测试腔室，数据采集模块连接控制终端和多单元气体传感器阵列，电源子系统连通控制电路子系统。本发明的复杂信号采样系统设计合理，易操作，功能齐全，能同时高精度测量多个气体传感器的信号。
一种适用于单元气体传感器阵列信号采样系统

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