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[发明专利]一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法-CN202310805825.X在审
发明人：梁建汉;周清峰;万竹桉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微机电系统的蓝宝石基气体传感器及其制造方法，其中，该气体传感器包括堆叠设置的如下部分：基底，其具有隔热腔；支撑层，配置在基底上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；加热组件，配置在支撑层上，具有加热丝；介电层，配置在加热组件上，并具有悬浮于隔热腔上方的聚热区；检测电极，配置在介电层上；传感层，配置在检测电极上，沉积有气敏材料；其中，支撑层和介电层中的至少一个的聚热区具有沿堆叠方向贯通的若干通孔，且支撑层和介电层各自层内的通孔孔径以从聚热区向周侧延伸方向逐渐变化的方式配置。
一种基于微机系统蓝宝石气体传感器及其制造方法

[发明专利]一种气体传感器的远程校准方法及系统-CN202110822799.2有效
发明人：龚元兵;周清峰;何颂贤 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体传感器的远程校准系统及方法，所述系统至少包括：采集模块、标准传感器和云端服务器，所述采集模块至少包括浓度传感器、湿度传感器、温度传感器和用于采集所述浓度传感器的电参数的电参数采集模块，所述云端服务器至少包括建模模块和校准模块，所述建模模块基于所述采集模块发送的原始浓度参数、湿度参数、温度参数、电参数和标准传感器发送的标准数据按照深度学习算法建立校准模型，所述校准模块基于所述校准模型对所述采集模块发送的原始浓度参数进行校准。通过将气体传感器采集状态的电数据作为校准影响因素纳入校准模型中，提高校准模型的校准率，获得更准确的气体浓度参数。
一种气体传感器远程校准方法系统

[发明专利]一种集成纳米管阵列的仿生嗅觉传感器及其制备方法-CN202310812489.1在审
发明人： 周清峰;万竹桉;宋志龙;梁健汉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成纳米管阵列的仿生嗅觉传感器及其制备方法。仿生嗅觉传感器包括由绝缘材料制成的三维基底、多元界面层、电极、绝缘层和加热层。三维基底设置有若干贯穿三维基底且呈阵列排布的通道。通道内壁通过设置传感材料层形成纳米管，将三维基底顶部与底部电导通。仿生嗅觉传感器还包括沿通道轴向设置在三维基底顶部的若干第一电极和设置在三维基底底部的若干第二电极。本发明在第一电极和三维基底间设置多元界面层以调节第一电极和纳米管之间的载流子传输，并且基于多元界面层中组分的梯度变化使得仿生嗅觉传感器中生成具有不同响应特征的传感像素，从而增加仿生嗅觉传感器的像素多样性。
一种集成纳米阵列仿生嗅觉传感器及其制备方法

[发明专利]一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法-CN202310812491.9在审
发明人： 周清峰;梁健汉;万竹桉;宋志龙 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法。嗅觉气味阵列传感器至少包括：具有通孔阵列的基板；设置在通孔内壁通过与测定对象反应而使电阻变化的传感膜；向传感膜施加电压的电极；调节电极与传感膜之间载流子传输的调制层。电极包括沿基板厚度方向设置在基板顶部的若干第一电极和设置在基板底部的若干第二电极。第一电极和第二电极在基板厚度方向上的投影的重叠区域覆盖若干传感膜以形成用于传感的像素。在嗅觉气味阵列传感器检测气体的情况下，第一电极和第二电极构成的网格可以传输反映各个像素的传感膜与气体发生反应后电阻变化情况的电流。
一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法

[发明专利]一种气体检测装置及方法-CN202310846970.2在审
发明人： 周清峰;廖树伟;万竹桉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N27/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体检测装置及方法。气体检测装置至少包括：第一传感器，其基于光电离子技术对有机挥发性气体进行间歇性检测，以采集第一气体数据；第二传感器，其基于半导体技术对有机挥发性气体进行连续检测，以采集第二气体数据。本发明融合了第一传感器和第二传感器，并且通过使第一传感器间歇性工作，降低了第一传感器的使用频率，从而延长了第一传感器的使用寿命。用于处理数据的处理模块至少能够基于第一气体数据以及在相同时间点采集的第二气体数据构建校准模型，处理模块基于校准模型对第二传感器实时采集的第二气体数据进行校准，从而得出气体检测装置对有机挥发性气体的检测结果。
一种气体检测装置方法

[发明专利]一种基于微机电系统的硅基半导体气体传感器及制造方法-CN202310805824.5在审
发明人：梁建汉;陈卓;周清峰 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微机电系统的硅基半导体气体传感器及制造方法，其中，该气体传感器包括层叠设置的如下部分：基体部分，其作为载体；加热器，其配置在基体部分之上，包括用于提供热能的加热电阻丝；检测电极，其配置在加热器上方，包括叉指电极，叉指电极的电叉指交汇形成叉指区域；隔离层，其配置在加热器和检测电极之间，用于保持电学隔离；基底层，其配置在检测电极上方，包含有气敏材料；其中，加热电阻丝以与电叉指和/或叉指区域至少部分竖向不重叠的方式分层配置。
一种基于微机系统半导体气体传感器制造方法

[发明专利]一种基于双通多孔基底的半导体气体传感器-CN202310374892.0在审
发明人：宋志龙;周清峰;万竹桉;朱广森 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于双通多孔基底的半导体气体传感器，其至少包括：第一电极，在通电的状态下用于传导感测反应时的电学变化；第二电极，用于配合第一电极形成电流通路；传感层，由表面沉积有用于检测气体的气敏材料的双通多孔基底组成，双通多孔基底由多个纳米管阵列形成。第一电极和第二电极按照第三方向上交叉不叠加的方式分别交错设置在传感层两侧，使得传感层上的纳米管至少一个管口能够与外部保持联通。本发明对感测电极进行改进，避免了由于感测电极布置时会覆盖纳米孔导致部分纳米孔无法进行气体检测的现象，提高了半导体气体传感器的检测效率。
一种基于多孔基底半导体气体传感器

[发明专利]一种基于微机电系统的GaN基半导体气体传感器-CN202310867321.0在审
发明人： 周清峰;梁健汉;宋志龙 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微机电系统的GaN基半导体气体传感器，包括堆叠设置的如下部分：基底，包括具有腔体的衬底和配置于衬底上方的支撑层，其中，支撑层具有悬浮于腔体上方的有源区；加热层，配置于基底上方，包括与有源区至少部分重叠的加热丝；检测电极层，配置于加热层上方，其中，检测电极层具有与有源区至少部分重叠的传感区域；绝缘层，配置于加热层和检测电极层之间，具有与加热丝和传感区域至少部分重叠的有源区；感应层，配置于检测电极层上方，具有气敏材料；其中，加热丝至少部分在堆叠方向观察下包含于传感区域内并沿传感区域的间隔空间延伸，使得加热丝与传感区域各自覆盖的区域相对于彼此间隔。
一种基于微机系统 gan 半导体气体传感器

[发明专利]一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器-CN202310867322.5在审
发明人： 周清峰;万竹桉;梁健汉 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器，包括依次堆叠的如下部分：基体，构造有空腔；加热层，具有与空腔重叠的加热丝；介电层，具有与加热丝重叠的有源区；检测层，具有与有源区重叠的感应区域；以及气敏层，部分覆盖感应区域，包含气敏材料；其中，有源区悬浮并包含于基体的空腔中，且空腔两端配置有与有源区间隔相对且在堆叠方向观察下至少部分覆盖有源区的阻挡层，其中，阻挡层配置为接收来自有源区的逃散热量并至少部分地将其返送回空腔。通过将有源区配置在空腔内并借助于阻挡层的作用，使得有源区能够长期维持在适宜的恒定工作温度状态下并减少热源浪费，以提高传感器设备的响应速率及检测准确性，有利于气敏反应的进行。
一种基于微机系统 sic 半导体气体传感器

[发明专利]一种三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法-CN202010709099.8有效
发明人：范智勇;陈卓;周清峰;沈国震 -专利权人：艾感科技(广东)有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种三维纳米管气体传感器阵列的封装方法，所述方法包括：建立包括气体敏感度差异化的若干传感区域的三维纳米管气体传感器阵列，以打线结合的方式将阳极氧化铝薄膜第一表面的沿第一方向排列的且与传感区域对应的若干第一电极进行短接；将阳极氧化铝薄膜第二表面的沿第二方向排列的且与传感区域对应的共用第二电极与陶瓷层第一表面上的第三电极连接。本发明将结合打线接合技术及上下交叉电极技术，集成三维纳米管阵列，完成上下电极的引出，实现了能够同时探测多种气体的三维纳米管传感器阵列。
一种三维纳米气体传感器阵列及其封装方法

[发明专利]一种气体传感器阵列及其打印溶液调制方法-CN202210020886.0有效
发明人： 周清峰;丘勇才 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明涉及气体传感器阵列及其打印溶液调制方法，气体传感器阵列，至少包括：传感器阵列基底、由导电墨水按照预设的间隔打印在传感器阵列基底上的叉指电极，和在叉指电极图案挥发成膜后，由优化后的金属氧化物颗粒悬浮液在对应叉指电极图案上形成的气敏薄膜，其中，所述导电墨水的物理性质参数是基于打印装置的喷头孔径调制的，所述导电墨水的物理性质参数与打印稳定性参数的关系为：γink为墨水的表面张力，ρ为导电墨水的密度，η为墨水粘稠度，D为喷头的孔径，Z的范围为1～12。本发明通过调制的导电墨水打印得到的气体传感器阵列，不存在打印拉丝的现象，打印间隔稳定，次品率低。
一种气体传感器阵列及其打印溶液调制方法

[发明专利]一种高响应度气体传感器气敏颗粒加载方法及系统-CN202310174380.X在审
发明人：梁健汉;宋志龙;霍耀广;周清峰 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C18/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种高响应度气体传感器气敏颗粒加载系统及方法，其中，方法包括以下步骤：化学浴沉积前驱液配置：将至少两种或两种以上的能够基于反应获得气敏颗粒的化合物溶于醇溶液；加热条件下将前驱液的上清液移除以增加气敏颗粒的浓度；气敏颗粒薄膜沉积：基于前驱液采用水热法在氧化铝模板上生长气敏颗粒薄膜；基于第一方法下的旋涂法鼓励所述氧化铝模板上的气敏颗粒形成具有小尺寸的气敏颗粒且膜厚度分布均匀的气敏颗粒薄膜。本发明通过旋涂法限制气敏颗粒在沉积过程中发生团聚，且将多余的气敏颗粒和醇溶液在离心力作用下从纳米管管口排出，加快了成膜过程，且气敏材料的沉积过程能够在较低的温度条件下进行，减少了加载过程中的热量损耗。
一种响应气体传感器颗粒加载方法系统

[发明专利]一种纳米纤维膜损耗状态的评估装置及方法-CN202111244723.2有效
发明人： 周清峰;陈卓 -专利权人：上海涛济医药科技有限公司
申请日： 2020-03-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F24F8/108 文献下载
摘要：本发明涉及一种纳米纤维膜损耗状态的评估装置及方法，至少包括数据采集单元(300)和数据处理单元(400)，所述数据处理单元(400)基于由至少一个数据采集单元(300)采集的含有银离子和/或银纳米线成分的纳米纤维膜的银结构部分的电性能参数及其变化曲线来确定所述纳米纤维膜的氧化程度参数和/或洁净程度参数，其中，所述数据处理单元(400)通过银氧化程度与电性能参数的相关关系来确定银氧化程度参数和/或洁净程度参数。本发明的评估装置，能够通过银结构部分的电性能参数来更快速地评估纳米纤维膜的氧化损耗程度，并且评估准确，误差小。
一种纳米纤维损耗状态评估装置方法

[发明专利]一种基于纳米纤维膜的空气过滤系统及方法-CN202111280667.8有效
发明人： 周清峰;陈卓 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2020-03-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01D46/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于纳米纤维膜的空气过滤系统及方法，系统至少包括：过滤单元：至少包括含有银离子和/或银纳米线成分的纳米纤维膜滤网；数据采集单元：用于采集纳米纤维膜滤网的电性能参数；数据处理单元：用于在纳米纤维膜施加交流电压的情况下，基于与趋肤效应相关的至少一个电性能参数和/或者电磁感应参数的变化曲线确定纳米纤维膜的氧化程度参数和/或洁净程度参数；控制单元：用于基于纳米纤维膜的氧化程度参数和/或洁净程度参数调节设置于纳米纤维空气流动上游或空气流动下游的至少一个辅助过滤组件、除湿组件和/或调速组件的启动及其工作参数空气的过滤状态。本发明更快速地评估纳米纤维膜的氧化损耗程度，并且评估准确，误差小。
一种基于纳米纤维空气过滤系统方法

[发明专利]一种含银纳米纤维膜的氧化程度监测装置及方法-CN202111244722.8有效
发明人： 周清峰;陈卓 -专利权人：艾感科技（广东）有限公司
申请日： 2020-03-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F24F8/108 文献下载
摘要：本发明涉及含银纳米纤维膜的氧化程度监测装置及方法，至少包括数据采集单元(300)和数据处理单元(400)，在所述纳米纤维膜(200)施加电压的情况下，所述数据采集单元(300)采集含有银离子和/或银纳米线成分的纳米纤维膜的电性能参数，所述数据处理单元(400)基于由所述电性能参数与银氧化程度的关系确定纳米纤维膜的氧化程度。本发明的监测装置，能够通过银结构部分的电性能参数来更快速地监测纳米纤维膜的氧化损耗程度，并且评估准确，误差小。
一种纳米纤维氧化程度监测装置方法

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