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- [发明专利]一种精密线路蚀刻液添加剂及其应用-CN202210562733.9在审
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杨红;葛英霞;万涛明;刘晓芳
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深圳市瑞世兴科技有限公司
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2022-05-23
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2022-09-06
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C23F1/18
- 一种精密线路蚀刻液添加剂及其应用,本发明涉及一种精密线路蚀刻液添加剂及其应用,为提供一种能通用于碱性蚀刻液与酸性蚀刻液体系的添加剂,本发明的添加剂组成如下:所述的添加剂组合含量比例(W/W):高分子成膜剂:1%‑15%(优选2%‑8%);流平剂:0.5%‑5%(优选0.5%‑2%);有机溶剂:2%‑20%(优选5%‑12%);余量:去离子水;本发明的有益效果在于,所述的添加剂耐酸碱性佳,能通用于碱性蚀刻液与酸性蚀刻液体系中,在酸性及碱性蚀刻体系中均非常稳定;对线路的侧壁的保护效果也优于氨氮型有机膜等其他膜类;提高蚀刻因子,且不会增加工厂的氨氮排放,组分简单,易于管控,优于现有的氨氮型添加剂,提升超精密线路蚀刻的良率,一次良率高达98%。
- 一种精密线路蚀刻添加剂及其应用
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